基本信息
徐向宇  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: xuxiangyu@ime.ac.cn
通信地址: 北京中科院微电子所
邮政编码:

研究领域

  • 研究领域包括:深紫外光刻光源技术研究、脉冲功率及其应用技术研究、大气压低温等离子体技术研究等。

  • 负责光刻曝光光源研发工作,并主持了光刻曝光光源核心部件国产化任务。

招生信息

   
招生专业
085400-电子信息
070204-等离子体物理
080300-光学工程
招生方向
光电信息处理
脉冲功率技术
等离子体物理

教育背景

2001-09--2006-06   北京大学   博士
1997-09--2001-07   山东大学   理学学士

工作经历

   

专利与奖励

   

出版信息

   

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 40W 4kHz ArF曝光光源产品研发/泵浦电源模块开发, 负责人, 国家任务, 2013-01--2016-12
( 2 ) 浸没式曝光光源研制及小批量产品生产能力建设, 负责人, 国家任务, 2016-01--2020-12

指导学生

已指导学生

张鑫  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

曹沛  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

朱潮通  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

现指导学生

马思佳  硕士研究生  085403-集成电路工程