基本信息

张伟丽  女  博导  中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件: wlzhang@siom.ac.cn
通信地址: 上海嘉定清河路390号
邮政编码: 201800

研究领域

(1)高功率大科学激光装置用高能激光薄膜;

(2)光刻机系统用深紫外光学薄膜;

(3)高端装备(镀膜机)制造。

招生信息

   
招生专业
080502-材料学
招生方向
紫外光学薄膜
连续激光系统用薄膜
新型薄膜技术

教育背景

1998-09--2003-04   上海大学   博士
学历
上海大学 19980901--20030401 研究生毕业
学位
上海大学 19980901--20030401 工学博士学位

工作经历

   
工作简历
2003-05~现在, 上海光机所, 研究员
社会兼职
2020-09-01-今,上海理工大学联培导师,

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 高功率偏振无关光谱合束光栅关键技术及应用, 一等奖, 省级, 2022
(2) 米级高消光比高损伤阈值偏振薄膜元件成套制备工艺技术与应用开发, 一等奖, 省级, 2017
(3) 高性能***光学薄膜, 二等奖, 部委级, 2012
专利成果
( 1 ) 一种多面体转镜镀膜装夹装置, 发明专利, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN115961262A

( 2 ) 半球谐振子金属化镀膜夹具控制装置, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN115369370A

( 3 ) 基于离子束的光学薄膜元件的面形控制方法, 发明专利, 2022, 第 7 作者, 专利号: CN114815130A

( 4 ) 一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112764149B

( 5 ) 抑制氧化铪薄膜折射率非均匀性的方法, 发明专利, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN113186492A

( 6 ) 一种深紫外滤光片及其设计方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113050272A

( 7 ) 一种宽带高反射高阈值低色散镜及其设计方法, 发明专利, 2021, 第 7 作者, 专利号: CN112946796A

( 8 ) 元件激光损伤阈值的测试方法, 发明专利, 2021, 第 7 作者, 专利号: CN112697400A

( 9 ) 宽带高阈值组合介质低色散镜结构及其设计方法, 专利授权, 2021, 第 7 作者, 专利号: CN111208591B

( 10 ) 激光光学元器件长寿命预测方法, 发明专利, 2021, 第 7 作者, 专利号: CN112326197A

( 11 ) 真空系统中光学元件表面沉积污染物的去除方法, 发明专利, 2020, 第 7 作者, 专利号: CN111957675A

( 12 ) 综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法, 专利授权, 2020, 第 8 作者, 专利号: CN108342699A

( 13 ) 用于光学薄膜光谱测量的使用环境模拟装置及测量方法, 专利授权, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN109991179A

( 14 ) 双中心波长色散镜对及其制备方法, 发明专利, 2018, 第 9 作者, 专利号: CN108254816A

( 15 ) 弹性装夹装置, 发明专利, 2017, 第 7 作者, 专利号: CN106835058A

( 16 ) 降低氧化铪‑氧化硅多层膜表面粗糙度的方法, 专利授权, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106835020A

( 17 ) 一种低振荡色散镜结构及其设计方法, 专利授权, 2017, 第 8 作者, 专利号: CN106680911A

( 18 ) 一种基于MGTI的高色散镜结构, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105738989A

( 19 ) 小曲率半径大口径透镜镀膜夹具, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104451587A

( 20 ) 改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板的设计方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103726019A

出版信息

   
发表论文
(1) Investigation on nano-absorbing precursors in the picosecond regime via the comparative study of HfO2SiO2 and Ta2O5SiO2 high-reflectivity coating damage, Optical Materials Express, 2023, 通讯作者
(2) "Interface-free" ultrabroadband antireflection film based on nanorod structure with continuous change in refractive index, Optical Materials, 2023, 通讯作者
(3) 金刚石减反射微纳结构制备技术研究进展, 中国激光, 2023, 第 1 作者
(4) High Performance of the Broadband Anti-reflection Film by Glancing Angle Deposition, Optical Materials Express, 2022, 通讯作者
(5) Principles to tailor the saturable and reverse saturable absorption of epsilon-near-zero material, Principles to tailor the saturable and reverse saturable absorption of epsilon-near-zero material, PHOTONICS RESEARCH, 2021, 第 5 作者
(6) Broadband antireflection film by glancing angle deposition, OPTICAL MATERIALS, 2021, 通讯作者
(7) 大陡度透镜表面膜层折射率均匀性分析, 中国激光, 2021, 第 1 作者
(8) 反应电子束蒸发HfO2薄膜的结构、光学、化学和抗激光损伤特性, Structural, Optical, Chemical and Laser Damage Resistant Properties of HfO2 Films Deposited by Reactive Electron Beam Evaporation, 中国激光, 2020, 第 2 作者
(9) 248 nm透过率线性渐变光学薄膜的设计与制备, Design and Fabrication of a 248-nm Near-Linearly Graded Transmittance Optical Film, 中国激光, 2020, 第 4 作者
(10) Stability of dielectric multilayer coatings for the Vacuum ultraviolet, Proc. of SPIE, 2019, 第 1 作者
(11) Aging effect of alf3 coatings for 193 nm lithography, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2018, 通讯作者
(12) Laser-damage characteristics of Nd: glass active mirrors, APPLIED OPTICS, 2017, 第 7 作者
(13) Laser-damage characteristics of Nd: glass active mirrors, APPL. OPTICS, 2017, 第 7 作者
(14) Laser-induced Damage of 355 nm High-reflective Mirror Caused by Nanoscale Defect, Laser-induced Damage of 355 nm High-reflective Mirror Caused by Nanoscale Defect, JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY-MATERIALS SCIENCE EDITION, 2017, 第 4 作者
(15) Damage threshold influenced by polishing imperfection distribution under 355-nm laser irradiation, CHIN. PHYS. B, 2017, 第 3 作者
(16) Laser-induced Damage of 355 nm High-reflective Mirror Caused by Nanoscale Defect, J. WUHAN UNIV. TECHNOL.-MAT. SCI. EDIT., 2017, 第 5 作者
(17) Damage threshold influenced by polishing imperfection distribution under 355-nm laser irradiation, CHINESE PHYSICS B, 2017, 第 3 作者
(18) Development of high performance polarizer coatings, 光学精密工程, 2016, 第 3 作者
(19) Research progress of large optics in the TMT MOBIE, ADVANCED OPTICAL DESIGN AND MANUFACTURING TECHNOLOGY AND ASTRONOMICAL TELESCOPES AND INSTRUMENTATION, 2016, 第 1 作者
(20) Suppression of nano-absorbing precursors and damage mechanism in optical coatings for 3 omega mirrors, OPTICS LETTERS, 2016, 第 3 作者
(21) 高性能偏振膜的研制, Development of high performance polarizer coatings, 光学精密工程, 2016, 第 3 作者
(22) Suppression of nano-absorbing precursors and damage mechanism in optical coatings for 3 omega mirrors, OPTICS LETTERS, 2016, 第 3 作者
(23) Experimental demonstration of laser damage caused by interface coupling effects of substrate surface and coating layers, OPTICS LETTERS, 2015, 第 4 作者
(24) 532nm HfO2/SiO2高反膜的激光预处理效应, Laser conditioning effect of HfO2/SiO2 high reflectors at 532nm, 强激光与粒子束, 2015, 通讯作者
(25) Scattering analysis for random antireflective structures on fused silica in the ultraviolet, OPTICS LETTERS, 2015, 第 5 作者
(26) Broadband Perfect Absorber with Titanium Nitride Nano-disk Array, PLASMONICS, 2015, 第 2 作者
(27) High-reflectivity mirrors by Al2O3, LaF3 and AlF3 for 193 nm application, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2014, 通讯作者
(28) High-reflectivity mirrors by Al2O3, LaF3 and AlF3 for 193 nm application, OPT. LASER TECHNOL., 2014, 第 3 作者
(29) Study on high-reflective coatings of different designs at 532 nm, CHINESE OPTICS LETTERS, 2014, 第 2 作者
(30) Effects of substrate temperatures on the characterization of magnesium fluoride thin films in deep-ultraviolet region, APPLIED OPTICS, 2014, 通讯作者
(31) Optimization of thickness uniformity of coatings on spherical substrates using shadow masks in a planetary rotation system, CHINESE OPTICS LETTERS, 2014, 通讯作者
(32) Influence of oxygen pressure and substrate temperature on the properties of aluminum fluoride thin films, APPL. SURF. SCI., 2013, 第 2 作者
(33) Reduction in thickness error of optical coatings by dividing thick layers and monitoring with multiple witness glasses, VACUUM, 2013, 第 5 作者
(34) 不同基底上HfO_2/SiO_2多层膜的力学性能, 中国激光, 2013, 第 3 作者
(35) Effect of Oxygen incorporation on the properties of AlF3 films, Advanced Materials Research, 2013, 通讯作者
(36) Influence of oxygen pressure and substrate temperature on the properties of aluminum fluoride thin films, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2013, 通讯作者
(37) Effect of laser conditioning on the LIDT of 532nm HfO2/SiO2 reflector, Pacific Rim Laser Damage, optical Materials for High Power Lasers, Proc.of SPIE, 2013, 通讯作者
(38) High-reflectance coatings at 193nm, Advanced Materials Research, 2013, 通讯作者
(39) Influence of SiO2 undercoat on the laser-induced damage threshold of 355 nm LaF3/AlF3 multilayer reflectors, OPT. LASER TECHNOL., 2013, 第 2 作者
(40) Influence of SiO2 undercoat on the laser-induced damage threshold of 355 nm LaF3/AlF3 multilayer reflectors, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2013, 通讯作者
(41) Improvement of the laser-induced damage threshold of oxide/fluoride double stack high reflective coatings at 355 nm by introducing interlayers, APPL. SURF. SCI., 2013, 第 5 作者
(42) Improvement of the laser-induced damage threshold of oxide/fluoride double stack high reflective coatings at 355 nm by introducing interlayers, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2013, 通讯作者
(43) Effects of substrate temperatures and deposition rates on properties of aluminum fluoride thin films in deep-ultraviolet region, APPLIED OPTICS, 2012, 通讯作者
(44) Dependence of wavefront errors on nonuniformity of thin films, CHINESE OPTICS LETTERS, 2012, 第 3 作者
(45) Laser-induced damage behaviors of antireflective coatings at cryogenic condition, APPLIED OPTICS, 2012, 通讯作者
(46) 离子束技术对氧化铪薄膜性能的影响, Effect of ion beam technique on properties of hafnium dioxide thin film, 强激光与粒子束, 2011, 第 2 作者
(47) Comparison study of microstructure, chemical composition and optical properties between resistive heating and electron beam evaporated LaF3 thin films, THIN SOLID FILMS, 2011, 第 3 作者
(48) Laser induced damage of coatings on Yb:YAG crystals at cryogenic condition, LASERINDUCEDDAMAGEINOPTICALMATERIALS, 2011, 通讯作者
(49) 紫外Sc2O3薄膜的光学和结构性能表征及其激光作用下的损伤机理, Characterization of optical and microstructure properties of ultraviolet Sc_2O_3 thin films and their damage mechanism at high laser power, 强激光与粒子束, 2010, 第 4 作者
(50) Design and analysis of different types of dispersion mirrors, CHINESE OPTICS LETTERS, 2010, 
(51) Mechanical stress in 355 nm LaF 3/MgF 2 high reflectors with various layer-pair number and methods for reduction, VACUUM, 2010, 第 4 作者
(52) Preparation of high performance thin-film polarizers, CHINESE OPTICS LETTERS, 2010, 第 3 作者
(53) Preparation of high performance thin-film polarizers, Preparation of high performance thin-film polarizers, 中国光学快报:英文版, 2010, 第 3 作者
(54) Sc2O3替代层在532nm高反膜中的应用, Sc2O3 substitution layer for application in 532 nm high refector films, 强激光与粒子束, 2009, 第 4 作者
(55) Investigation of the errors of thickness and refractive index in manufacturing Gires-Tournois interferometer negative-dispersion mirrors, JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS, 2009, 第 3 作者
(56) Gires-Tournois负色散镜误差分析, Error Analysis of Gires-Tournois Negative Dispersion Mirrors, 中国激光, 2009, 第 5 作者
(57) Design and Fabrication of Chirped Mirror, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2009, 第 4 作者
(58) SiO2薄膜折射率的准确拟合分析, Analysis for Accurately Fitting the Refractive Index of SiO2 Thin Film, 中国激光, 2008, 第 2 作者
(59) 电子束蒸发制备平板偏振膜激光损伤特性研究, Laser-induced damage of flat polarizer prepared by electron beam evaporation, 中国激光, 2006, 第 4 作者
(60) Optical and dielectric properties of ZnO tetrapod structures at terahertz frequencies, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2006, 第 5 作者
(61) 1053,527,351nm倍频分离膜的制备与性能研究, Fabrication and properties of third harmonic beam splitter, 强激光与粒子束, 2006, 第 3 作者
(62) 电子束蒸发制备平板偏振膜激光损伤特性研究, Laser-induced damage of flat polarizer prepared by electron beam evaporation, 中国激光, 2006, 第 4 作者
(63) LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质, Microstructure and optical properties of ZrO2 thin films on LiB3O5, 强激光与粒子束, 2005, 第 2 作者
(64) 脉宽压缩光栅用的多层膜设计和性能分析, Design and character analysis of multi-layer dielectric film used in pulse compressed gratings, 光学学报, 2005, 第 3 作者
(65) 一种用于Yb:YAG激光器的波长分离膜的研制, A wavelength separation multilayer for Yb:YAG laser, 强激光与粒子束, 2005, 第 1 作者
(66) LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质, Microstructure and optical properties of ZrO2 thin films on LiB3O5, 强激光与粒子束, 2005, 第 2 作者
(67) HfO2薄膜的结构对抗激光损伤阈值的影响, Effects of the Structure of HfO2 Thin Films on Its Laser-induced Damage Threshold, 光子学报, 2005, 第 2 作者
(68) 一种用于Yb:YAG激光器的波长分离膜的研制, A wavelength separation multilayer for Yb:YAG laser, 强激光与粒子束, 2005, 第 1 作者
(69) HfO2薄膜的结构对抗激光损伤阈值的影响, Effects of the Structure of HfO2 Thin Films on Its Laser-induced Damage Threshold, 光子学报, 2005, 第 2 作者
(70) 脉宽压缩光栅用的多层膜设计和性能分析, Design and character analysis of multi-layer dielectric film used in pulse compressed gratings, 光学学报, 2005, 第 3 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 高功率复合运转模式下的晶体加工及镀膜工艺研制, 负责人, 国家任务, 2010-07--2011-06
( 2 ) 高NA浸没曝光照明系统光学薄膜关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2009-07--2013-12
( 3 ) 非常规光学零部件检测装置与镀膜工艺研发, 负责人, 国家任务, 2011-01--2013-10
( 4 ) 大口径、宽带、低色散、高损伤阈值膜研制, 负责人, 国家任务, 2014-07--2015-06
( 5 ) 0803.10-2012HT-C-01, 负责人, 国家任务, 2012-07--2013-06
( 6 ) JPPT-125-175, 负责人, 国家任务, 2011-11--2012-12
( 7 ) 大口径、宽带、低色散、高损伤阈值膜研制, 负责人, 国家任务, 2015-07--2016-06
( 8 ) 050110.7-2010HT-C-02, 负责人, 国家任务, 2010-09--2010-12
( 9 ) 2012AA1354, 负责人, 国家任务, 2012-07--2013-06
( 10 ) 中红外高负载镀膜技术及器件研制, 参与, 国家任务, 2016-01--2020-12
( 11 ) 低热畸变石英端帽激光薄膜工程化示范应用, 负责人, 地方任务, 2020-06--2021-04
( 12 ) 低热畸变光学薄膜元件, 负责人, 企业委托, 2022-01--2023-12
( 13 ) 上海基地光学元件攻关与效率提升研究, 参与, 国家任务, 2022-01--2023-12
( 14 ) 22K21364-****, 参与, 国家任务, 2022-12--2027-12
( 15 ) 光腔反射镜、45度导光反射镜研发, 负责人, 企业委托, 2022-01--2024-06
参与会议
(1)天文望远镜系统用宽带分色镜研究   未来空间技术高峰论坛   2021-09-09
(2)Stability of dielectric multilayer coatings for the Vacuum ultraviolet   激光薄膜材料损伤会议   2019-09-21
(3)Design and fabrication of random antireflective nanostructures on fused silica in the ultraviolet   环太平洋激光损伤会议   2016-05-18

指导学生

已指导学生

刘丰  硕士研究生  080502-材料学  

李煦  硕士研究生  080502-材料学  

刘杰  硕士研究生  080300-光学工程  

涂飞飞  硕士研究生  085204-材料工程  

现指导学生

冯操  博士研究生  080300-光学工程  

王蒙雷  硕士研究生  070207-光学