080501-材料物理与化学
080502-材料学
080503-材料加工工程

半导体材料，MEMS，微纳传感器
射频器件，能量采集器
柔性器件

2007-09--2012-07   北京大学   硕博连读
2002-09--2006-07   西北工业大学   本科

   

2012-09~现在, 中国科学院半导体研究所/国科大, 助理研究员/副研究员

   

（ 1 ） 一种封装结构及其应用, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610463337.5
（ 2 ） 频率可调的 MEMS 谐振器, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: 201310306960.6
（ 3 ） 一种微机械谐振器及其制作方法, 发明, 2013, 第 4 作者, 专利号: 201310235167.1
（ 4 ） 微型电磁式能量采集器及制备方法, 发明, 2009, 第 1 作者, 专利号: ZL200910080541.9
（ 5 ） 频率可调的 MEMS 滤波器, 发明, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL201310235167.1

   

（1） Design and Characterization of a 3D Encapsulation with Silicon vias for RF MEMS Resonators, Chin. Phys. B, 2017, 第 2 作者
（2） A Low Feed-through 3D Vacuum Packaging Technique with Silicon Vias for RF MEMS Resonators, J. Micromech. and Microeng., 2016, 第 2 作者
（3） A zero-level vacuum encapsulation technique with less parasitic effect for VHF MEMS resonators, Sens. Actuators, A, 2016, 第 2 作者
（4） Frequency stability of RF-MEMS disk resonators, IEEE transactions on electron devices, 2015, 第 1 作者
（5） Frequency Stability of RF Oscillator with MEMS-based Encapsulated Resonator, 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2015), 2015, 第 1 作者
（6） Design and Fabrication of Integrated Magnetic MEMS Energy Harvester for Low Frequency Applications, Journal of Microelectromechanical Systems, 2014, 第 1 作者
（7） Electrodeposition and characterization of CoNiMnP permanent magnet arrays for MEMS sensors and actuators, Sensors and Actuators A, 2012, 第 1 作者

   

（ 1 ） 集成化高性能微纳机电射频谐振器件研究, 参与, 国家级, 2013-01--2017-12
（ 2 ） 硅基MEMS射频前端模块技术研究, 参与, 国家级, 2018-01--2022-12
（ 3 ） 基于机械耦合谐振器的MEMS超窄带滤波器研究, 主持, 国家级, 2015-12--2017-12
（ 4 ） 可调MEMS 耦合谐振窄带滤波器研究, 主持, 市地级, 2016-12--2019-01
（ 5 ） 高灵敏、快速病原微生物检测系统研制, 参与, 部委级, 2017-01--2018-12
（ 6 ） 基于射频MEMS器件的低功耗无线生化信号传输系统, 参与, 部委级, 2017-01--2021-12