高端光刻机检测技术；光学精密检测技术；生物医学光学成像技术

   

080300-光学工程
080300-光学工程

高端光刻机检测技术
光学精密检测技术
生物医学光学成像

2004-09--2009-06   中科院上海光学精密机械研究所   工学博士
2000-09--2004-06   南开大学   理学学士

   

2020-09~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 研究员
2011-09~2020-08,中科院上海光学精密机械研究所, 副研究员
2009-07~2011-08,中科院上海光学精密机械研究所, 助理研究员

2024-01-01-今,中国光学学会光学测试专业委员会, 委员
2022-07-01-今,仪器仪表学会计量仪器专委会, 委员

   

（1） 气-水界面复杂光学环境下机器视觉测量关键技术研究, 二等奖, 部委级, 2016

（ 1 ） 光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: 202211190014.5

（ 2 ） 基于光栅剪切干涉的光学系统数值孔径的测量方法, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: 202110767175.5

（ 3 ） 皮肤光学相干层析成像图像中表皮层的自动识别方法, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN112037242B

（ 4 ） 一种偏振同步相移点衍射干涉仪及其检测方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: 202111392143.8

（ 5 ） 光学相干层析成像系统色散补偿方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112683848A

（ 6 ） 皮肤光学相干层析图像配准的方法, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111951315A

（ 7 ） 基于矩形窗函数优化的光学相干层析成像信号处理方法, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111879730A

（ 8 ） 一种光学元件双向转动调整机构, 实用新型, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN210427916U

（ 9 ） 自动测量皮肤光学相干层析图像中表皮厚度的方法, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109389568A

（ 10 ） 增加扫频光学相干层析成像系统成像深度范围的方法, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109157187A

（ 11 ） 无源驱动旋转扫描光学探头, 专利授权, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN107854114A

（ 12 ） 偏振频域光学相干层析成像光谱校准方法, 专利授权, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107328740A

（ 13 ） 增加焦深范围的光学相干层析成像系统, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107233069A

（ 14 ） 扫频光学相干层析成像系统的光谱标定方法, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106949966A

（ 15 ） 一种提高扫频光学相干层析成像分辨率方法, 专利授权, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106872407A

（ 16 ） 照明主光线共光路的手持式眼底照相机, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106618478A

（ 17 ） 光学相干层析成像系统全探测深度色散补偿方法, 专利授权, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106361279A

（ 18 ） 手持式眼底照相机, 外观设计, 2016, 专利号: CN205493775U

（ 19 ） 一种用于内窥成像的光学探头, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105769112A

（ 20 ） 光学相干层析成像的图像伪彩色处理方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105761218A

（ 21 ） 一种用于安装内窥成像光学探头的基座, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105615818A

（ 22 ） 一种光学元件双向转动调整机构, 实用新型, 2016, 专利号: CN205229566U

（ 23 ） 光学元件往复式转动机构, 发明专利, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105445884A

（ 24 ） 基于单探测器的偏振频域光学相干层析成像系统, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103792192B

（ 25 ） 光学相干层析成像视网膜图像分层的方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105374028A

（ 26 ） 用于频域OCT系统的光谱仪, 实用新型, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103845039B

（ 27 ） 频域光学相干层析成像系统的色散补偿方法, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104771144A

（ 28 ） 可注视的激光扫描检眼镜, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104382554A

（ 29 ） 光电二极管前置放大电路, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103986431A

（ 30 ） 眼科光学相干断层扫描仪, 外观设计, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN302883453S

（ 31 ） 光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN203720528U

（ 32 ） 用于频域OCT系统的光谱仪, 发明专利, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103845039A

（ 33 ） 光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置及其测试方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103792798A

（ 34 ） 基于单探测器的偏振频域光学相干层析成像系统, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103792192A

（ 35 ） 紧凑型光刻投影物镜, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103631002A

（ 36 ） 全深度频域多普勒光学相干层析成像方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103439295A

（ 37 ） 偏振复频域光学相干层析成像方法和系统, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103344569A

（ 38 ） 全光场偏振像差检测装置, 实用新型, 2013, 第 7 作者, 专利号: CN202693266U

（ 39 ） 偏振检测装置器件误差的校正方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102879103A

（ 40 ） 光束斯托克斯参量测量装置, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN202648799U

（ 41 ） 正弦相位调制的并行复频域光学相干层析成像系统和方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102818786A

（ 42 ） 光束斯托克斯参量测量装置及测量方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102692274A

（ 43 ） 全光场全斯托克斯参量检测装置, 实用新型, 2012, 第 6 作者, 专利号: CN202420680U

（ 44 ） 复合电流调制半导体激光干涉仪, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102636109A

（ 45 ） 全光场偏振像差检测装置及检测方法, 发明专利, 2012, 第 7 作者, 专利号: CN102607819A

（ 46 ） 全光场全斯托克斯参量检测装置和检测方法, 发明专利, 2012, 第 6 作者, 专利号: CN102538971A

（ 47 ） 基于光源光强正弦调制的双折射检测装置和检测方法, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102288549A

（ 48 ） 半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102288387A

（ 49 ） 提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法, 发明专利, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102169012A

（ 50 ） 用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102168944A

（ 51 ） 提高光束偏振度测量精度的方法, 发明专利, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN101949734A

（ 52 ） 偏振检测装置中器件误差的测量方法, 发明专利, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN101936774A

（ 53 ） 双光源正弦相位调制位移测量干涉仪, 发明专利, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101738160A

（ 54 ） 单光源激振测振谐振传感器, 发明专利, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN100547355C

（ 55 ） 半导体激光单光源激振测振装置, 发明专利, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN201104240Y

   

（1） 基于Ronchi剪切干涉的投影物镜数值孔径测量方法, 中国激光, 2023, 通讯作者
（2） 100 kHz重复频率锡液滴靶研究, 激光与光电子学进展, 2023, 其他（合作组作者）
（3） 光刻机照明系统匀光单元光学设计与仿真, 中国激光, 2023, 第 1 作者
（4） 基于偏振 OCT 的激光焊接匙孔深度测量方法, 中国激光, 2023, 通讯作者
（5） Fast measurement of wavefront aberration in Double-grating Ronchi Lateral Shearing Interferometry, Optical Engineering, 2023, 通讯作者
（6） Super- resolution reconstruction algorithm for optical- resolution photoacoustic microscopy images based on sparsity and deconvolution, OPTICS EXPRESS, 2023, 通讯作者
（7） Depth-resolved dispersion compensation method for optical coherence tomography imaging based on rectangular window function optimization, JOURNAL OF MODERN OPTICS, 2022, 通讯作者
（8） (3N+1)-frame phase retrieval for double-grating Ronchi lateral shearing interferometry, Optics and Lasers in Engineering, 2022, 通讯作者
（9） Denoising algorithm of OCT images via sparse representation based on noise estimation and global dictionary, OPTICS EXPRESS, 2022, 通讯作者
（10） 偏振相移点衍射干涉波像差检测技术研究, 中国激光, 2022, 通讯作者
（11） Optical coherence elastography to evaluate depth-resolved elasticity of tissue, OPTICS EXPRESS, 2022, 通讯作者
（12） 基于圆环达曼光栅的长焦深光学相干层析成像系统, An Extended-Focus Optical Coherence Tomography System Based on Circular Dammann Grating, 中国激光, 2021, 第 2 作者
（13） 基于圆环达曼光栅的长焦深OCT系统, 中国激光, 2021, 通讯作者
（14） Epidermal layer recognition of optical coherence tomography skin images, Proc. SPIE, 2021, 通讯作者
（15） An Optimized Depth-Resolved Dispersion Compensation Method in Optical Coherent Tomography Signal Processing, FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHOTONICS AND OPTICAL ENGINEERING, 2021, 通讯作者
（16） A Probe Driven by Miniature Propeller for Intravascular Optical Coherence Tomography, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2020, 通讯作者
（17） 一种基于微型螺旋桨驱动的血管内光学相干层析成像探头, A Probe Driven by Miniature Propeller for Intravascular Optical Coherence Tomography, 中国激光, 2020, 第 2 作者
（18） 光学相干层析成像图像中角膜厚度的自动测量方法, Automatic Measurement Method for Corneal Thickness of Optical Coherence Tomography Images, 光学学报, 2019, 第 2 作者
（19） A simple system of swept source optical coherence tomography for a large imaging depth range, OPTICS COMMUNICATIONS, 2019, 通讯作者
（20） 一种基于固定光程差干涉信号的光学相干层析成像光谱标定方法, A Spectral Calibration Method in Optical Coherence Tomography Based on Interference Signal with Fixed Optical Path Difference, 中国激光, 2018, 第 2 作者
（21） 偏振频域光学相干层析成像中散斑噪声降低方法, Speckle Noise Reduction in Fourier Domain Polarization-Sensitive Coherence Tomography by Split-Spectrum, 光学学报, 2018, 第 2 作者
（22） 基于光声相关谱法的血液流速测量, Measuring Velocity of Blood Flow Based on Photoacoustic Correlation Spectroscopy, 中国激光, 2018, 第 3 作者
（23） 基于光声-光学相干层析成像的血流测量技术, Blood Flow Measurementwith Photoacoustic Microscopy and Optical Coherence Tomography, 中国激光, 2018, 第 3 作者
（24） Swept Source Optical Coherence Tomography System for Transdermal Drug Delivery Imaging by Microneedles, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2018, 通讯作者
（25） Measuring Velocity of Blood Flow Based on Photoacoustic Correlation Spectroscopy, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2018, 第 3 作者
（26） Blood Flow Measurementwith Photoacoustic Microscopy and Optical Coherence Tomography, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2018, 第 3 作者
（27） 偏振频域OCT系统光谱错位分析及光谱校准, Wavelength Misalignment Analysis and Spectral Calibration for Fourier Domain Polarization-Sensitive Optical Coherence Tomography, 中国激光, 2018, 第 2 作者
（28） 用于微针经皮给药成像的扫频OCT系统, Swept Source Optical Coherence Tomography System for Transdermal Drug Delivery Imaging by Microneedles, 中国激光, 2018, 第 2 作者
（29） Passively Driven Probe Based on Miniaturized Propeller for Intravascular Optical Coherence Tomography, SCIENTIFIC REPORTS, 2018, 通讯作者
（30） A Spectral Calibration Method in Optical Coherence Tomography Based on Interference Signal with Fixed Optical Path Difference, CHINESEJOURNALOFLASERSZHONGGUOJIGUANG, 2018, 第 2 作者
（31） Wavelength Misalignment Analysis and Spectral Calibration for Fourier Domain Polarization-Sensitive Optical Coherence Tomography, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2018, 第 2 作者
（32） 50kHz血管内扫频光学相干层析成像系统, Development of 50kHz Intravascular Swept Source Optical Coherence Tomographic System, 中国激光, 2017, 第 2 作者
（33） Automatic spectral calibration for polarization-sensitive optical coherence tomography, OPT. EXPRESS, 2017, 第 2 作者
（34） 基于互相关运算的扫频光学相干层析成像延时校正算法, A Delay Correction Algorithm for Swept Source Optical Coherence Tomography Based on Cross Correlation Operation, 中国激光, 2017, 第 2 作者
（35） Depth-dependent dispersion compensation for full-depth OCT image, OPTICS EXPRESS, 2017, 第 3 作者
（36） 一种提高扫频光学相干层析成像系统灵敏度的方法, A Method to Improve Sensitivity of Swept Source Optical Coherence Tomography System, 中国激光, 2017, 第 2 作者
（37） Automatic spectral calibration for polarization-sensitive optical coherence tomography, OPTICS EXPRESS, 2017, 通讯作者
（38） 基于PAOCT的血流测量技术研究, 中国激光, 2017, 第 1 作者
（39） Depth-dependent dispersion compensation for full-depth OCT image, OPT. EXPRESS, 2017, 第 3 作者
（40） Automated Retinal Layer Segmentation Based on Optical Coherence Tomographic Images, 光学学报, 2016, 第 2 作者
（41） 偏振频域光学相干层析成像局域衰减参数测量方法, 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集, 2016, 第 2 作者
（42） Automated Retinal Layer Segmentation Based on Optical Coherence Tomographic Images, 光学学报, 2016, 第 2 作者
（43） 血管内扫频光学相干层析成像系统, 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集, 2016, 第 2 作者
（44） 扫频光学相干层析成像系统的光谱标定方法, 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集, 2016, 第 2 作者
（45） 基于光学相干层析成像的视网膜图像自动分层方法, 光学学报, 2016, 通讯作者
（46） 光学相干层析成像随深度变化的色散补偿方法, 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集, 2016, 第 2 作者
（47） Speckle reduction in optical coherence tomography by two-step image registration, J. BIOMED. OPT., 2015, 第 2 作者
（48） 一种频域光学相干层析成像深度分辨率增强技术, 光学学报, 2015, 第 4 作者
（49） Speckle reduction in optical coherence tomography by two-step image registration, JOURNAL OF BIOMEDICAL OPTICS, 2015, 通讯作者
（50） A novel method for speckle reduction in optical coherence tomography by image registration, TWELFTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHOTONICS AND IMAGING IN BIOLOGY AND MEDICINE (PIBM 2014), 2014, 通讯作者
（51） Full-range Fourier domain polarization-sensitive optical coherence tomography using sinusoidal phase modulation, TWELFTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHOTONICS AND IMAGING IN BIOLOGY AND MEDICINE (PIBM 2014), 2014, 第 3 作者
（52） A method for obtaining scattering decomposed images in optical coherence tomography, JOURNAL OF OPTICS, 2014, 第 5 作者
（53） 样品散射对频域光学相干层析成像光谱形状和深度分辨率的影响, 光学学报, 2014, 第 4 作者
（54） 正弦相位调制全深度频域多普勒光学相干层析成像技术, 中国激光, 2014, 第 3 作者
（55） Full-range Fourier domain Doppler optical coherence tomography based on sinusoidal phase modulation, APPLIED OPTICS, 2014, 第 4 作者
（56） Scattering imaging of skin in Fourier domain optical coherence tomography, OPTICS COMMUNICATIONS, 2013, 第 7 作者
（57） 一种提高偏振光斯托克斯参量测量精度的方法, 中国激光, 2013, 第 2 作者
（58） 基于单光弹调制器的米勒矩阵测量技术, 光学学报, 2013, 第 6 作者
（59） 基于单光弹调制器的米勒矩阵测量误差分析, 光学学报, 2013, 第 6 作者
（60） 旋转波片法偏振检测装置器件参数校准, 光学学报, 2013, 第 2 作者
（61） 一种提高斯托克斯参量测量精度的方法, 中国激光, 2013, 第 1 作者
（62） Two-wavelength sinusoidal phase-modulating interferometer for nanometer accuracy measurement, CHINESE OPTICS LETTERS, 2012, 第 2 作者
（63） Sinusoidal phase-modulating interferometer insensitive to intensity modulation of a laser diode for displacement measurement, APPLIED OPTICS, 2012, 第 4 作者
（64） Sinusoidal phase-modulating laser diode interferometer insensitive to intensity modulation for real-time displacement measurement with feedback control system, OPTICS COMMUNICATIONS, 2012, 第 3 作者
（65） 纳米精度双波长正弦相位调制干涉仪, Chin. Opt. Lett., 2012, 第 1 作者
（66） Two-wavelength sinusoidal phase-modulating interferometer for nanometer accuracy measurement, Two-wavelength sinusoidal phase-modulating interferometer for nanometer accuracy measurement, 中国光学快报：英文版, 2012, 第 2 作者
（67） 消除光强调制影响的双波长正弦相位调制干涉仪, Two-Wavelength Sinusoidal Phase-Modulating Interferometer Insensitive to Intensity Modulation, 中国激光, 2011, 第 2 作者
（68） 用于距离测量的双模式激光干涉仪, SPIE, 2010, 第 1 作者
（69） 消除正弦相位调制菲索干涉仪多光束干涉影响的方法, 中国激光, 2009, 第 1 作者
（70） Sinusoidal phase-modulating laser diode interferometer insensitive to the intensity modulation of the light source, OPTIK, 2009, 第 1 作者
（71） 减小正弦相位调制菲佐干涉仪多光束干涉影响的方法, A Method to Reduce Influence of Multi-Beam Interference in Sinusoidal Phase Modulation Fizeau Interferometer, 中国激光, 2009, 第 1 作者
（72） 对光源光强调制不敏感的正弦相位调制半导体激光干涉仪, optik, 2009, 第 1 作者
（73） Accuracy analysis of parallel plate interferometer for angular displacement measurement, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2008, 第 3 作者
（74） Exciting and Detecting Vibration of Silicon Microresonator Sensors with a Single Laser Diode, 2008, 第 1 作者
（75） Accuracy analysis of parallel plate interferometer for angular displacement measurement, OPT. LASER TECHNOL., 2008, 第 3 作者
（76） 消除正弦相位调制干涉仪中光强调制影响的全光纤干涉仪, All Fiber-Optic Sinusoidal Phase-Modulating Interferometer Insensitive to Intensity Modulation of Light Source, 中国激光, 2007, 第 1 作者
（77） 消除光源光强调制影响的全光纤干涉仪, 中国激光, 2007, 第 1 作者
（78） 消除正弦相位调制干涉仪中光强调制影响的全光纤干涉仪, All Fiber-Optic Sinusoidal Phase-Modulating Interferometer Insensitive to Intensity Modulation of Light Source, 中国激光, 2007, 第 1 作者
（79） 一种使用双棱镜的动态小角度测量方法, Dynamic Measurement of Small Angle with Two Prisms, 中国激光, 2007, 第 3 作者
（80） 一种使用双棱镜的动态小角度测量方法, Dynamic Measurement of Small Angle with Two Prisms, 中国激光, 2007, 第 3 作者
（81） Method for eliminating the influence of light intensity modulation in sinusoidal phase modulating laser diode interferometer, 3RD INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: OPTICAL TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY AND EQUIPMENT, PARTS 1-3, 2007, 通讯作者

   

（ 1 ） 照明光瞳偏振参数检测装置, 负责人, 国家任务, 2022-07--2024-02
（ 2 ） 照明光瞳偏振检测传感器, 负责人, 国家任务, 2022-07--2022-07
（ 3 ） 投影物镜偏振特性检测技术, 负责人, 国家任务, 2022-07--2022-08
（ 4 ） 血管内OCT样机研制, 负责人, 地方任务, 2015-07--2018-09
（ 5 ） 眼科OCT工程样机研发, 负责人, 地方任务, 2013-09--2016-08
（ 6 ） 眼底照相机工程样机研发, 负责人, 境内委托项目, 2018-01--2018-12
（ 7 ） 生物测量仪设计, 负责人, 境内委托项目, 2020-01--2021-06
（ 8 ） 中科院青年创新促进会, 负责人, 中国科学院计划, 2018-01--2021-12
（ 9 ） 皮肤光学相干层析成像（OCT）实验室样机的研制, 负责人, 地方任务, 2019-04--2022-03
（ 10 ） 微针经皮给药动力学行为测试方法研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12
（ 11 ） 面向皮肤疾病的超声-OCT生物力学成像仪器研制, 负责人, 国家任务, 2020-01--2024-12
（ 12 ） 手持式眼底照相机光学系统设计, 负责人, 境内委托项目, 2021-01--2021-12
（ 13 ） 青年创新促进会优秀会员, 负责人, 中国科学院计划, 2023-01--2025-12
（ 14 ） 系统设计、集成与测试, 负责人, 中国科学院计划, 2023-10--2027-12

已指导学生

张行  硕士研究生  085202-光学工程  

贺琪欲  硕士研究生  085202-光学工程  

曹毅  硕士研究生  085202-光学工程  

宋思雨  硕士研究生  080300-光学工程  

何东航  硕士研究生  080300-光学工程  

冯鹏  博士研究生  080300-光学工程  

卢云君  博士研究生  080300-光学工程  

王刚  硕士研究生  085400-电子信息  

张以恒  硕士研究生  080300-光学工程  

张茜  博士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

杨晨铭  博士研究生  080300-光学工程  

刘腾  博士研究生  080300-光学工程  

王鑫  硕士研究生  080300-光学工程  

杨建荣  博士研究生  080300-光学工程  

黎守毅  硕士研究生  080300-光学工程  

黄申鹏  博士研究生  080300-光学工程  

褚子钦  硕士研究生  085400-电子信息  

常春超  博士研究生  080300-光学工程