070207-光学

计算机辅助装调，光学系统设计，光学系统像质检测

2007-09--2010-07   中国科学院长春光学精密机械与物理研   博士
2005-09--2007-07   哈尔滨工业大学   硕士

   

2012-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研, 副研究员
2010-07~2012-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研, 助理研究员
2007-09~2010-07,中国科学院长春光学精密机械与物理研, 博士
2005-09~2007-07,哈尔滨工业大学, 硕士

   

（ 1 ） 一种两自由度调节的镜组吊装调平装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN201510725265

（ 2 ） 利用轴向色差进行快速辅助定心的光学装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410613532.2

（ 3 ） 物距可调的有限远共轭距光学变焦系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN201610929892

   

（1） 利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差, 光学学报, 2015, 第 1 作者
（2） 利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量, 光学学报, 2014, 第 1 作者
（3） 投影物镜小比率模型系统补偿量的选择方法, 光学精密工程, 2013, 第 1 作者
（4） New design of beam expanding unit for excimer laser, Optics and Laser in Engineering, 2012, 第 1 作者
（5） 提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法, 光学学报, 2012, 第 1 作者

   

（ 1 ） XX投影物镜结构与装调, 参与, 国家任务, 2009-01--2015-12
（ 2 ） 极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项, 参与, 国家任务, 2017-01--2020-12