080903-微电子学与固体电子学

微机电系统（MEMS）

2005-09--2008-06   中国科学院半导体研究所   微电子学与固体电子学 博士学位
2002-09--2005-06   郑州大学   材料物理与化学 硕士学位
1998-09--2002-06   郑州大学   应用物理 学士学位

   

2015-01~现在, 中国科学院半导体研究所, 副研究员
2013-01~2014-12,中国科学院半导体研究所, 项目副研究员
2008-07~2012-12,中国科学院半导体研究所, 助理研究员
2005-09~2008-06,中国科学院半导体研究所, 微电子学与固体电子学 博士学位
2002-09~2005-06,郑州大学, 材料物理与化学 硕士学位
1998-09~2002-06,郑州大学, 应用物理 学士学位

晶圆级3D器件异质集成技术科技前沿讲座
微机电系统基础
MEMS和微系统

   

（ 1 ） 激光辅助无掩膜高深宽比碳化硅深槽孔结构制备方法, 2019, 第 7 作者, 专利号: CN109659220A

（ 2 ） 一种通过激光刻蚀碳化硅制备碳化硅超结结构的方法, 2018, 第 10 作者, 专利号: CN105529246B

（ 3 ） 压电执行梁结构, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN105810813B

（ 4 ） 一种H 2 微刻蚀进行碳化硅离子激活的方法, 2018, 第 9 作者, 专利号: CN104538290B

（ 5 ） 环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN105306003B

（ 6 ） 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN104482930B

（ 7 ） 双自由度MEMS压电梁结构, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105823904A

（ 8 ） 一种利用金属材料扩散互溶实现硅-硅键合的方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN105197881A

（ 9 ） 晶圆级光刻机键合方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN105174209A

（ 10 ） 材料扩散互溶实现碳化硅键合的方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104876180A

（ 11 ） 一种去除碳化硅等离子体刻蚀形成的刻蚀损伤层的方法, 2015, 第 9 作者, 专利号: CN104599952A

（ 12 ） 一种碳化硅欧姆接触电极及其制作方法, 2015, 第 15 作者, 专利号: CN104538294A

（ 13 ） 在衬底上制备多级台阶的方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104445051A

（ 14 ） 采用晶圆级封装的MEMS器件, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104401930A

（ 15 ） 利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104377117A

（ 16 ） 一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103644999A

（ 17 ） 一种制备图形化多孔硅结构的方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103641063A

（ 18 ） 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路, 2011, 第 4 作者, 专利号: CN102062826A

（ 19 ） 电学测试的汞探针装置, 2010, 第 5 作者, 专利号: CN101644691

（ 20 ） 由绝缘衬底上超薄六方相碳化硅膜外延石墨烯的方法, 2009, 第 4 作者, 专利号: CN101492835

（ 21 ） 用于MEMS器件的大面积3C-SiC薄膜的制备方法, 2009, 第 4 作者, 专利号: CN100514562

（ 22 ） 碳化硅射频微电子机械系统滤波器的制作方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101471637

（ 23 ） 一种用于微电子机械系统的碳化硅微通道的制作方法, 2009, 第 3 作者, 专利号: CN101468786

（ 24 ） 多晶立方相碳化硅微机电系统谐振器件及其制作方法, 2009, 第 6 作者, 专利号: CN101447775

（ 25 ） 氧化硅上制备低阻碳化硅的方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101440481

（ 26 ） 图形衬底上生长碳化硅厚膜的方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101442010

（ 27 ） 基于氮化铝缓冲层的硅基3C-碳化硅异质外延生长方法, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101281862

（ 28 ） 一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置, 2008, 第 5 作者, 专利号: CN101240445

（ 29 ） 一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置, 2008, 第 5 作者, 专利号: CN200999271

   

（1） A High-Reliability RF MEMS Metal-Contact Switch Based on Al-Sc Alloy, MICROMACHINES, 2023, 第 5 作者
（2） Effects of Mask Material on Lateral Undercut of Silicon Dry Etching, MICROMACHINES, 2023, 第 5 作者
（3） A new DRIE cut-off material in SOG MEMS process, A new DRIE cut-off material in SOG MEMS process, 半导体学报:英文版, 2023, 第 4 作者
（4） A novel multi-axis pendulum sandwich structure accelerometer, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2023, 第 4 作者
（5） A High-Performance MEMS Accelerometer with an Improved TGV Process of Low Cost, MICROMACHINES, 2022, 第 4 作者
（6） Design and Fabrication of a Novel Poly-Si Microhotplate with Heat Compensation Structure, Micromachines, 2022, 第 5 作者
（7） Detection of trace mercury ions in water with a bovine-serum-albumin-modified Au@SiNWA surface-enhanced-Raman-scattering sensor, ANALYTICAL METHODS, 2021, 第 6 作者
（8） A Novel Fabrication Method for a Capacitive MEMS Accelerometer Based on Glass-Silicon Composite Wafers, MICROMACHINES, 2021, 第 4 作者
（9） ZRO Drift Reduction of MEMS Gyroscopes via Internal and Packaging Stress Release, MICROMACHINES, 2021, 第 4 作者
（10） Recent Progress of Miniature MEMS Pressure Sensors, MICROMACHINES, 2020, 第 6 作者
（11） Facile synthesis of Au nanoparticle-coated Fe3O4 magnetic composite nanospheres and their application in SERS detection of malachite green, SPECTROCHIMICA ACTA PART A-MOLECULAR AND BIOMOLECULAR SPECTROSCOPY, 2020, 第 6 作者
（12） A Novel Piezoresistive MEMS Pressure Sensors Based on Temporary Bonding Technology, SENSORS, 2020, 通讯作者
（13） 更耐高压、更低功耗：新型碳化硅IGBT器件闪耀半导体器件舞台, 科技纵览, 2019, 第 7 作者
（14） A Decoupling Design with T-Shape Structure for the Aluminum Nitride Gyroscope, MICROMACHINES, 2019, 第 6 作者
（15） Research on the Protrusions Near Silicon-Glass Interface during Cavity Fabrication, MICROMACHINES, 2019, 第 5 作者
（16） Quantitative and sensitive detection of prohibited fish drugs by surface-enhanced Raman scattering, Quantitative and sensitive detection of prohibited fish drugs by surface-enhanced Raman scattering, 中国物理B：英文版, 2018, 第 6 作者
（17） Quantitative Detection of NADH Using a Novel Enzyme-Assisted Method Based on Surface-Enhanced Raman Scattering, SENSORS, 2017, 第 5 作者
（18） A review: aluminum nitride MEMS contour-mode resonator, JOURNAL OF SEMICONDUCTORS, 2016, 第 5 作者
（19） Low-costAu nanoparticle-decorated cicada wing as sensitive and recyclable substrates for surface, Sensors and Actuators B, 2015, 第 1 作者
（20） Low-cost Au nanoparticle-decorated cicada wing as sensitive and recyclable substrates for surface enhanced Raman scattering, SENSORS & ACTUATORS: B. CHEMICAL, 2015, 第 4 作者
（21） AgAu core-shell dendrites:a stable,reusable and sensitive surface enhanced Raman scattering substrate, SCIENTIFIC REPORTS, 2015, 第 3 作者
（22） Recyclable three-dimensional Ag nanoparticle-decorated TiO2 nanorod arrays for surface-enhanced Raman scattering, BIOSENSORS AND BIOELECTRONICS, 2015, 第 4 作者
（23） Feed-through cancellation of a MEMS filter using the difference method and analysis of the induced notch, JOURNAL OF SEMICONDUCTORS, 2013, 第 6 作者
（24） Optimization for MEMS filter to reduce feed-through and an analysis method based on polar diagram, ADVANCED MATERIALS RESEARCH, 2013, 第 4 作者
（25） Effect of different metal composite layer on field emission properties of diamond film, ADVANCED MATERIALS RESEARCH, 2012, 第 3 作者
（26） 基于谐振原理的RF MEMS滤波器的研制, Fabrication of the RF MEMS Filter Based on Resonance, 微纳电子技术, 2012, 第 5 作者
（27） 表面镀钛对金刚石薄膜场发射特性的影响, Effect of Metal Ti Layer on Field Emission Properties of Diamond Film, 纳米科技, 2012, 第 3 作者
（28） Comparative studies on field emission properties of diamond and diamond /Ti films, ADVANCED MATERIALS RESEARCH, 2012, 第 3 作者
（29） Fabrication and characterisation of polysilicon-based clamped-clamped filter, KEY ENGINEERING MATERIALS, 2011, 第 1 作者
（30） 立方相SiC MEMS器件研究进展, Research Progress in Cubic SiC MEMS Devices, 微纳电子技术, 2010, 第 6 作者
（31） Simulation and fabrication of the SiC-based clamped-clamped filter, 2008 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED-CIRCUIT TECHNOLOGY, VOLS 1-4, 2008, 通讯作者
（32） 无掩模硅图形衬底上3C-SiC的异质外延生长, Heteroepitaxial Growth of 3C-SiC Films on Maskless Patterned Silicon Substrates, 半导体学报, 2008, 第 1 作者
（33） Doped Polycrystalline 3C-SiC Films Deposited by LPCVD for Radio-Frequency MEMS Applications, Doped Polycrystalline 3C-SiC Films Deposited by LPCVD for Radio-Frequency MEMS Applications, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2008, 通讯作者
（34） Si基SiC微通道及其制备工艺, Preparation of SiC Microfluidic Channels on Silicon Substrate, 微纳电子技术, 2008, 第 4 作者
（35） 碳化硅材料的异质外延生长技术和射频MEMS器件研究, 2008, 第 1 作者
（36） Doped Polycrystalline 3C-SiC Films Deposited by LPCVD for Radio-Frequency MEMS Applications, Doped Polycrystalline 3C-SiC Films Deposited by LPCVD for Radio-Frequency MEMS Applications, 中国物理快报：英文版, 2008, 第 1 作者
（37） 水平静电驱动式多晶3C-SiC折叠悬臂梁谐振器微结构, Laterally Electrostatically Driven Poly 3C-SiC Folded-Beam Resonant Microstructures, 半导体学报, 2008, 第 2 作者
（38） Heteroepitaxial Growth of 3C-SiC Films on Maskless Patterned Silicon Substrates, 半导体学报, 2008, 第 1 作者
（39） 台面结构对4H-SiC紫外探测器性能的影响, Effect of Mesa Structures on the Responsivities of 4H-SiC Photodetectors, 半导体学报, 2007, 第 4 作者
（40） Si衬底上SiC薄膜的快速生长, Fast Epitaxy of 3C-SiC Grown on Si Substrate, 半导体学报, 2007, 第 2 作者
（41） Preferential orientation growth of ain thin films on si (111) substrates by lp-mocvd, MODERN PHYSICS LETTERS B, 2007, 通讯作者
（42） Heavily doped polycrystalline 3C-SiC growth on SiO2/Si(100) substrates for resonator applications, SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2006, 2007, 第 4 作者
（43） Uniformity Investigation in 3C-SiC Epitaxial Layers Grown on Si Substrates by Horizontal Hot-Wall CVD, 半导体学报, 2007, 第 2 作者
（44） 硅基3C-SiC的热氧化机理, Mechanism of Thermal Oxidation of 3C-SiC Grown on Si, 半导体学报, 2007, 第 1 作者
（45） Heavily doped polycrystalline 3C-SiC growth on SiO2/Si(100) substrates for resonator applications, SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2006丛书标题: MATERIALS SCIENCE FORUM, 2007, 
（46） Growth of a Novel Periodic Structure of SiC/AIN Multilayers by Low Pressure Chemical Vapour Deposition, Growth of a Novel Periodic Structure of SiC/AIN Multilayers by Low Pressure Chemical Vapour Deposition, 中国物理快报：英文版, 2007, 第 1 作者
（47） 利用水平热壁CVD法生长的3C—SiC／Si的均匀性, Uniformity Investigation in 3C-SiC Epitaxial Layers Grown on Si Substrates by Horizontal Hot-Wall CVD, 半导体学报, 2007, 第 2 作者
（48） Growth of a novel periodic structure of SiC/AlN multilayers by low pressure chemical vapour deposition, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2007, 通讯作者
（49） Raman scattering detection of stacking faults in free-standing cubic-SiC epilayer, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2006, 第 4 作者

（ 1 ） 基于智能工厂的M2M通信架构、技术、标准与应用, Machine-to-Machine Communications Architectures, Technology and Applications, 机械工业出版社, 2016-10, 第 2 作者
（ 2 ） 微机电系统基础, MEMS Introduction and Fundamentals, 机械工业出版社, 2017-01, 第 1 作者

   

（ 1 ） 高压大容量碳化硅IGBT电力电子器件若干基础科学问题研究, 参与, 国家任务, 2015-01--2019-08
（ 2 ） 新型级联阵列结构的AlN MEMS谐振器及关键机理研究, 参与, 国家任务, 2013-01--2016-12
（ 3 ） 基于倾斜扫描曝光方式的直写曝光系统, 负责人, 中国科学院计划, 2019-01--2019-12
（ 4 ） 基于热压阻NEMS谐振器的单芯片射频前端基础器件研究, 负责人, 国家任务, 2021-01--2024-12