曾爱军  男  博导  中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件: aijunzeng@siom.ac.cn
通信地址: 上海市嘉定区清河路390号
邮政编码: 201800
部门/实验室:信光

研究领域

偏振光技术及其应用、光学系统设计与仿真、精密光电检测技术及仪器、光学生物特征识别与生物传感。

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
招生方向
偏振光技术及其应用,光学系统设计与仿真
精密光电检测技术及仪器
光学生物特征识别技术与生物传感

教育背景

2002-09--2005-06   中国科学院研究生院   博士研究生
1999-09--2002-06   武汉大学   硕士研究生
1995-09--1999-06   武汉测绘科技大学   本科
学历
上海光机所 --20050701 研究生毕业
学位
-- 工学博士学位

工作经历

2003.01--2007.06 中国科学院上海光学精密机械研究所 助理研究员
2007.07--2012.08 中国科学院上海光学精密机械研究所 副研究员
2012.08至今 中国科学院上海光学精密机械研究所 研究员
工作简历
2012-08~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 研究员
2007-07~2012-08,中国科学院上海光学精密机械研究所, 副研究员
2003-01~2007-06,中国科学院上海光学精密机械研究所, 助理研究员
社会兼职
   

教授课程

   

专利与奖励

   
奖励信息
   
专利成果
( 1 ) 四分之一波片快轴方位实时测量装置和方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL200810040614.7
( 2 ) 用于同步移相干涉仪的空间移相器, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL200810040613.2
( 3 ) 线起偏器, 发明, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL201110410079.1
( 4 ) 四分之一波片相位延迟量分布实时测量装置和测量方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201110371987.4
( 5 ) 八分之一波片相位延迟量测量装置和测量方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201110433699.7
( 6 ) 线性双折射测量装置和测量方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201210193165.6
( 7 ) 光刻照明模式产生装置, 发明, 2014, 第 3 作者, 专利号: ZL201310092523.9
( 8 ) 轴锥镜透射波面的测量方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201210297844.8
( 9 ) 光刻照明系统, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201310030574.9
( 10 ) 产生投影光刻照明模式的装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201310037656.6
( 11 ) 光刻环形照明模式产生装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201310422536.8
( 12 ) 波片相位延迟量与快轴方位角的实时测量装置和方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201210074732.6
( 13 ) 步进扫描投影光刻机的照明系统, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201310270245.1
( 14 ) 相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置和方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201210199435.4
( 15 ) 空间移相横向剪切干涉仪, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201310167236.X
( 16 ) 两个光束在同一入射面的位置与角度同时测量装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201310126130.5
( 17 ) 线性双折射测量装置和测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201310250980.6
( 18 ) 用于激光等离子体极紫外光刻光源纯化滤波装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201310093540.4
( 19 ) 正弦相位调整器峰值延迟量的标定装置和标定方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201210506361.4
( 20 ) 轴锥镜面形的测量装置和测量方法, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201210431104.9
( 21 ) 高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201210573251.X
( 22 ) 光束位置和角度的调节装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201310016305.7
( 23 ) 激光脉冲拉伸装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201310371256.9
( 24 ) 深紫外投影光刻机的照明装置及使用方法, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201310428685.5
( 25 ) 投影光刻机照明装置和使用方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201310307405.5
( 26 ) 双平板偏振移相剪切干涉仪, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201310346686.5
( 27 ) 四分之一波片相位延迟量的测量装置和测量方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201310250418.3
( 28 ) Lithography illumination system, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: US9400433B2
( 29 ) Device and method for measuring phase retardation distribution and fast axis angle distribution in real time, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: US9297744B2

出版信息

   
发表论文
(1) Flat Gauss illumination for the step-and-scan lithographic system, Optics Communications, 2016, 通讯作者
(2) Generation of trapezoidal illumination for the step-and-scan lithographic system, Appl. Optics, 2015, 通讯作者
(3) A method for measuring the base angle of axicon lens based on chromatic dispersion, Opt. Commun., 2015, 通讯作者
(4) Real-time measurement of retardation and fast axis azimuth for wave plates, J. Opt. Technol., 2015, 通讯作者
(5) Large-area three-dimensional profilometer based on digital micromirror device, J. Opt. Technol., 2015, 通讯作者
(6) Two-dimensional polarization distribution controller based on variable retarder array, Optik, 2014, 通讯作者
(7) Lateral shearing interferometer with variable shearing for measurement of a small beam, Opt. Lett., 2014, 通讯作者
(8) Simultaneous measurement of small birefringence magnitude and direction in real time, Opt. Lasers Eng., 2014, 通讯作者
(9) Simultaneous measurement of retardation and fast axis angle of eighth-wave plate in real time, Opt. Commun., 2012, 通讯作者
(10) Real-time Measurement of Full Field Retardation Near Quarter Wavelength, J. Opt. Soc. Korea., 2012, 通讯作者
(11) Polarization Fizeau interferometer based on birefringent thin film, Chin. Opt. Lett., 2012, 通讯作者
(12) Real-time measurement of retardation of eighth-wave plate independent of fast-axis direction, Chin. Opt. Lett., 2012, 通讯作者
(13) Simultaneous measurement of small birefringence magnitude and direction in real time, Opt. Lasers Eng., 2012, 通讯作者
(14) 基于相位调制和样品摆动的1/4波片相位延迟量测量方法 , 中国激光, 2011, 第 2 作者
(15) 与快轴方向无关的λ/8波片相位延迟量实时测量方法, 中国激光, 2011, 第 2 作者
(16) Simultaneous measurement of retardance and fast axis angle of a quarter-wave plate using one photoelastic modulator, Appl. Optics, 2011, 第 1 作者
(17) 基于二维光栅和检偏器阵列的空间偏振解码技术, 仪器仪表学报, 2010, 第 2 作者
(18) Method for Measuring Retardation of a Quarter-wave Plate Based on Normalized Secondary Harmonic Component, Optik, 2009, 第 2 作者
(19) 分束量可调的等光程平行分束技术, 光子学报, 2009, 第 2 作者
(20) Simultaneous phase-shifting ellipsometry based on grating beam splitter, Optical Engineering, 2008, 第 2 作者
(21) Real-time measurement of the fast axis angle of a quarter-wave plate based on simultaneous phase shifting technique, Chinese Optics Letters, 2008, 第 2 作者
(22) Method for rapid measuring retardation of a quarter-wave plate based on simultaneous phase shifting technique, Chinese Optics Letters, 2008, 第 2 作者
(23) Calibration method of the photoelastic modulator with the peak retardation less than a half-wavelength, Applied Optics, 2007, 第 1 作者
发表著作
   

科研活动

   

合作情况

   
项目协作单位
   

指导学生

已指导学生

郭小娴  硕士研究生  080300-光学工程  

韩杰  硕士研究生  080300-光学工程  

李凡月  硕士研究生  080300-光学工程  

朱玲琳  硕士研究生  080300-光学工程  

刘龙海  硕士研究生  430103-光学工程  

刘蕾  硕士研究生  080300-光学工程  

胡仕玉  硕士研究生  085202-光学工程  

顾帅妍  硕士研究生  085202-光学工程  

现指导学生

谷利元  博士研究生  080300-光学工程  

王瑄  博士研究生  080300-光学工程  

薛康福  硕士研究生  085202-光学工程  

魏张帆  博士研究生  080300-光学工程