基本信息
步扬  男  博导  中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件: buyang@siom.ac.cn
通信地址: 上海市嘉定区清河路390号
邮政编码: 201800

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
070207-光学
招生方向
信息光电子技术,高端光刻机技术,光学精密检测技术
偏振技术、光谱技术

工作经历

   
工作简历
1999-07~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 任职
社会兼职
2012-09-01-今,中国光学学会光学测试专业委员会委员, 委员

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 中国电子学会科学技术奖, 二等奖, 部委级, 2016
专利成果
[1] 孙晨薇, 王远航, 步扬, 吴芳, 王向朝. 内窥式激光诱导击穿光谱系统. CN: CN112229830A, 2021-01-15.
[2] 杨晨铭, 李中梁, 南楠, 张茜, 欧阳君怡, 刘腾, 步扬, 王向朝. 皮肤光学相干层析成像图像中表皮层的自动识别方法. CN: CN112037242A, 2020-12-04.
[3] 步扬, 王远航, 孙晨薇, 徐静浩, 王向朝. 光路延时双脉冲LIBS装置. CN: CN211179532U, 2020-08-04.
[4] 吴芳, 步扬, 刘志帆, 王远航, 孙晨薇, 王向朝. 一种深紫外复合结构金属线栅偏振器. CN: CN111025450A, 2020-04-17.
[5] 步扬, 王远航, 孙晨薇, 徐静浩, 王向朝. 光路延时双脉冲LIBS装置. CN: CN110632038A, 2019-12-31.
[6] 诸波尔, 李思坤, 王向朝, 步扬, 杨朝兴, 唐锋. 光刻投影物镜热像差的快速仿真方法. CN: CN108873615B, 2019-12-03.
[7] 徐静浩, 步扬, 王向朝. 宽光谱大视场显微物镜光学系统. CN: CN106772933B, 2019-09-20.
[8] 蔡燕民, 王向朝, 步扬, 唐锋, 黄惠杰. 光刻机照明光瞳偏振态测量用光学系统. 中国: CN104777609B, 2018.07.13.
[9] 李思坤, 王向朝, 步扬, 茅言杰, 徐东瀛. 光学条纹图背景光成分抑制方法. 中国: CN105426898B, 2018-10-02.
[10] 李思坤, 王向朝, 步扬, 茅言杰, 徐东瀛. 基于非下采样轮廓波变换的光学条纹图抑噪方法. 中国: CN105279744B, 2018-08-14.
[11] 诸波尔, 李思坤, 王向朝, 张恒, 孟泽江, 步扬. 基于多偏振照明的光刻投影物镜高阶波像差检测方法. 中国: CN108020400A, 2018-05-11.
[12] 郑亚忠, 戴凤钊, 步扬, 王向朝, 孟泽江, 彭常哲. 一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径规划方法. 中国: CN106970506A, 2017-07-21.
[13] 郑亚忠, 戴凤钊, 步扬, 王向朝, 彭常哲. 一种大尺寸二维平面光栅栅距检测方法. 中国: CN106225703A, 2016-12-14.
[14] 范李立, 王向朝, 李中梁, 步扬. 一种光学元件双向转动调整机构. 中国: CN205229566U, 2016-05-11.
[15] 范李立, 王向朝, 李中梁, 步扬. 光学元件往复式转动机构. 中国: CN105445884A, 2016-03-30.
[16] 蔡燕民, 司徒国海, 步扬, 王向朝, 黄惠杰. 用于印刷电路板光刻领域LDI光刻设备的光刻方法. 中国: CN104991423A, 2015-10-21.
[17] 蔡燕民, 王向朝, 张友宝, 步扬, 唐锋, 黄惠杰. 用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统. 中国: CN104459966A, 2015-03-25.
[18] 刘晓雷, 李思坤, 王向朝, 步扬, 管文超. 极紫外光刻含缺陷掩模衍射谱的快速严格仿真方法. 中国: CN104238282A, 2014.12.24.
[19] 蔡燕民, 李中梁, 步扬, 王向朝, 黄惠杰. 光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置. 中国: CN203720528U, 2014-07-16.
[20] 蔡燕民, 李中梁, 步扬, 王向朝, 黄惠杰. 光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置及其测试方法. 中国: CN103792798A, 2014-05-14.
[21] 徐静浩, 步扬, 王向朝. 干涉显微物镜光学系统. 中国: CN103792648A, 2014-05-14.
[22] 蔡燕民, 步扬, 李中梁, 曾爱军, 王向朝, 黄惠杰. 紧凑型光刻投影物镜. 中国: CN103631002A, 2014-03-12.
[23] 范李立, 步扬, 王向朝. 直线位移台运动平行度的非接触检测方法. 中国: CN103630098A, 2014-03-12.
[24] 刘晓雷, 李思坤, 王向朝, 步扬. 极紫外光刻无缺陷掩模衍射谱快速严格仿真方法. 中国: CN103617309A, 2014-03-05.
[25] 汤飞龙, 李中梁, 王向朝, 步扬, 曹绍谦. 光束斯托克斯参量测量装置. 中国: CN202648799U, 2013.01.02.
[26] 蔡燕民, 司徒国海, 步扬, 王向朝, 黄惠杰. 共轭距可变的光刻投影物镜、光刻方法. 中国: CN103472574A, 2013-12-25.
[27] 涂远莹, 王向朝, 步扬. 光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法. 中国: CN103197512A, 2013-07-10.
[28] 刘晓雷, 李思坤, 王向朝, 步扬. 极紫外光刻厚掩模缺陷的快速仿真方法. 中国: CN103197503A, 2013-07-10.
[29] 李思坤, 王向朝, 步扬, 刘晓雷. 三维信息光学加密系统和方法. 中国: CN103093492A, 2013-05-08.
[30] 曹红曲, 步扬, 王向朝, 徐文东, 袁春晓, 徐静浩. 用于视频成像的显微物镜光学系统. 中国: CN102928960A, 2013-02-13.
[31] 曹绍谦, 步扬, 步鹏, 王向朝, 张敏, 汤飞龙, 李中梁. 全光场偏振像差检测装置. 中国: CN202693266U, 2013-01-23.
[32] 汤飞龙, 李中梁, 王向朝, 步扬, 曹绍谦. 光束斯托克斯参量测量装置及测量方法. 中国: CN102692274A, 2012-09-26.
[33] 曹绍谦, 步鹏, 步扬, 王向朝, 汤飞龙, 李中梁. 全光场全斯托克斯参量检测装置. 中国: CN202420680U, 2012-09-05.
[34] 曹绍谦, 步扬, 步鹏, 王向朝, 张敏, 汤飞龙, 李中梁. 全光场偏振像差检测装置及检测方法. 中国: CN102607819A, 2012-07-25.
[35] 曹绍谦, 步鹏, 步扬, 王向朝, 汤飞龙, 李中梁. 全光场全斯托克斯参量检测装置和检测方法. 中国: CN102538971A, 2012-07-04.
[36] 涂远莹, 王向朝, 步扬. 光刻机投影物镜奇像差原位检测系统和检测方法. 中国: CN102253606A, 2011-11-23.
[37] 杨济硕, 王向朝, 步扬, 彭勃, 殷立峰. 基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法. 中国: CN102231048A, 2011-11-02.
[38] 王渤帆, 李中梁, 王向朝, 步扬. 用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法. 中国: CN102168944A, 2011-08-31.
[39] 黄旭锋, 步扬, 王向朝. 四通道时分复用大气偏振图景检测系统和检测方法. 中国: CN101871880A, 2010-10-27.
[40] 卢洪斌, 步扬, 王向朝. 用于半导体激光器光频光强的调制装置. 中国: CN2582230, 2003-10-22.
[41] 卢洪斌, 步扬, 王向朝. 半导体激光器光频光强调制器. 中国: CN1388614, 2003-01-01.
[42] 王向朝, 步扬, 王学锋. 双调制光源全光纤位移测量仪. 中国: CN2506975, 2002-08-21.
[43] 王向朝, 步扬, 王学峰. 全光纤大范围位移测量仪. 中国: CN1335482, 2002-02-13.

出版信息

   
发表论文
[1] Fang, Wu, Yang, Bu, ZhiFan, Liu, ShaoQing, Wang, SiKun, Li, XiangZhao, Wang. Design and analysis of bilayer metallic grating polarizer in deep ultraviolet band. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2021, 70(4): 1111-11111, 
[2] Liu, Zhifan, Chen, Ming, Bu, Yang, Xu, Jinghao, Fan, Lili, Zhang, Jianhua, Wang, Xiangzhao. Illumination field parameters measurement for lithographic illumination subsystem. OPTIK[J]. 2020, 206: http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2020.164333.

[3] Tang, Fanchun, Shi, Biran, Zhang, Quan, Zhou, Changhe, Bu, Yang, Li, Jianlang. SESAM-based mode-locked vortex Ti:sapphire laser using spot-defect spatial filter for intra-cavity mode selection. LASER PHYSICS[J]. 2020, 30(12): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000592075400001.

[4] Liu, Zhifan, Yang, Chaoxing, Bu, Yang, Li, Sikun, Zhang, Jianhua, Wang, Xiangzhao, Sun, Gang. Micromirror array allocation algorithm based on deconvolution. APPLIED OPTICS[J]. 2020, 59(12): 3582-3588, 
[5] Mao, Yanjie, Li, Sikun, Sun, Gang, Duan, Lifeng, Shi, Weijie, Bu, Yang, Wang, Xiangzhao. Predictor of thermal aberrations via particle filter for online compensation. JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS[J]. 2019, 18(1): 
[6] 杨言若, 步扬, 徐静浩, 王少卿, 王向朝, 李杰. 基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测. 中国激光[J]. 2019, 46(9): 153-161, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7003025305.

[7] 孟泽江, 李思坤, 王向朝, 步扬, 戴凤钊, 杨朝兴. 穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法. 光学学报[J]. 2019, 148-159, 
[8] Meng, Zejiang, Li, Sikun, Wang, Xiangzhao, Bu, Yang, Wang, Jian, Ni, Sheng, Yang, Chaoxing, Mao, Yanjie. Jones pupil metrology of lithographic projection lens and its optimal configuration in the presence of error sources. OPTICS EXPRESS[J]. 2019, 27(4): 4629-4647, 
[9] 刘志帆, 陈明, 步扬, 徐静浩, 范李立, 张建华, 王向朝. 光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术. 中国激光[J]. 2019, 46(10): 252-259, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7100291252.

[10] Wang, Xuan, Li, Zhongliang, Nan, Nan, Bu, Yang, Zeng, Aijun, Sasaki, Osami, Wang, Xiangzhao. A simple system of swept source optical coherence tomography for a large imaging depth range. OPTICS COMMUNICATIONS[J]. 2019, 431: 51-57, http://dx.doi.org/10.1016/j.optcom.2018.08.080.

[11] Wang, Yuanhang, Bu, Yang, Wu, Fang, Cao, Yi, Yu, Yingjie, Wang, Xiangzhao, Yu, J, Wang, Z, Palleschi, V, Xie, M, Fu, Y. Research on LIBS Quantitative Analysis of Heavy Metal Concentration in Polluted Water-Based on Fourier Self-Deconvolution Method. AOPC 2019: OPTICAL SPECTROSCOPY AND IMAGINGnull. 2019, 11337: 
[12] 孟泽江, 李思坤, 王向朝, 步扬, 杨朝兴. 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法. 光学学报[J]. 2019, 199-209, 
[13] 孟泽江, 李思坤, 王向朝, 步扬, 杨朝兴, 戴凤钊. 基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法. 光学学报[J]. 2019, 39(7): 150-158, 
[14] Zhu, Boer, Li, Sikun, Mao, Yanjie, Wang, Xiangzhao, Bu, Yang, Wang, Jian, Sun, Gang, Duan, Lifeng. Fast thermal aberration model for lithographic projection lenses. OPTICS EXPRESS[J]. 2019, 27(23): 34039-34050, 
[15] Yang Bu. Prediction of lens heating induced aberration via particle filter in optical lithography. Proc. SPIE, Optical Microlithography. 2018, 
[16] 王瑄, 李中梁, 南楠, 步扬, 曾爱军, 陈艳, 潘柳华, 卢宇, 王向朝. 一种基于固定光程差干涉信号的光学相干层析成像光谱标定方法. 中国激光[J]. 2018, 45(6): 0607005-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=675493733.

[17] 陈艳, 李中梁, 南楠, 步扬, 王瑄, 潘柳华, 王向朝. 偏振频域光学相干层析成像中散斑噪声降低方法. 光学学报[J]. 2018, 38(8): 0811004-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=676098096.

[18] 潘柳华, 张向阳, 李中梁, 南楠, 步扬, 陈艳, 王瑄, 王向朝. 基于光声相关谱法的血液流速测量. 中国激光[J]. 2018, 45(11): 1107001-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=676859244.

[19] Mao, Yanjie, Li, Sikun, Sun, Gang, Duan, Lifeng, Bu, Yang, Wang, Xiangzhao. Modeling and optimization of lens heating effect for lithographic projector. JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS[J]. 2018, 17(2): 
[20] 潘柳华, 张向阳, 李中梁, 南楠, 步扬, 陈艳, 王瑄, 王向朝. 基于光声-光学相干层析成像的血流测量技术. 中国激光[J]. 2018, 45(6): 0607004-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=675493732.

[21] Pan Liuhua, Zhang Xiangyang, Li Zhongliang, Nan Nan, Bu Yang, Chen Yan, Wang Xuan, Wang Xiangzhao. Measuring Velocity of Blood Flow Based on Photoacoustic Correlation Spectroscopy. CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG[J]. 2018, 45(11): 
[22] 陈艳, 李中梁, 南楠, 步扬, 卢宇, 宋思雨, 王向朝. 偏振频域OCT系统光谱错位分析及光谱校准. 中国激光[J]. 2018, 45(2): 0207022-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=674841330.

[23] Pan Liuhua, Zhang Xiangyang, Li Zhongliang, Nan Nan, Bu Yang, Chen Yan, Wang Xuan, Wang Xiangzhao. Blood Flow Measurementwith Photoacoustic Microscopy and Optical Coherence Tomography. CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG[J]. 2018, 45(6): 
[24] Chen, Zhe, Zhang, Zhen, Bu, Yang, Dai, Fengzhao, Fan, Tanghuai, Wang, Huibin. Underwater Object Segmentation Based on Optical Features. SENSORS[J]. 2018, 18(1): https://doaj.org/article/8470208fe36747a4a35467ed131f9472.

[25] Lu, Yu, Li, Zhongliang, Nan, Nan, Bu, Yang, Liu, Xuebo, Xu, Xiangdong, Wang, Xuan, Sasaki, Osami, Wang, Xiangzhao. Passively Driven Probe Based on Miniaturized Propeller for Intravascular Optical Coherence Tomography. SCIENTIFIC REPORTS[J]. 2018, 8(1): http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2180871.

[26] Du, Juyou, Dai, Fengzhao, Bu, Yang, Wang, Xiangzhao. Calibration method of overlay measurement error caused by asymmetric mark. APPLIED OPTICS[J]. 2018, 57(33): 9814-9821, 
[27] Wang Xuan, Li Zhongliang, Nan Nan, Bu Yang, Zeng Aijun, Chen Yan, Pan Liuhua, Lu Yu, Wang Xiangzhao. A Spectral Calibration Method in Optical Coherence Tomography Based on Interference Signal with Fixed Optical Path Difference. CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG[J]. 2018, 45(6): 
[28] Chen Yan, Li Zhongliang, Nan Nan, Bu Yang, Lu Yu, Song Siyu, Wang Xiangzhao. Wavelength Misalignment Analysis and Spectral Calibration for Fourier Domain Polarization-Sensitive Optical Coherence Tomography. CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG[J]. 2018, 45(2): 
[29] 杜聚有, 戴凤钊, 步扬, 王向朝. 基于自相干叠栅条纹的光刻机对准技术. 中国激光[J]. 2017, 44(12): 1204006-1, 
[30] Dai, Fengzhao, Zheng, Yazhong, Bu, Yang, Wang, Xiangzhao. Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry. APPLIED OPTICS[J]. 2017, 56(1): 61-68, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000392091200027.

[31] Chen, Yan, Li, Zhongliang, Nan, Nan, Bu, Yang, Wang, Xuan, Pan, Liuhua, Wang, Xiangzhao. Automatic spectral calibration for polarization-sensitive optical coherence tomography. Opt. Express[J]. 2017, 25(20): 23605-, http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&KeyUT=WOS:000412048500018&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&UsrCustomerID=3a85505900f77cc629623c3f2907beab.

[32] Pan, Liuhua, Wang, Xiangzhao, Li, Zhongliang, Zhang, Xiangyang, Bu, Yang, Nan, Nan, Chen, Yan, Wang, Xuan, Dai, Fengzhao. Depth-dependent dispersion compensation for full-depth OCT image. OPTICS EXPRESS[J]. 2017, 25(9): 10345-10354, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000400665800076.

[33] 卢宇, 李中梁, 南楠, 步扬, 陈艳, 王瑄, 王向朝. 基于互相关运算的扫频光学相干层析成像延时校正算法. 中国激光[J]. 2017, 44(6): 0607001-1, 
[34] 王瑄, 李中梁, 南楠, 步扬, 陈艳, 潘柳华, 卢宇, 曾爱军, 王向朝. 一种提高扫频光学相干层析成像系统灵敏度的方法. 中国激光[J]. 2017, 44(8): 0807002-1, 
[35] 步扬. 基于自相干莫尔条纹的光刻机对准技术研究. 中国激光. 2017, 
[36] Chen, Zhe, Zhang, Zhen, Dai, Fengzhao, Bu, Yang, Wang, Huibin. Monocular Vision-Based Underwater Object Detection. SENSORS[J]. 2017, 17(8): http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27520.

[37] Chen, Yan, Li, Zhongliang, Nan, Nan, Bu, Yang, Wang, Xuan, Pan, Liuhua, Wang, Xiangzhao. Automatic spectral calibration for polarization-sensitive optical coherence tomography. OPTICS EXPRESS[J]. 2017, 25(20): 23605-23618, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000412048500018.

[38] Pan, Liuhua, Wang, Xiangzhao, Li, Zhongliang, Zhang, Xiangyang, Bu, Yang, Nan, Nan, Chen, Yan, Wang, Xuan, Dai, Fengzhao. Depth-dependent dispersion compensation for full-depth OCT image. Opt. Express[J]. 2017, 25(9): 10345-, http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&KeyUT=WOS:000400665800076&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&UsrCustomerID=3a85505900f77cc629623c3f2907beab.

[39] Wang, Xiangzhao, Bu, Yang, Zheng, Yazhong, Dai, Fengzhao. Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry. Appl. Optics[J]. 2017, 56(1): 61-, http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&KeyUT=WOS:000392091200027&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&UsrCustomerID=3a85505900f77cc629623c3f2907beab.

[40] Li, Sikun, Wang, Xiangzhao, Tang, Feng, Bu, Yang, Sasaki, Osami. Nonsubsampled contourlet transform method for optical fringe pattern analysis in profilometry and interferometry. Appl. Optics[J]. 2016, 55(27): 7718-, 
[41] Li, Sikun, Wang, Xiangzhao, Tang, Feng, Bu, Yang, Sasaki, Osami. Nonsubsampled contourlet transform method for optical fringe pattern analysis in profilometry and interferometry. APPLIED OPTICS[J]. 2016, 55(27): 7718-7725, 
[42] Dai, Fengzhao, Li, Jie, Wang, Xiangzhao, Bu, Yang. Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry. OPTICS COMMUNICATIONS[J]. 2016, 367: 264-273, http://dx.doi.org/10.1016/j.optcom.2016.01.068.

[43] 刘志帆, 步扬, 徐静浩, 张建华, 王向朝. 基于亚像素分析的光刻机照明系统光瞳参数检测方法. 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集null. 2016, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27464.

[44] 蔡燕民, 步扬, 王向朝. 光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果. 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集null. 2016, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27461.

[45] 茅言杰, 李思坤, 孙刚, 王健, 王磊, 步扬, 王向朝. 光刻投影物镜热像差分析方法. 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集null. 2016, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27465.

[46] Dai, Fengzhao, Zheng, Yazhong, Bu, Yang, Wang, Xiangzhao. Zernike polynomials as a basis for modal fitting in lateral shearing interferometry: a discrete domain matrix transformation method. Appl. Optics[J]. 2016, 55(22): 5884-, http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&KeyUT=WOS:000380742300011&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&UsrCustomerID=3a85505900f77cc629623c3f2907beab.

[47] 郑臻荣, 王向朝, 徐静浩, 张海裕, 步扬. 基于LIBS的光学玻璃微量杂质三维分布检测技术. 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集null. 2016, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27459.

[48] Dai, Fengzhao, Li, Jie, Wang, Xiangzhao, Bu, Yang. Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry. Opt. Commun.[J]. 2016, 367: 264-, http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&KeyUT=WOS:000370127300041&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&UsrCustomerID=3a85505900f77cc629623c3f2907beab.

[49] Dai, Fengzhao, Zheng, Yazhong, Bu, Yang, Wang, Xiangzhao. Zernike polynomials as a basis for modal fitting in lateral shearing interferometry: a discrete domain matrix transformation method. APPLIED OPTICS[J]. 2016, 55(22): 5884-5891, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000380742300011.

[50] 蔡燕民, 王向朝, 步扬, 黄惠杰. 光刻机照明光瞳测量用傅里叶变换物镜光学设计. 中国激光[J]. 2015, 42(4): 416001-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/14180.

[51] 汤飞龙, 李中梁, 步扬, 王向朝, 范李立, 曹绍谦. 一种提高偏振光斯托克斯参量测量精度的方法. 中国激光[J]. 2013, 40(4): 408006-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/14931.

[52] Li, Sikun, Wang, Xiangzhao, Bu, Yang. Robust pixel-based source and mask optimization for inverse lithography. OPTICS AND LASER TECHNOLOGY[J]. 2013, 45: 285-293, 
[53] 汤飞龙, 李中梁, 步扬, 王向朝, 范李立, 王瑄, 曹绍谦. 旋转波片法偏振检测装置器件参数校准. 光学学报[J]. 2013, 33(9): 912005-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/14866.

[54] 曹绍谦, 步扬, 王向朝, 李思坤, 汤飞龙, 李中梁. 基于单光弹调制器的米勒矩阵测量技术. 光学学报[J]. 2013, 33(1): 112006-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/14845.

[55] 曹绍谦, 步扬, 王向朝, 李思坤, 汤飞龙, 李中梁. 基于单光弹调制器的米勒矩阵测量误差分析. 光学学报[J]. 2013, 33(6): 612010-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/14846.

[56] 曹宇婷, 王向朝, 步扬, 刘晓雷. 极紫外投影光刻掩模阴影效应分析. 光学学报[J]. 2012, 32(8): 0805001-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42886585.

[57] 曹宇婷, 王向朝, 步扬. 极紫外投影光刻接触孔掩模的快速仿真计算. 光学学报[J]. 2012, 32(7): 53-57, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42761765.

[58] 黄旭锋, 步扬, 王向朝. 偏振正交误差对偏振光导航定位系统测量精度的影响. 中国激光[J]. 2011, 38(1): 0108002-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=36427953.

[59] 王渤帆, 李中梁, 王向朝, 步扬. 消除光强调制影响的双波长正弦相位调制干涉仪. 中国激光[J]. 2011, 38(10): 1008001-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=39522005.

[60] Huang Xufeng, Bu Yang, Wang Xiangchao. Relations between skylight scattering angle and degree of polarization under different sky conditions. Chinese optics letter[J]. 2010, 8(6): 546-548, http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&KeyUT=WOS:000278721000004&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&UsrCustomerID=3a85505900f77cc629623c3f2907beab.

[61] 黄旭锋, 步扬, 王向朝. 基于视觉仿生原理的四通道时分复用大气偏振检测技术. 中国激光[J]. 2010, 2015-2019, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=34917218.

[62] 黄旭锋, 步扬, 王向朝. Relations between skylight scattering angle and degree of polarization under different sky conditions. 中国光学快报:英文版[J]. 2010, 546-548, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=34255910.

[63] Huang, Xufeng, Bu, Yang, Wang, Xiangzhao. Relations between skylight scattering angle and degree of polarization under different sky conditions. CHINESE OPTICS LETTERS[J]. 2010, 8(6): 546-548, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=34255910.

[64] 步扬. 太阳光大气散射的散射角与偏振度关系的研究. Chinese Optics Letters. 2010, 
[65] 黄旭锋, 步扬, 王向朝. 基于米氏散射理论的太阳光散射偏振特性. 中国激光[J]. 2010, 3002-3006, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=36230511.

[66] 王少卿, 王向朝, 步扬. 反馈光注入半导体激光器复合腔模的稳定性. 中国激光[J]. 2009, 1360-1365, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=30746829.

[67] 步扬, 王向朝. 基于频域相位共轭技术的光纤偏振信号的失真抑制. 中国科学:G辑[J]. 2008, 38(2): 113-119, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29074158.

[68] 步扬, 王向朝. 基于频域相位共轭技术的光纤偏振信号的失真抑制. 中国科学G[J]. 2008, 38(2): http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29074158.

[69] 步扬, 王向朝. 基于频域相位共轭技术的光纤偏振信号的失真抑制. 中国科学:G辑[J]. 2008, 38(2): 113-119, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29074158.

[70] Bu Yang, Wang XiangZhao. Control of polarization signal distortion by frequency domain phase conjugation in optical fiber systems. SCIENCE IN CHINA SERIES G-PHYSICS MECHANICS & ASTRONOMY[J]. 2008, 51(5): 512-518, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2276.

[71] Wang, Shaoqing, Wang, Xiangzhao, Liu, Yingming, Bu, Yang. Theoretical model for a periodically driven semiconductor laser subject to optical feedback from a microcantilever. JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS[J]. 2008, 25(8): 1350-1355, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2348.

[72] Wang Shaoqing, 王向朝, Liu Yingming, Bu Yang. Theoretical model for a periodically driven semiconductor laser subject to optical feedback from a microcantilever. J. opt. soc. am. b-opt. phys.[J]. 2008, 25(8): 1350-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2348.

[73] Bu Yang, Wang Xiangchao. Control of polarization signal distortion by frequency domain phase conjugation in optical fiber systems. Sci. china ser. g-phys. mech. astron.[J]. 2008, 51(5): 512-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2276.

[74] Bu Yang, Wang XiangZhao. Control of polarization signal distortion by frequency domain phase conjugation in optical fiber systems. SCIENCE IN CHINA SERIES G-PHYSICS MECHANICS & ASTRONOMY[J]. 2008, 51(5): 512-518, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2276.

[75] 李中梁, 王向朝, 刘英明, 步扬. 消除正弦相位调制干涉仪中光强调制影响的全光纤干涉仪. 中国激光[J]. 2007, 34(9): 1267-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2260.

[76] 杨坤, 王向朝, 步扬. 椭偏仪的研究进展. 激光与光电子学进展[J]. 2007, 44(3): 43-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2228.

[77] 李中梁, 王向朝, 刘英明, 步扬. 消除正弦相位调制干涉仪中光强调制影响的全光纤干涉仪. 中国激光[J]. 2007, 34(9): 1267-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2260.

[78] 郑德锋, 王向朝, 李中梁, 唐锋, 步扬. 一种使用双棱镜的动态小角度测量方法. 中国激光[J]. 2007, 34(9): 1255-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2258.

[79] 郑德锋, 王向朝, 李中梁, 唐锋, 步扬. 一种使用双棱镜的动态小角度测量方法. 中国激光[J]. 2007, 34(9): 1255-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2258.

[80] 杨坤, 王向朝, 步扬. 椭偏仪的研究进展. 激光与光电子学进展[J]. 2007, 44(3): 43-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2228.

[81] 步扬, 王向朝. 自陡峭效应对相位共轭系统脉冲传输的影响. 中国激光[J]. 2005, 32(4): 475-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2080.

[82] 步扬, 王向朝. 自陡峭效应对相位共轭系统脉冲传输的影响. 中国激光[J]. 2005, 32(4): 475-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2080.

[83] 步扬, 王向朝. 基于频域相位共轭技术的交叉相位调制所致失真的复原. 物理学报[J]. 2005, 54(10): 4747-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2078.

[84] 曾爱军, 王向朝, 徐德衍, 李代林, 黄立华, 董作人, 赵永凯, 江晓军, 步扬. 狭缝投影位置传感技术及其在精密定位中的应用. 中国激光[J]. 2005, 32(9): 1178-1182, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=20243710.

[85] 步扬, 王向朝. 基于频域相位共轭技术的交叉相位调制所致失真的复原. 物理学报[J]. 2005, 54(10): 4747-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2078.

[86] 曾爱军, 王向朝, Dailin Li, Yang Bu. A novel polarization modulator for a Moire system with grating imaging. Chin. opt. lett.[J]. 2005, 3(7): 407-, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6223.

[87] 步扬, 王向朝. 基于高阶色散管理和相位共轭技术的色散补偿. 光学学报[J]. 2004, 24(11): 1525-1529, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=10878247.

[88] 步扬, 张向阳, 王向朝. 脉冲啁啾对相位共轭通信系统性能的影响. 光电子.激光[J]. 2004, 15(6): 683-687, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=10076097.

[89] Zeng Aijun, Wang Xiangzhao, Bu Yang, Li Dailin. Position sensor based on slit imaging. 中国光学快报:英文版[J]. 2004, 2(9): 520-521, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=11029528.

[90] Bu Yang, Wang Xiangzhao. Compensation for the self-steepening effects in optical fiber communication system using midway optical phase conjugation. 中国光学快报:英文版[J]. 2004, 2(5): 256-258, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=9792383.

[91] 步扬, 王向朝, 钱锋, 王学锋. 利用相位共轭技术补偿光纤传输信号的失真. 光电子.激光[J]. 2002, 13(5): 538-541, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=6533848.

[92] 步扬, 王向朝. 半导体光放大器相位共轭光的产生及其应用. 光电子.激光[J]. 2001, 12(5): 540-544, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=5279129.

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 宽光谱大视场显微成像光学系统的研发, 主持, 国家级, 2011-01--2013-12
( 2 ) XXXX, 参与, 国家级, 2009-07--2013-12
( 3 ) XXX, 主持, 国家级, 2009-01--2010-12
( 4 ) 光学材料与光学元件亚表面缺陷检测仪的研制, 主持, 省级, 2008-07--2010-07
( 5 ) 实时纳米精度面形干涉测量仪, 参与, 省级, 2005-10--2007-12
( 6 ) 90nm光刻机照明系统多参数检测技术研究, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12
( 7 ) 浸没式光刻机照明系统多参数检测装置, 主持, 国家级, 2016-01--2020-12
( 8 ) 基于微区RS和LIBS的中药材残留化合物与重金属成份检测样机的研制, 主持, 省级, 2018-07--2020-06

指导学生

已指导学生

徐东波  硕士研究生  080300-光学工程  

汤飞龙  硕士研究生  430103-光学工程  

曹绍谦  硕士研究生  430103-光学工程  

郑亚忠  硕士研究生  085202-光学工程  

杨言若  硕士研究生  080300-光学工程  

孙晨薇  硕士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

唐凡春  博士研究生  080300-光学工程  

李馨  博士研究生  080300-光学工程  

舒婷  硕士研究生  080300-光学工程  

吴芳  博士研究生  080300-光学工程  

王远航  博士研究生  080300-光学工程  

李雪强  硕士研究生  080300-光学工程