硅-碳体系材料生长及其在光电、储能、传感及复合材料方面的应用研究

   

080501-材料物理与化学

高性能薄膜材料生长与应用

2009-10--2013-03   东京大学   博士
2006-09--2009-06   中国地质大学（北京）   硕士
2002-09--2006-06   中国地质大学（北京）   学士

   

2016-09~现在, 中国科学院宁波材料技术与工程研究所, 副研究员
2014-04~2016-08,中国科学院宁波材料技术与工程研究所, 助理研究员
2013-04~2014-03,东京大学, 特任研究员

（1） 日本丸文研究交流財団交流研究助成受賞, 其他, 2011

（ 1 ） 电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201510259687.5
（ 2 ） 衬底温度的控制方法、装置及薄膜沉积设备, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510260343.6
（ 3 ） 等离子体薄膜沉积装置及沉积方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201410419057.5
（ 4 ） 硅薄膜的制备方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201410419021.7
（ 5 ） 等离子体薄膜沉积装置, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201420479374.1
（ 6 ） 高通量CVD装置及其沉积方法, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810479661.5
（ 7 ） 高通量CVD装置, 实用新型, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201820744022.2
（ 8 ） 高通量PECVD装置和方法, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810479661.5
（ 9 ） 高通量PECVD装置, 实用新型, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201820744630.3
（ 10 ） 一种多孔硅薄膜的制备装置及其制备多孔硅薄膜的方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710828225.X
（ 11 ） 一种多孔硅薄膜的制备装置, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201721178682.0
（ 12 ） 一种基于超薄金属网格的透明电极及其制备方法, 发明, 2017, 第 4 作者, 专利号: 201710760201.5
（ 13 ） 多晶硅薄膜的制备方法以及光电器件, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201611227126.8

（1） Rapid crystallization of amorphous silicon films utilizing Ar-H2 mesoplasma annealing, J. Crystal Growth, 2018, 通讯作者
（2） Improving Li anode performance by a porous 3D Carbon Paper Host with Plasma assisted Sponge Carbon Coating, Energy Storage Materials, 2018, 通讯作者
（3） Photoinduced field-effect passivation from negative carrier accumulation for high efficiency Si/PEDOT:PSS heterojunction solar cells, ACS Nano, 2017, 第 3 作者
（4） Evolution of tribo-induced interfacial nanostructures governing superlubricity in a-C:H and a-C:H:Si films, Nature Communication, 2017, 第 5 作者
（5） Improved optical absorption in visible wavelength range for silicon solar cells via texturing with nanopyramid arrays, Optics Express, 2017, 第 10 作者
（6） Tumor-targeted accumulation of ligand-installed polymeric micelles influenced by surface PEGylation crowdedness, ACS Appl. Mater. Interfaces, 2017, 第 4 作者
（7） Controlled PEGylation Crowdedness for Polymeric Micelles To Pursue Ligand-Specified Privileges as Nucleic Acid Delivery Vehicles, ACS Appl. Mater. Interfaces, 2017, 第 4 作者
（8） A Targeted and Stable Polymeric Nanoformulation Enhances Systemic Delivery of mRNA to Tumors, Molecular Therapy, 2017, 第 5 作者
（9） In situ annealing and high-rate silicon epitaxy on porous silicon by mesoplasma process, Applied Physics Express, 2016, 通讯作者
（10） Enhanced electro-optical properties of nanocone/nanopillar dual-structrured arrays for ultrathin silicon/organic hybrid solar cell applications, Advanced Energy Materials, 2016, 第 4 作者
（11） Tuning back contact property via artificial interface dipoles in Si/organic hybrid solar cells, Applied Physics Letter, 2016, 第 3 作者
（12） Ideal rear contact formed via employing a conjugated polymer for Si/PEDOT:PSS hybrid solar cells, RSC Advances, 2016, 第 3 作者
（13） Si/PEDOT:PSS Hybrid Solar Cells with Advanced Antireflection and Back Surface Field Designs, Nanoscale Research Letter, 2016, 第 7 作者
（14） Colloidal transfer printing method for periodically textured thin films in flexible media with greatly enhanced solar energy harvesting, Materials Research Express, 2015, 第 3 作者
（15） Improved production yield in silicon epitaxy by reducing pressure in mesoplasma chemical vapor deposition, Applied Physics Express, 2014, 通讯作者
（16） High-rate and Wide-area Deposition of Epitaxial Si Films by Mesoplasma Chemical Vapor Deposition, Science Technology and Advanced Materials, 2014, 通讯作者
（17） Cavity Ring-Down Spectroscopy Measurement of H(n = 2) Density in Mesoplasma for Fast-Rate Silicon Epitaxy, Japanese Journal of Applied Physics, 2013, 通讯作者
（18） Superhigh-Rate Epitaxial Silicon Thick Film Deposition from Trichlorosilane by Mesoplasma Chemical Vapor Deposition, Plasma Chemistry and Plasma Processing, 2013, 通讯作者
（19） Microstructural, mechanical and tribological properties of tungsten-gradually doped diamond-like carbon films with functionally graded interlayers, Surf. Coat. Tech., 2011, 第 4 作者
（20） 

   

（ 1 ） 基于中压等离子体技术的超高速低温外延生长研究, 主持, 国家级, 2016-01--2018-12
（ 2 ） 低维组合材料芯片高通量制备及快速筛选关键技术与装备, 参与, 国家级, 2016-07--2020-12
（ 3 ） 面向超薄晶硅太阳能电池的超薄硅片的关键制备技术研究, 主持, 省级, 2015-04--2017-03
（ 4 ） 面向下一代超薄晶硅太阳能电池的超高速、低温中压等离子体硅外延生长研究, 主持, 省级, 2015-03--2017-02
（ 5 ） 面向半导体薄膜超高速、低温外延的中压等离子体化学气相沉积系统, 参与, 部委级, 2014-01--2017-05
（ 6 ） Engineering of Molybdenum Disulfide for Catalyzing Renewable Energy Generation, 参与, 院级, 2018-01--2020-06

（1）基于中压等离子体CVD技术的三维垂直石墨烯的高效制备   中国科学院青年创新促进会化学与材料分会2018 年学术工作年会暨 第二届能源化学与材料国际青年论坛   2018-04-28
（2）等离子体化学气相沉积技术在垂直石墨烯生长上的应用   第十届华东真空学术交流会    2017-10-21
（3）Fast synthesis of 3D multilayer graphene nanoflakes by mesoplasma chemical vapour deposition   2017-09-05
（4）新型中压等离子体技术及其在薄膜生长中的应用   浙江省真空学会第五届代表大会暨学术会议   2016-12-17
（5）Epitaxial silicon film deposition on porous silicon by meseplasma CVD   2015-07-22
（6）面向超薄晶硅太阳能电池的超高速中压等离子体硅外延生长   2014第十届中国太阳级硅及光伏发电研讨会   2014-11-08