基本信息

彭春荣  男  研究员 博士生导师  中国科学院空天信息创新研究院

中国科学院青年创新促进会员
中国科学院卢嘉锡青年人才奖获得者
中国电子学会优秀科技工作者
全国微机电技术标准化技术委员会委员
中国仪器仪表学会传感器分会理事

电子邮件: crpeng@mail.ie.ac.cn
联系电话:010-58887590
通信地址: 北京市海淀区中关村北一条9号科电大厦
邮政编码: 100190

研究领域

多年长期主要从事电场探测先进传感器等新型电学量传感器及应用、传感器与微系统的创新性研究工作。近年来主要研究领域包括:高灵敏MEMS电场传感器敏感机理与器件、低功耗高精度电力电学量微传感器与系统、高精度静电传感器与微系统、微纳制造与封装技术、低噪声检测电路与传感器集成、多传感芯片集成与融合、智能传感系统、环境自供能微传感器集成等。

教育背景

2004-03--2007-03   中国科学院大学   博士
2001-09--2004-03   北京航空航天大学   硕士
1997-09--2001-07   北京信息科技大学   学士
学历

​研究生

学位

博士​

职称

正高级

专利与奖励


奖励信息
(1) 面向电网关键设施设备状态感知的新型光机电传感器关键技术及应用, 三等奖, 部委级, 2020
(2) 电网雷击风险预警关键技术、装备与应用, 二等奖, 省级, 2020
(3) 输电通道雷击风险预警关键技术与应用, 一等奖, 其他, 2020
(4) 面向电网关键设施设备状态感知的新型光机电传感器关键技术及应用, 一等奖, 其他, 2020
(5) 面向电力能源通道的雷电灾害预警系统及应用, 一等奖, 其他, 2020
(6) 输电通道雷击风险多参量融合动态预警技术与应用, 一等奖, 部委级, 2019
(7) 菁英人才计划, 研究所(学校), 2017
(8) 科技成果转化奖, 一等奖, 部委级, 2015
(9) 中国电子学会优秀科技工作者, , 部委级, 2015
(10) 中国科学院卢嘉锡青年人才奖, , 部委级, 2015
(11) 电场探测先进传感器关键技术及应用, 一等奖, 省级, 2015
(12) 电场探测先进传感器技术, 二等奖, 其他, 2014
(13) 中国科学院青年创新促进会会员, 部委级, 2014
(14) 中国(国际)传感器创新大赛特等奖, 特等奖, 其他, 2014
(15) 优秀青年人才计划, 研究所(学校), 2013
(16) 高性能谐振式传感器设计与实现, 一等奖, 部委级, 2012
(17) 中国科学院院长优秀奖, , 部委级, 2006
专利成果

[1]     彭春荣,夏善红. “谐振式微型电场传感器”,国家发明专利,ZL200810222769.2, 2012.06.27
[2]     彭春荣,夏善红. “微型电场传感器的封装结构与封装方法”,国家发明专利,ZL 200810222768.8,2012.05.02
[3]     夏善红、彭春荣、白强、陈绍凤. “静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器”,国家发明专利, ZL200510093370.5  2008.09.24
[4]     夏善红,杨鹏飞,彭春荣. “异型电极微型电场传感器”,国家发明专利, ZL201010504163.5, 2013.12.04
[5]     陈绍凤、陈贤祥、白强、彭春荣、夏善红. “阵列式微型电场传感器”,国家发明专利, ZL200510093370.5  2008.11.05
[6]     夏善红,叶  超,陈贤祥,彭春荣,陈绍凤. “一种微型三维电场传感器”,国家发明专利, ZL200710063882.6  2011.05.04
[7]     陈贤祥、夏善红、任仁、彭春荣、郑凤杰. 一种三维空中电场传感器。国家发明专利, ZL201010218460.3, 2013.09.25
[8]     夏善红,王宇,方东明,彭春荣,旋转谐振式三维电场传感器,国家发明专利, ZL201210071769.3  2016.01.27
[9]     夏善红,王宇,方东明,彭春荣,伸缩谐振式三维电场传感器,国家发明专利, ZL201210071588.0, 2016.01.27
[10]  彭春荣、闻小龙、杨鹏飞、方东明、夏善红,一种电场传感器温度漂移及时间漂移实时差分补偿方法,国家发明专利,ZL201210479248.1, 2017.3.22
[11]  Shanhong Xia, Yu Wang, Dongming Fang, Chunrong Peng. Rotary Resonant Three-Dimensional Electric Field Sensor. United States Patent(美国授权专利),US 9513323B2,  2016.12.6。
[12]  夏善红,闻小龙,彭春荣,杨鹏飞,方东明. 基于共面传感单元的三维电场测量方法。国家发明专利,ZL 201410090025.5, 2017.01.25
[13]  夏善红,闻小龙,陈贤祥,彭春荣,杨鹏飞,方东明。基于高阻材料的电场传感器封装元件。国家发明专利,ZL 201310340888.9  2017.3.8
[14]  方东明,王宇,方奕庚,彭春荣,夏善红一种扭摆式微型电场传感器,国家发明专利,ZL201410771839.5, 2017.7.14。
[15]  彭春荣,李冰,夏善红,电场传感器动态测试标定装置,国家发明专利,ZL 201610421620.1, 2018.12.18。
[16]  夏善红,李斌,彭春荣,杨鹏飞,凌必赟,郑凤杰,一种无源型电流电压集成传感器,国家发明专利,ZL 201610329901.4。 2019.02.15
[17]  夏善红、叶超、彭春荣、陈贤祥, 谐振型压电驱动式地面电场传感器,国家发明专利,ZL 201210580187.8, 2018.10.02
[18]  夏善红,闻小龙,陈贤祥,彭春荣,杨鹏飞,方东明. High Resistivity Material-based Packaging Element for Electric Field Sensor. US Patent(美国授权专利), US10514406B2. 2019-12-24.
[19]  任仁,彭春荣,储昭志,凌必赟,夏善红,郑凤杰,吕曜,基于多通道开关的电场传感器系统,ZL201810267990.3, 2019.11.15
[20]  任仁;夏善红;彭春荣;郑凤杰;李冰;陈博;吕曜;陈贤祥,非接触式动态心电监测系统,国家发明专利, ZL2017100957948, 2020.06.26
[21]  夏善红,凌必赟,彭春荣. 一种低轴间耦合的三维电场传感器,国家发明专利,ZL201711202281.9, 2021年02月23日
[22]  夏善红,凌必赟,彭春荣,任仁,郑凤杰,基于微组装的三棱结构微型三维电场传感器及制备技术,ZL 201811592143.0, 2020年09月25日
[23]  彭春荣、修日、毋正伟、任仁、夏善红,灵敏度可调节的谐振微型电场传感器,ZL201911211349.9, 2020年11月20日
[24]  任仁,彭春荣,凌必赟,储昭志,夏善红,郑凤杰,吕曜,电传传感器标定系统,ZL 201810143967.3, 2020年06月09日
[25]  夏善红,雷虎成,彭春荣,压电驱动互屏蔽电极微型电场传感器, ZL201910565144.4,2019.6.26;  2021.4.6
[26]  任仁;彭春荣;凌必赟;夏善红;郑凤杰;吕曜,一种电场传感器的封装组件、封装方法及电场传感器,ZL 2019100954169,2019.1.30; 2021.7.27
[27]  郑凤杰,夏善红,彭春荣,一种静电场传感器的自动化标定装置及标定方法,国家发明专利, 201610272992.2,2016-04-28; 2021-04-23
[28]  彭春荣,修日,任仁,毋正伟,夏善红,基于多结构耦合的微型电场传感器及其制备方法,ZL201910896672.8,2019.9.20, 2022.03.18.
[29]  夏善红,闻小龙,陈贤祥,彭春荣,杨鹏飞,方东明。基于高阻材料的电场传感器封装元件(High Resistivity Material-based Packaging Element for Electric Field Sensor),欧洲专利,PCT/CN2014/083691,国际公布日2015.2.12
[30]  夏善红,王宇,方东明,彭春荣,旋转谐振式三维电场传感器,PCT/CN2013/072708.
[31]  夏善红、闻小龙、杨鹏飞、彭春荣、郑凤杰、刘宇涛,分布电极式三维电场传感器,国家发明专利, 201810727988.X,2018.10.02
[32]  夏善红,储昭志,彭春荣,一种扭转式电场传感器,国家发明专利, 201610404210.6
[33]  夏善红、储昭志、雷虎成、彭春荣、凌必赟、张洲威,一种基于扭转振动的互屏蔽式电场传感器,国家发明专利, 201810255986.5
[34]  郑凤杰,夏善红,彭春荣,一种金属微结构电场传感器,国家发明专利, 201610273929.0,2016.04.28
[35]  夏善红、闻小龙、彭春荣、杨鹏飞、刘宇涛,电场传感器封装组件及其批量化制造方法,国家发明专利, 201810694787.4,2018.06.28
[36]  夏善红,刘俊,储昭志,雷虎成,彭春荣,一种微型电场传感器圆片级封装增敏降噪结构,  202010943851.5,2020年9月9日
[37]  彭春荣,王子龙,毋正伟,夏善红.  电场传感器, 202010389820.X,2020年05月09日
[38]  彭春荣,李嘉晨,郑凤杰,毋正伟,任仁,夏善红,吕曜,振动电容式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器,国家发明专利, 202110386100.2,2021年4月9日
[39]  彭春荣,李嘉晨,郑凤杰,毋正伟,任仁,夏善红,吕曜; 压阻式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器; 国家发明专利, 202110386099.3,2021年4月9日
[40]  彭春荣,李嘉晨,郑凤杰,毋正伟,任仁,吕曜,空间电场测量装置及系统,国家发明专利, 202111065532.X,2021年09月10日
[41]  彭春荣,李嘉晨,毋正伟,郑凤杰,任仁,吕曜,谐振式电场传感器及其制备方法,国家发明专利, 202111065624.8,2021年09月10日
[42]  彭春荣,李嘉晨,毋正伟,驻极体式微型电场传感器及方法、电场传感器系统及方法,国家发明专利, 202111052870.X,2021年09月08日
[43]  任仁,彭春荣,一种飞行器静电检测装置及方法,国家发明专利, 202110640496.9,  2021.06.08
[44]  彭春荣,邢学斌,任仁. 一种芯片级三维电场传感器及其测量方法, 202210808559.1, 2022.07.11
[45]  彭春荣,邢学斌,任仁. 一种空间三维电场测量传感器及其测量方法, 202210811675.9, 2022.07.11
[46]  任仁,彭春荣. 一种球形电极全向静电场检测装置,  202211230771.0,  2022.10.10.
[47]  夏善红 高雅浩 刘向明 彭思敏 彭春荣. 一种基于GIS-SOI-GOS的垂直谐振式MEMS电场传感器, 202211235320.6,2022.10.10.

出版信息

IEEE SENS. J.等国内外重要刊物发表论文100余篇,其中SCI/EI收录70余篇;申请发明专利40余项,其中获授权发明专利28项(2项美国专利授权),5项发明专利实现转让转移;制定国标、国军标、团标、企业军用标准7项,包括作为主要撰稿人及负责人制定了我国MEMS电场传感器的首个国家标准和首个国家军用标准,负责制定IEC国际标准1项。

发表论文
[1] 雷虎成, 夏善红, 彭春荣, 毋正伟, 张洲威, 刘俊, 彭思敏, 刘向明, 高雅浩. 基于锆钛酸铅的低电压驱动MEMS电场传感器研究. 电子与信息学报[J]. 2023, 45(1): 150-157, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7108768229.
[2] Zhaozhi Chu, Pengfei Yang, Xiaolong Wen, Chunrong Peng. A Resonant Electrostatic Field Microsensor with Self-compensation for Sensitivity Drift. IEEE Sensors Journal[J]. 2023, [3] Zhaozhi Chu, Pengfei Yang, Xiaolong Wen, Chunrong Peng. An Electric Field Microsensor with Self-compensation for Sensitivity Drift. 2022 IEEE Sensorsnull. 2022, [4] Li, Jiachen, Liu, Jun, Peng, Chunrong, Liu, Xiangming, Wu, Zhengwei, Zheng, Fengjie. Design and Testing of a Non-Contact MEMS Voltage Sensor Based on Single-Crystal Silicon Piezoresistive Effect. MICROMACHINES[J]. 2022, 13(4): http://dx.doi.org/10.3390/mi13040619.
[5] 李嘉晨, 刘向明, 刘俊, 高雅浩, 彭思敏, 张洲威, 毋正伟, 郑凤杰, 任仁, 彭春荣. 基于驻极体的低功耗非接触式电压测量技术. 仪表技术与传感器[J]. 2022, 117-122, https://d.wanfangdata.com.cn/periodical/ybjsycgq202207023.
[6] Jun Liu, Shanhong Xia, Chunrong Peng, Zhengwei Wu, Zhaozhi Chu, Zhouwei Zhang, Hucheng Lei, Fengjie Zheng, Wei Zhang. Wafer-Level Vacuum Packaged Electric Field Microsensor: Structure Design, Theoretical Model, Fabrication and Characterization[J]. Micromachines[J]. 2022, [7] Yang, Pengfei, Wen, Xiaolong, Chu, Zhaozhi, Ni, Xiaoming, Peng, Chunrong. Non-intrusive DC voltage measurement based on resonant electric field microsensors. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING[J]. 2021, 31(6): http://dx.doi.org/10.1088/1361-6439/abf631.
[8] Yang, Pengfei, Wen, Xiaolong, Lv, Yao, Chu, Zhaozhi, Peng, Chunrong. A non-intrusive voltage measurement scheme based on MEMS electric field sensors: Theoretical analysis and experimental verification of AC power lines. REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS[J]. 2021, 92(6): http://dx.doi.org/10.1063/5.0052678.
[9] 彭春荣. A NOVEL HIGH SENSITIVE MODE-LOCALIZATION MEMS ELECTRIC FIELD SENSOR BASED ON CLOSED-LOOP FEEDBACK. Transducers 2021. 2021, [10] 彭春荣. Design of a novel closed-loop electrostatic voltage sensor based on weakly coupled resonators. IEEE-NEMS 2021. 2021, [11] 修日, 杨鹏飞, 毋正伟, 任仁, 郑凤杰, 彭春荣. 一种基于模态局域化的MEMS电场传感器设计与分析. 仪表技术与传感器[J]. 2021, 32-35,46, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7104155103.
[12] Lei, Hucheng, Xia, Shanhong, Chu, Zhaozhi, Ling, Biyun, Peng, Chunrong, Zhang, Zhouwei, Liu, Jun, Zhang, Wei. An Electric Field Microsensor with Mutual Shielding Electrodes. MICROMACHINES[J]. 2021, 12(4): https://doaj.org/article/621b5b3936324f31b234f3e9b5cd5036.
[13] Wen, Xiaolong, Yang, Pengfei, Chu, Zhaozhi, Peng, Chunrong, Liu, Yutao, Wu, Shuang. Toward Atmospheric Electricity Research: A Low-Cost, Highly Sensitive and Robust Balloon-Borne Electric Field Sounding Sensor. IEEE SENSORS JOURNAL[J]. 2021, 21(12): 13405-13416, [14] Wen, Xiaolong, Yang, Pengfei, Zhang, Zhouwei, Chu, Zhaozhi, Peng, Chunrong, Liu, Yutao, Wu, Shuang, Zhang, Bo, Zheng, Fengjie. Resolution-Enhancing Structure for the Electric Field Microsensor Chip. MICROMACHINES[J]. 2021, 12(8): http://dx.doi.org/10.3390/mi12080936.
[15] 闻小龙, 杨鹏飞, 储昭志, 彭春荣, 刘宇涛, 吴双. 基于MEMS的距离自适应型非接触静电仪. 电子与信息学报[J]. 2021, 43(10): 3068-3074, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7105789693.
[16] Yang, Pengfei, Wen, Xiaolong, Chu, Zhaozhi, Ni, Xiaoming, Peng, Chunrong. AC/DC Fields Demodulation Methods of Resonant Electric Field Microsensor. MICROMACHINES[J]. 2020, 11(5): https://doaj.org/article/8f11bcfcb2e545f281d129f91df45928.
[17] 储昭志, 彭春荣, 任仁, 凌必赟, 张洲威, 夏善红. 一种扭转谐振式MEMS电场传感器. 传感器与微系统[J]. 2019, 83-85,88, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=67718174504849574854485051.
[18] Ling, Biyun, Peng, Chunrong, Ren, Ren, Zheng, Fengjie, Chu, Zhaozhi, Zhang, Zhouwei, Lei, Hucheng, Xia, Shanhong, IEEE. A MICROASSEMBLED TRIANGULAR-PRISM-SHAPE THREE-DIMENSIONAL ELECTRIC FIELD SENSOR. 2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII)null. 2019, 222-225, http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000539487000057.
[19] 李冰, 彭春荣, 凌必赟, 郑凤杰, 陈博, 夏善红. 基于遗传算法的三维电场传感器解耦标定方法研究. 电子工程学院学报[J]. 2019, 8(5): 101-107, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7002167903.
[20] 李斌, 彭春荣, 凌必赟, 储昭志, 张洲威, 夏善红. 基于三维感应线圈的新型MEMS电流传感器. 传感器与微系统[J]. 2019, 63-65, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=67718174504849574850484956.
[21] 邓贺元, 刘加, 夏善红, 彭春荣. 一种联合频谱和空间特征的深度学习多通道语音增强算法. 电子测量技术[J]. 2019, 42(18): 90-94, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7100270387.
[22] 唐立军, 顾植彬, 彭春荣, 李维. 基于高速解调电路的新型手持式工频电场检测系统. 传感器与微系统[J]. 2018, 37(1): 114-116,123, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=674340884.
[23] 凌必赟, 彭春荣, 任仁, 储昭志, 张洲威, 雷虎成, 夏善红. 低轴间耦合的MEMS三维电场传感器. 电子与信息学报[J]. 2018, 40(8): 1934-1940, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=675778449.
[24] Ling, Biyun, Peng, Chunrong, Ren, Ren, Chu, Zhaozhi, Zhang, Zhouwei, Lei, Hucheng, Xia, Shanhong. Design, Fabrication and Characterization of a MEMS-Based Three-Dimensional Electric Field Sensor with Low Cross-Axis Coupling Interference. SENSORS[J]. 2018, 18(3): https://doaj.org/article/8aff37b855b9410db302d38ae541d233.
[25] Chu, Zhaozhi, Peng, Chunrong, Ren, Ren, Ling, Biyun, Zhang, Zhouwei, Lei, Hucheng, Xia, Shanhong. A High Sensitivity Electric Field Microsensor Based on Torsional Resonance. SENSORS[J]. 2018, 18(1): https://doaj.org/article/a16698f8a7eb4d77817ecd890aa6156f.
[26] Ling, Biyun, Peng, Chunrong, Chu, Zhaozhi, Zhang, Zhouwei, Chen, Bo, Xia, Shanhong, IEEE. A Novel Electric Field Microsensor with Low Cross-axis Coupling Interference. 2017 IEEE SENSORSnull. 2017, 813-815, [27] 闻小龙, 彭春荣, 杨鹏飞, 陈博, 夏善红. 基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置. 电子与信息学报[J]. 2017, 39(8): 1835-1840, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=672794732.
[28] 顾植彬, 杨鹏飞, 彭春荣, 夏善红. MEMS结构的带电作业电场测量预警系统. 传感器与微系统[J]. 2017, 36(4): 111-113,120, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=671961425.
[29] 李冰, 郑凤杰, 彭春荣, 陈博, 凌必赟, 夏善红. 直流离子流场发生装置优化设计. 电子科技大学学报[J]. 2017, 46(6): 866-870, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7000410823.
[30] Wang Yu, Peng Chunrong, Li Bing, Chu Zhaozhi, Li Bin, Xia Shanhong, Ling Biyun. Single-chip 3D electric field microsensor. 机械工程前沿:英文版[J]. 2017, 12(4): 581-590, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=674652764.
[31] Ling, Biyun, Wang, Yu, Peng, Chunrong, Li, Bing, Chu, Zhaozhi, Li, Bin, Xia, Shanhong, IEEE. Design, Fabrication and Characterization of a Single-chip Three-dimensional Electric Field Microsensor. 2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS)null. 2017, 307-310, [32] Li, Bin, Ling, Biyun, Peng, Chunrong, Chu, Zhaozhi, Zhang, Zhouwei, Xia, Shanhong, IEEE. A Novel MEMS-based Integrated Current and Voltage Sensor. 2017 IEEE SENSORSnull. 2017, 810-812, [33] 李冰, 彭春荣, 凌必赟, 郑凤杰, 陈博, 夏善红. 基于遗传算法的三维电场传感器解耦标定方法研究. 电子与信息学报[J]. 2017, 39(9): 2252-2258, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=673090028.
[34] Fang, Yigeng, Peng, Chunrong, Yang, Pengfei, Fang, Dongming, Xia, Shanhong. Electric field and induced charges distribution model for MEMS strip-type sensing electrodes. MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS[J]. 2017, 23(1): 143-150, [35] 唐立军, 彭春荣, 顾植彬, 常亚东. 新型电场传感器应用于输电线电场测量. 传感器与微系统[J]. 2017, 36(6): 154-156,160, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=672555999.
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科研活动

多年长期主要从事MEMS电场传感器等新型电学量传感器及应用、传感器与微系统的创新性研究工作,近年来主要研究方向包括:高灵敏高分辨力MEMS电场传感器敏感机理与器件、面向电力系统的低功耗高精度微型电学量传感器、高精度MEMS静电传感器、微纳制造与封装技术、低噪声检测电路与传感器集成、多传感芯片集成与融合、智能传感系统、环境自供能微传感器集成,以及水下电场探测传感器及系统、空中及空间电场探测仪、雷电静电安全智能监测预警系统等。
作为项目负责人,主持了国家重点研发计划项目、863重大项目课题、国家自然科学基金重点项目、国家重大项目等项目三十余项。面向国家重大需求,在传感器高灵敏敏感机理与器件、微纳制造与集成封装、弱信号检测及系统集成、智能监测预警方法等方面开展了系统深入研究,取得了重要突破和系列创新成果。研制出核心指标分辨力达到当时国际报道最好水平的高性能微型电场传感器敏感芯片,并成功研制出适应高空恶劣环境和地面长期监测的多个领域应用的MEMS微型电场传感器系列创新产品,在国际上首次实现了微型电场传感器的实际应用。经中国电子学会组织专家鉴定,“微型电场传感器的整体技术达到国际领先水平。” 研制的传感器应用于航天发射、航空、电力、石油石化、气象、科学研究等多领域100余家单位,成功用于航天发射保障、雷电监测预警、电力系统状态监测、静电安全监测、非侵入式电压测量、无人机及运-12飞机人工影响天气作业等,发挥了重要作用。产品被美国、韩国等国外用户应用。
IEEE SENS. J.等国内外重要刊物发表论文100余篇,其中SCI/EI收录70余篇;申请发明专利40余项,其中获授权发明专利28项(2项美国专利授权),5项发明专利实现转让转移;制定国标、国军标、团标、企业军用标准7项,包括作为主要撰稿人及负责人制定了我国MEMS电场传感器的首个国家标准和首个国家军用标准,负责IEC国际标准1项。成果获北京市科学技术奖一等奖等省部级奖励6项,获得中国(国际)传感器创新大赛特等奖等社会科技奖励5项。科技成果成功落地转化,获得了中国科学院在京转化科技成果转化奖一等奖。获得“中国电子学会优秀科技工作者”称号、中国科学院卢嘉锡青年人才奖,中国科学院创新促进会会员,是中国科学院电子学研究所“菁英人才计划”及“优秀青年人才计划”入选者。

科研项目
( 1 ) 微纳系统三维异质集成化技术, 负责人, 国家任务, 2015-03--2018-03
( 2 ) 微型电场传感器, 负责人, 国家任务, 2018-10--2021-09
( 3 ) 基于MEMS的空中大气电场测量新技术, 负责人, 国家任务, 2019-01--2020-12
( 4 ) 非接触式MEMS电流电压集成传感器研究, 参与, 国家任务, 2020-01--2023-12
( 5 ) 高灵敏MEMS电场传感器敏感机理及器件研究, 负责人, 国家任务, 2021-01--2025-12
( 6 ) 高端MEMS传感器关键技术研发团队-高灵敏MEMS电场传感器, 负责人, 中国科学院计划, 2021-01--2023-12
( 7 ) 球载高精度MEMS电场仪研制, 负责人, 中国科学院计划, 2019-04--2021-06
( 8 ) 飞机管道及油箱静电测试仪研制, 负责人, 企业委托, 2017-12--2018-05
( 9 ) 民用飞机沉积静电测量传感器研制及部署策略研究, 负责人, 企业委托, 2020-06--2021-07
( 10 ) 空中三维大气电场探测仪器研制, 负责人, 中国科学院计划, 2021-01--2022-12
( 11 ) 直流电场监测模块研制, 负责人, 国家任务, 2021-01--2021-12
( 12 ) 智能传感器关键技术研究, 负责人, 企业委托, 2021-02--2022-12
( 13 ) 分布式三维大气电场探测系统, 参与, 国家任务, 2014-01--2018-12
( 14 ) 典型MEMS器件设计制造与应用关键技术-雷电预警传感器及系统, 负责人, 国家任务, 2011-04--2014-07
( 15 ) 电场传感器组件系列, 负责人, 国家任务, 2010-12--2013-12
( 16 ) 基于微电场传感器的非接触式电压测量技术研究及装置开发, 负责人, 企业委托, 2014-11--2015-09
( 17 ) 基于MEMS的非接触式交直流电网电压传感器关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2012-01--2014-12
( 18 ) 空中气象要素探测传感器集成技术, 负责人, 国家任务, 2011-11--2014-06
( 19 ) 油品罐区小区域雷电网络预警技术研究, 负责人, 企业委托, 2017-03--2018-09
( 20 ) 电场传感器在防雷系统上的应用, 负责人, 地方任务, 2016-06--2018-06
( 21 ) 面向智能电网应用的先进传感技术-绝缘子缺陷在线监测传感器系统, 负责人, 中国科学院计划, 2010-01--2011-01
( 22 ) 电场传感器测试设备研制, 参与, 中国科学院计划, 2007-09--2010-04
( 23 ) 红外阵列与电场传感器技术-集成化电场传感器技术研究, 参与, 国家任务, 2006-06--2010-04
( 24 ) 基于表面工艺的交错振动式微型电场传感器及其系统, 参与, 国家任务, 2006-12--2009-06
( 25 ) 非接触式油面电位测试技术研究, 负责人, 企业委托, 2020-10--2021-09
( 26 ) 临近空间浮空器状态感知和环境探测传感器及应用, 负责人, 国家任务, 2022-12--2025-11
参与会议
(1)新型静电传感器技术研究进展   北京东方计量测试研究所院士专家工作站 专家大讲堂   2022-06-25
(2)高性能MEMS微型电场传感器技术及电力应用   中国电机工程学会电磁环境专委会第18届学术会议   2020-12-26
(3)新型电子式电力传感器研究进展   中国电机工程学会超导与新材料应用技术研讨交流会   2020-11-07
(4)igh performance micro electric field sensor technology and its applications   2020-10-20
(5)高性能MEMS静电敏感芯片技术及应用   中国物理学会静电专业委员会2020年全国静电学术研讨会   2020-09-13
(6)MEMS Sensor Technology for Internet of Things in Power Systems   2020-08-15
(7)基于MEMS的高灵敏电场探测技术及装置研究   中国科学院青年创新促进会工程与装备分会第三届学术年会   2019-10-29
(8)MEMS微型电场传感器技术及其电力应用   泛在电力物联网智能感知技术论坛   2019-07-10
(9)新型MEMS电场传感器技术及应用   国际传感器•半导体产业链暨物联网高峰论坛   2018-12-06
(10)MEMS微型电场传感器技术及在电网中的应用   2018(第五届)中国带电作业技术会议暨电网不停电检修技术与装备发展论坛   2018-11-15
(11)A Novel MEMS-Based Integrated Current and Voltage Sensor,A Novel Electric Field Microsensor with Low Cross-Axis Coupling Interference   2017-10-29
(12)先进MEMS电场传感器技术及应用   2017传感器产业高峰论坛暨中国电子元器件行业协会敏感元件与传感器分会年会   2017-09-06
(13)MEMS电场传感器关键技术及其应用   第九届中国半导体行业协会半导体分立器件分会年会暨2015’ 全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会, 第八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会   2015-07-27
(14)Design of a Novel Micromachined Non-Contact Resonant Voltage Sensor for Power Distribution Systems   2014-11-02
(15)A high sensitivity SOI electric-field sensor with novel comb-shaped microelectrodes   2011-06-05
(16)Measuring Atmospheric Electric Field Using Novel Micromachined Sensor   2011-02-20
(17)Design of A Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor   2010-09-05
(18)Design and Fabrication of a Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor   2010-07-06

指导学生

已指导学生

顾植彬  硕士研究生  080901-物理电子学  

邓贺元  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

修日  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王子龙  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李嘉晨  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邢学斌  硕士研究生  085400-电子信息  

现指导学生

刘语斐  硕士研究生  085400-电子信息  

王俊鹏  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

厉嘉程  硕士研究生  085400-电子信息  

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息
招生方向
智能传感器与微系统
新型电学量传感器技术
智能感知与物联网