基本信息
唐锋  男  博导  中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件: tangfeng@siom.ac.cn
通信地址: 嘉定清河路390号
邮政编码: 201800
部门/实验室:信光

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
招生方向
先进干涉测量技术与仪器
高端光刻机像质检测技术与装置

教育背景

2001-09--2006-01   天津大学   博士学位
1997-09--2001-06   天津大学   学士学位

工作经历

   
工作简历
2016-08~现在, 中科院上海光学精密机械研究所, 研究员
2008-06~现在, 中科院上海光机所, 副研究员
2006-03~2008-05,中科院上海光机所, 博士后
2001-09~2006-01,天津大学, 博士学位
1997-09~2001-06,天津大学, 学士学位

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 点衍射干涉波像差测量仪及检测方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310126148.5
( 2 ) 一种投影物镜波像差在线检测干涉仪, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201420482544.1
( 3 ) 光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201310261140.X
( 4 ) 光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410406641.7
( 5 ) 波像差测量模块的畸变测量装置和畸变校正方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410582052.4
( 6 ) 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510237227.2
( 7 ) 波前传感器及波前测量方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510398987.1
( 8 ) 光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510325941.7
( 9 ) 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: PCT/CN2015/088310
( 10 ) 光学元件旋转定位夹具及旋转定位方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201110391297.5
( 11 ) 平面光学元件面形的检测方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201210289617.0
( 12 ) 用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置与方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410422479.8
( 13 ) 一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510173537.2
( 14 ) 采用多探测器的光场光强分布测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710142748.9
( 15 ) 点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710155972.1
( 16 ) 偏振同步相移干涉仪, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710312393.3
( 17 ) 光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710155971.7
( 18 ) 精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711098310.1
( 19 ) 锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711099311.8
( 20 ) 平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710143097.5
( 21 ) 基于改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810247425
( 22 ) Device for measuring point diffraction interferometric wavefront aberration and method for detecting wave aberration, 2015, 第 1 作者, 专利号: US14/986593
( 23 ) 基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410360070.8
( 24 ) 透射波前检测干涉仪, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810804999.3
( 25 ) 横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910450984.6
( 26 ) 双侧多重平面倾斜波面干涉仪及其检测方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202010054305.6
( 27 ) 对光强波动不敏感的投影物镜波像差检测装置与检测方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202010000986.8
( 28 ) 横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及标定方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910948566.X
( 29 ) 光栅剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910948565.5
( 30 ) 投影物镜波像差检测装置及检测方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910664574.1
( 31 ) 斐索干涉仪回程误差的消除方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910660685.5
( 32 ) 大口径锥镜面形检测系统及检测方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810187098.4
( 33 ) 基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810180567.X
( 34 ) 锥形镜柱面镜面形的测量装置及测量方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810140014.1
( 35 ) 一种锥形镜锥角的检测装置和方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810078326.4
( 36 ) 光学成像系统倍率与畸变高精度测量装置及测量方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201711310720.8
( 37 ) 光栅剪切干涉光学成像系统波像差检测方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910183243.6
( 38 ) 基于光栅剪切干涉的光学成像系统的波像差检测方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910183242.1

出版信息

   
发表论文
(1) Dual-fiber point diffraction interferometer to measure the wavefront aberration of an imaging system, APPLIED OPTICS, 2020, 第 2 作者
(2) Imprinting gradient refractive index micro-structure in GeS2-Ga2S3-KCl glass for broadband diffraction grating, OPTICAL MATERIALS, 2020, 第 7 作者
(3) Relationship between shear ratio and reconstruction accuracy in lateral shearing interferometry, OPTICAL ENGINEERING, 2020, 第 2 作者
(4) Method for designing Phase Retrieval Algorithms for Ronchi Phase-Shifting Lateral Shearing Interferometry, Applied Optics, 2019, 第 3 作者
(5) Measuring Cone Angle of Axicon Using Scanning Fizeau Interferometer, Optical Engineering, 2019, 第 2 作者
(6) 环形子孔径扫描锥形镜面形检测方法研究, 中国激光, 2019, 第 2 作者
(7) 成像系统倍率高精度测量技术研究, 光学学报, 2018, 第 2 作者
(8) Compact lateral shearing interferometer based on circular modified Hartmann mask, Proc. SPIE, 2018, 第 2 作者
(9) 平面子孔径拼接干涉测量精度分析, 中国激光, 2018, 第 2 作者
(10) A method for improving measurement efficiency of lateral shearing interferometry, Opt. Eng, 2017, 第 2 作者
(11) 子孔径拼接干涉的快速调整及测量, 光学精密工程, 2017, 第 2 作者
(12) 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术, 光学学报, 2016, 第 2 作者
(13) 高精度平面子孔径拼接算法研究, 中国激光, 2016, 第 2 作者
(14) Piston error calibration of zonal reconstruction for a segmented wavefront in lateral shearing interferometry, Appl. Opt., 2015, 第 2 作者
(15) Wavefront reconstruction for lateral shearing interferometry based on difference polynomial fitting, Journal of Optics, 2015, 第 2 作者
(16) Analysis of lateral shearing interferometry without self-imaging limitations, Applied Optics, 2015, 第 2 作者
(17) Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析, 光学学报, 2015, 第 2 作者
(18) Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究, 中国激光, 2015, 第 2 作者
(19) 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析, 中国激光, 2014, 第 2 作者
(20) High spatial resolution zonal wavefront reconstruction with improved initial value determination scheme for lateral shearing interferometry, Applied Optics, 2013, 第 2 作者
(21) 二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析, 中国激光, 2013, 第 2 作者
(22) Use of numerical orthogonal transformation for the Zernike analysis of lateral shearing interferograms, Optics Express, 2012, 第 2 作者
(23) Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry: comparisons of existing algorithms, Appl Opt, 2012, 第 2 作者
(24) Generalized zonal wavefront reconstruction for high spatial resolution in lateral shearing interferometry, Journal of the Optical Society of America A, 2012, 第 2 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 极紫外光刻投影物镜波像差检测技术研究, 参与, 国家级, 2009-01--2011-12
( 2 ) 非常规光学零部件检测装置与镀膜工艺研发, 参与, 国家级, 2011-01--2013-10
( 3 ) EUV光刻投影物镜波像差检测装置研发, 参与, 国家级, 2012-01--2016-12
( 4 ) 高精度成像系统综合像质检测方法与实验研究, 主持, 研究所(学校), 2016-06--2018-06
( 5 ) 青年创新促进会, 主持, 部委级, 2014-01--2017-12
( 6 ) 浸没光刻机多通道像质检测技术研究, 参与, 国家级, 2017-01--2020-12
( 7 ) 激光干涉系统研制项目, 主持, 院级, 2019-01--2020-06
( 8 ) 投影物镜像质参数检测系统研制, 主持, 院级, 2020-05--2020-12
( 9 ) 能量探测仪, 主持, 院级, 2020-05--2020-12