基本信息
步扬  男  博导  中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件: buyang@siom.ac.cn
通信地址: 上海市嘉定区清河路390号
邮政编码: 201800
部门/实验室:信光

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
070207-光学
招生方向
信息光电子技术,高端光刻机技术,光学精密检测技术
偏振技术、光谱技术

工作经历

   
工作简历
1999-07~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 任职
社会兼职
2012-09-01-今,中国光学学会光学测试专业委员会委员, 委员

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 中国电子学会科学技术奖, 二等奖, 部委级, 2016
专利成果
( 1 ) 四通道时分复用大气偏振检测方法与系统, 2011, 第 2 作者, 专利号: 201010215238.8
( 2 ) 全光纤大范围位移测量仪, 2001, 第 2 作者, 专利号: ZL01126555.8
( 3 ) 半导体激光器光频光强调制器, 2002, 第 2 作者, 专利号: ZL02112080.3
( 4 ) Optical System For Measurement Of Illumination Pupil Polarization State Of Mask Aligner, 2016, 第 3 作者, 专利号: WO2016155426A1
( 5 ) 宽光谱大视场显微物镜光学系统, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN201611044908.8
( 6 ) 光刻投影物镜热像差的快速仿真方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: ZL201810603730.9
( 7 ) 一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径规划方法, 2018, 第 3 作者, 专利号: ZL201710229617.4

出版信息

   
发表论文
(1) Micromirror array allocation algorithm based on deconvolution, Appl. Opt., 2020, 第 11 作者
(2) Illumination field parameters measurement for lithographic illumination subsystem, Optik, 2020, 第 11 作者
(3) Jones pupil metrology of lithographic projection lens and its optimal configuration in the presence of error sources, Opt. Express, 2019, 第 4 作者
(4) A simple system of swept source optical coherence tomography for a large imaging depth range, Optics Communications, 2019, 第 4 作者
(5) Predictor of thermal aberrations via particle filter for online compensation, Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2019, 第 6 作者
(6) Research on LIBS quantitative analysis of heavy metal concentration in polluted water-based on Fourier self-deconvolution method, Proc. SPIE 11337, 2019, 第 11 作者
(7) 光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术, 中国激光, 2019, 第 11 作者
(8) 基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测, 中国激光, 2019, 第 11 作者
(9) 穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法, 光学学报, 2019, 第 4 作者
(10) 基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法, 光学学报, 2019, 第 4 作者
(11) Passively Driven Probe Based on Miniaturized Propeller for Intravascular Optical Coherence Tomography, Scientific reports, 2018, 第 4 作者
(12) Calibration method of overlay measurement error caused by asymmetric mark, Appl. Opt., 2018, 第 3 作者
(13) Modeling and optimization of lens heating effect for lithographic projector, Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2018, 第 5 作者
(14) Prediction of lens heating induced aberration via particle filter in optical lithography, Proc. SPIE 10587, Optical Microlithography XXXI, 2018, 第 6 作者
(15) 偏振频域OCT系统光谱错位分析及光谱校准, 中国激光, 2018, 第 4 作者
(16) 一种基于固定光程差干涉信号的光学相干层析成像光谱标定方法, 中国激光, 2018, 第 4 作者
(17) 基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测, 中国激光, 2017, 第 11 作者
(18) 基于自相干莫尔条纹的光刻机对准技术研究, 中国激光, 2017, 第 3 作者
(19) Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry, Appl. Opt., 2017, 第 3 作者
(20) Automatic spectral calibration for polarization-sensitive optical coherence tomography, Opt. Express, 2017, 第 4 作者
(21) Monocular Vision-Based Underwater Object Detection, Sensors, 2017, 第 4 作者
(22) Depth-dependent dispersion compensation for full-depth OCT image, Opt. Express, 2017, 第 4 作者
(23) 基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测, 中国激光, 2017, 第 2 作者
(24) Zernike polynomials as a basis for modal fitting in lateral shearing interferometry: a discrete domain matrix transformation method, Appl. Opt., 2016, 第 3 作者
(25) Nonsubsampled contourlet transform method for optical fringe pattern analysis in profilometry and interferometry, Appl. Opt., 2016, 第 4 作者
(26) Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry, Optics Communications, 2016, 第 3 作者
(27) 偏振正交误差对偏振光导航定位系统测量精度的影响, Effect of Polarization Analyzers Perpendicular Error on Measurement Accuracy of Polarization Position System, 中国激光, 2011, 第 2 作者
(28) 基于米氏散射理论的太阳光散射偏振特性, Skylight Polarization Patterns Based on Mie Theory for Scattering, 中国激光, 2010, 第 2 作者
(29) 太阳光大气散射的散射角与偏振度关系的研究, Relations between skylight scattering angle and degree of polarization under different sky conditions, Chinese Optics Letters, 2010, 第 2 作者
(30) 基于视觉仿生原理的四通道时分复用大气偏振检测技术, Four-Channel Time Division Multiplexing Atmospheric Polarization Measurement Technique Based on Vision Bionics, 中国激光, 2010, 第 2 作者
(31) 基于频域相位共轭技术的光纤偏振信号的失真抑制, 中国科学G辑:物理学 力学 天文学, 2008, 第 1 作者
(32) Control of polarization signal distortion by frequency domain phase conjugation in optical fiber systems, Sci China Ser G-Phys Mech Astron, 2008, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 宽光谱大视场显微成像光学系统的研发, 主持, 国家级, 2011-01--2013-12
( 2 ) XXXX, 参与, 国家级, 2009-07--2013-12
( 3 ) XXX, 主持, 国家级, 2009-01--2010-12
( 4 ) 光学材料与光学元件亚表面缺陷检测仪的研制, 主持, 省级, 2008-07--2010-07
( 5 ) 实时纳米精度面形干涉测量仪, 参与, 省级, 2005-10--2007-12
( 6 ) 90nm光刻机照明系统多参数检测技术研究, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12
( 7 ) 浸没式光刻机照明系统多参数检测装置, 主持, 国家级, 2016-01--2020-12
( 8 ) 基于微区RS和LIBS的中药材残留化合物与重金属成份检测样机的研制, 主持, 省级, 2018-07--2020-06