基本信息
杨宝喜  男  硕导  中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件: yangbx@siom.ac.cn
通信地址: 上海市嘉定区清河路390号上海光机所信息光电实验室
邮政编码: 201800
部门/实验室:信光

研究领域

   

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
招生方向
光学设计
光刻机照明系统
精密光电测量技术

教育背景

2004-09--2007-07   长春理工大学   光学工程硕士
2000-09--2002-01   北京理工大学   光学设计进修
1990-09--1994-06   长春光学精密机械学院   工学学士
学历
   
学位
   

工作经历

   
工作简历
2008-02~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 工作
2004-09~2007-07,长春理工大学, 光学工程硕士
2000-09~2002-01,北京理工大学, 光学设计进修
1994-07~2008-01,国营第二五八厂, 高级工程师
1990-09~1994-06,长春光学精密机械学院, 工学学士
社会兼职
   

教授课程

   

专利与奖励

   
奖励信息
   
专利成果
( 1 ) 光学系统定心定位装置及其使用方法, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102538689B
( 2 ) 光刻机设备用离轴照明装置, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103149809B
( 3 ) 光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103217872B
( 4 ) 光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610012510.X
( 5 ) 透镜组镜面间距的测量装置和测量方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610012511.4
( 6 ) 高精度光学间隔测量装置和测量方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410472652.5

出版信息

   
发表论文
(1) 基于低相干光干涉的大量程高精度镜面间距测量方法, 光学学报, 2016, 第 11 作者
(2) 大口径凸非球面面形检测方法研究, 中国激光, 2014, 第 11 作者
(3) 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计, 中国激光, 2013, 第 11 作者
(4) 星敏感器光学系统的研制与性能测试, 光学学报, 2013, 第 11 作者
发表著作
   

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 高NA浸没曝光照明系统关键技术研究, 参与, 国家级, 2009-07--2013-12
( 2 ) 浸没式曝光光学系统研制与小批量产品生产能力建设, 参与, 国家级, 2016-01--2019-12
参与会议
   

合作情况

   
项目协作单位
   

指导学生