基本信息
李昕欣  男  博导  中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件: xxli@mail.sim.ac.cn
通信地址: 仙霞路1225弄83号601室
邮政编码:
部门/实验室:一室

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息
招生方向
微纳机电系统与微纳传感器技术

专利与奖励

   
奖励信息
(1) MEMS产品化技术, 二等奖, 省级, 2006
(2) 高g加速度传感器, 一等奖, 省级, 2005

出版信息

   
发表论文
(1) Dual resonator MEMS magnetometer based on self clocking sigma delta modulation, IEEE Sensors Journal, 2019, 第 11 作者
(2) In situ construction of metal-organic framework (MOF) UiO-66 film on Parylene-patterned resonant microcantilever for trace organophosphorus molecules detection, ANALYST, 2019, 第 11 作者
(3) Design, Fabrication, and Testing of a Monolithically Integrated Tri-Axis High-Shock Accelerometer in Single (111)-Silicon Wafer, MICROMACHINES, 2019, 第 11 作者
(4) A Front-Side Microfabricated Tiny-Size Thermopile Infrared Detector With High Sensitivity and Fast Response, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2019, 第 11 作者
(5) A front-side microfabricated tiny-size thermopile infrared detector with high sensitivity and fast response, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2019, 第 11 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 基于智能化能量获取的自供能自主报警无线传感节点技术, 主持, 国家级, 2019-01--2023-12
( 2 ) 基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置, 主持, 国家级, 2016-01--2020-12
( 3 ) 功能纳米结构与理化性质关联跨尺度表征测量及应用验证, 主持, 国家级, 2016-07--2021-07