基本信息
齐月静  女  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件： qiyuejing@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029

研究领域

集成电路装备

招生信息

博士、硕士

招生专业
080300-光学工程
招生方向
集成电路光刻技术
光学精密检测

教育背景

2002-09--2007-03   北京理工大学   硕博连读
学历
北京理工大学 -- 研究生
学位
北京理工大学 -- 博士

工作经历

2007年~2009年，北京理工大学博士后流动站。
2009年~至今，中国科学院光电研究院光电工程部。
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2015-01~2018-10,中国科学院光电研究院, 研究员
2009-06~2014-12,中国科学院光电研究院, 副研究员
2007-04~2009-06,北京理工大学, 博士后

教授课程

光刻技术

科研活动

   
参与会议
（1）Research on displacement measurement technology based on phase grating interferometry   第十二届信息光学与光子学国际会议   2021-07-23
（2）The Polarization tracing in Self-Referencing Interferometer for Displacement Measurement    第三届国际先进光刻技术研讨会   2020-11-05
（3）confocal position alignment in high precision wavefront error metrology using shack-hartmann wavefront sensor   国际先进光刻技术会议   2016-02-24
（4）A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor   国际先进光学制造与检测学术会议   齐月静   2014-04-26
（5）Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method   国际先进光学制造与检测学术会议   qiyuejing   2007-08-16

指导学生

已指导学生

李伟超  硕士研究生  430103-光学工程  

孟庆宾  硕士研究生  080300-光学工程  

庄函  硕士研究生  080300-光学工程  

马敬  硕士研究生  085202-光学工程  

李琦  硕士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

裴雨多  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

史徵羽  硕士研究生  080300-光学工程  

么铭怡  硕士研究生  085400-电子信息  

安超杰  硕士研究生  085400-电子信息  

周光迎  博士研究生  080300-光学工程  

金浩  博士研究生  080300-光学工程  

杨舒漫  硕士研究生  080300-光学工程