基本信息
李志华  男  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: lizhihua@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029

研究领域

硅光子技术

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
招生方向
硅光子技术
集成电路工程
光互连技术

教育背景

2003-09--2006-05   中科院物理研究所   博士
1999-09--2002-07   中南大学   硕士
1994-09--1998-07   中南大学   学士
学历
博士研究生

学位
博士

工作经历

   
工作简历
2018-03~现在, 中科院微电子研究所, 研究员
2011-06~2012-05,Georgia Institute of Technology, 访问学者
2008-06~2018-02,中科院微电子研究所, 副研究员
2006-06~2008-06,中科院微电子研究所, 博士后
2002-08~2003-09,中科院物理研究所, 助研
1998-08~1999-09,株洲硬质合金厂, 技术员

专利与奖励

   
专利成果
[1] 李彬, 李志华, 谢玲, 杨妍, 李东浩, 唐波, 张鹏, 刘若男. 一种氮化硅光栅耦合器及其制备方法、光器件. CN202210089673.3, 2022-01-25.
[2] 刘曼文, 李志华. 一种雪崩探测器及制备方法. CN: CN113224197A, 2021-08-06.
[3] 刘曼文, 李志华. 一种雪崩探测器. CN: CN113224196A, 2021-08-06.
[4] 孙佳琪, 杨妍, 欧祥鹏, 唐波, 李志华, 王文武. 一种硅基电光调制器及其制备方法. CN: CN113176675A, 2021-07-27.
[5] 杨妍, 唐波, 孙富君, 欧祥鹏, 李志华. 一种低功耗热光器件及其制作方法. CN: CN113176674A, 2021-07-27.
[6] 李彬, 李志华, 谢玲, 李东浩, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男. 一种波导层间耦合结构及其制备方法. CN202110673125.0, 2021-06-17.
[7] 李彬, 李志华, 谢玲, 李东浩, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男. 一种波导器件及其制备方法. CN202110604680.8, 2021-05-31.
[8] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 杨妍, 刘若男. 一种耦合光栅的制备方法. CN: CN110161606B, 2021-04-27.
[9] 李彬, 李志华, 谢玲, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男. 氮化硅膜的生长方法及厚膜氮化硅波导器件的制备方法. CN: CN112680715A, 2021-04-20.
[10] 欧祥鹏, 杨妍, 孙佳琪, 孙富君, 唐波, 李志华. 混合等离子体波导及其制备方法. CN: CN112612077A, 2021-04-06.
[11] 杨妍, 唐波, 张鹏, 李彬, 刘若男, 李志华, 谢玲, 王文武. 一种热光器件及其制造方法. CN: CN112558331A, 2021-03-26.
[12] 李彬, 李志华, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男. 一种光电探测器及其制备方法. CN: CN112563349A, 2021-03-26.
[13] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 光波导及其制造方法. CN: CN110908037B, 2021-03-23.
[14] 许庆, 周章渝, 李志华. 一种光波导及其制造方法. CN: CN110320600B, 2021-03-16.
[15] 唐波, 张鹏, 杨妍, 李志华, 刘若男, 李彬, 黄凯, 谢玲, 王文武. 利用图形反转制作光子晶体的方法及光子晶体. CN: CN112462468A, 2021-03-09.
[16] 唐波, 张鹏, 杨妍, 李志华, 刘若男, 李彬, 黄凯, 谢玲, 王文武. 利用侧墙转移制作硅基光子器件的方法及硅基光子器件. CN: CN112462470A, 2021-03-09.
[17] 唐波, 张鹏, 杨妍, 李志华, 刘若男, 李彬, 黄凯, 谢玲, 王文武. 制作光子晶体的方法及光子晶体. CN: CN112462452A, 2021-03-09.
[18] 唐波, 张鹏, 杨妍, 李志华, 刘若男, 李彬, 黄凯, 谢玲, 王文武. 双层硅基光子器件的制作方法及双层硅基光子器件. CN: CN112327412A, 2021-02-05.
[19] 唐波, 张鹏, 杨妍, 李志华, 刘若男, 李彬, 黄凯. 一种硅波导及其制备方法. CN: CN112198588A, 2021-01-08.
[20] 许庆, 李志华, 李彬. 一种光波导的制造方法. CN: CN110045460B, 2020-11-27.
[21] 李彬, 李志华, 刘若男. 一种厚膜氮化硅波导的挖槽制备方法. CN: CN110441860B, 2020-09-25.
[22] 李彬, 李志华, 张鹏. 一种区域厚膜氮化硅的制备方法. CN: CN110456451B, 2020-09-04.
[23] 唐波, 张鹏, 李志华, 李彬, 刘若男. 锗探测器及其制造方法. CN: CN111554759A, 2020-08-18.
[24] 唐波, 张鹏, 李志华, 李彬, 刘若男. 硅基光电探测器及其制造方法. CN: CN111509078A, 2020-08-07.
[25] 唐波, 张鹏, 李志华, 李彬, 刘若男. 一种锗探测器及其制作方法. CN: CN111509079A, 2020-08-07.
[26] 唐波, 张鹏, 李志华, 李彬, 刘若男. 一种探测器及其制作方法. CN: CN111509080A, 2020-08-07.
[27] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 硅基光电探测器的制造方法. CN: CN111508834A, 2020-08-07.
[28] 唐波, 张鹏, 李志华, 李彬, 刘若男. 一种光波导及其制作方法. CN: CN111208606A, 2020-05-29.
[29] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 光电探测器的制造方法. CN: CN111129228A, 2020-05-08.
[30] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 锗探测器的制造方法. CN: CN111129226A, 2020-05-08.
[31] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 硅基光子器件及其制造方法. CN: CN111106205A, 2020-05-05.
[32] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 硅基光波导器件的制造方法. CN: CN111077607A, 2020-04-28.
[33] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 半导体器件的制造方法. CN: CN111048627A, 2020-04-21.
[34] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 一种SOI硅光栅的制作方法. CN: CN110941046A, 2020-03-31.
[35] 杨妍, 李志华, 王文武. 一种表面电极离子阱与硅光器件的集成结构及三维架构. CN: CN110943133A, 2020-03-31.
[36] 杨妍, 李志华, 谢玲, 张鹏, 唐波, 李彬, 刘若男, 刘道群. 一种栅格形铜电极结构及其制备方法. CN: CN110867428A, 2020-03-06.
[37] 杨妍, 李志华, 王文武, 谢玲, 张鹏. 表面电极离子阱与硅光寻址及探测器、及架构的集成方法. CN: CN110854235A, 2020-02-28.
[38] 刘道群, 李志华, 唐波, 张鹏, 李彬. 光电探测器. CN: CN108447938B, 2019-12-20.
[39] 李彬, 李志华, 杨妍. 一种厚膜氮化硅的区域挖槽制备方法. CN: CN110459464A, 2019-11-15.
[40] 李彬, 李志华, 唐波. 一种厚膜氮化硅波导的制备方法. CN: CN110456450A, 2019-11-15.
[41] 熊文娟, 张鹏, 刘若男, 李志华, 李俊峰, 赵超, 王文武, 亨利·H·阿达姆松. 半导体结构与其制作方法. 中国: CN109904060A, 2019-06-18.
[42] 周章渝, 张青竹, 闫江, 许庆, 李志华, 李彬, 余金中, 唐波, 王文武, 谢玲, 张鹏. 一种氮化硅光波导及其制造方法. CN: CN109298484A, 2019-02-01.
[43] 张鹏, 李志华, 唐波, 李彬. 一种鳍式晶体管器件的制造方法. 中国: CN108305835A, 2018-07-20.
[44] 李志华, 万里兮. 一种多路并行光电模块结构及其装配方法. 中国: CN101923194A, 2010-12-22.
[45] 李志华, 万里兮. 一种多路并行光电模块装配方法. 中国: CN101907753A, 2010-12-08.
[46] 申华军, 李志华, 杨成樾, 万里兮, 李宝霞. 一种斜面光接收的光电探测器. 中国: CN100544039, 2009.09.23.
[47] 申华军, 万里兮, 李志华, 杨成樾, 李宝霞. 带光纤定位槽的斜面接收光电探测器及其阵列的制作方法. 中国: CN101382623, 2009-03-11.
[48] 申华军, 李志华, 杨成樾, 万里兮, 李宝霞. 一种接收有源区位于斜面上的光电探测器的制造方法. 中国: CN101383388, 2009-03-11.

出版信息

   
发表论文
[1] 李东浩, 李彬, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男, 谢玲, 李志华. High efficiency and compact vertical interlayer coupler for silicon nitride-on-silicon photonic platform. OPTIK[J]. 2023, 274: http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2023.170572.
[2] Liu, Daoqun, Li, Tingting, Tang, Bo, Zhang, Peng, Wang, Wenwu, Liu, Manwen, Li, Zhihua. A Near-Infrared CMOS Silicon Avalanche Photodetector with Ultra-Low Temperature Coefficient of Breakdown Voltage. MICROMACHINES[J]. 2022, 13(1): http://dx.doi.org/10.3390/mi13010047.
[3] 李东浩, 李彬, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男, 谢玲, 李志华. Broadband Silicon Nitride Power Splitter Based on Bent Directional Couplers with Low Thermal Sensitivity. MICROMACHINES[J]. 2022, 13(559): [4] Liu, Daoqun, Zhang, Peng, Tang, Bo, Wang, Wenwu, Li, Zhihua. High-Performance Waveguide-Integrated Ge/Si Avalanche Photodetector with Lateral Multiplication Region. MICROMACHINES[J]. 2022, 13(5): http://dx.doi.org/10.3390/mi13050649.
[5] 欧翔鹏, 唐波, 李彬, 杨妍, 张鹏. Thermo-optically Tunable Slot Waveguide-based Dual Mode-splitting Resonators with Enhanced Sharp Lineshapes. Optics Express[J]. 2022, [6] Sun, Jiaqi, Wang, Wenwu, Li, Zhihua. A CMOS-Compatible Carrier-Injection Plasmonic Micro-Ring Modulator with Resonance Tuning by Carrier Concentration. PHOTONICS[J]. 2022, 9(5): http://dx.doi.org/10.3390/photonics9050272.
[7] Ou, Xiangpeng, Yang, Yan, Tang, Bo, Li, Donghao, Sun, Fujun, Zhang, Peng, Liu, Ruonan, Li, Bin, Li, Zhihua. Low-loss silicon nitride strip-slot mode converter based on MMI. OPTICS EXPRESS[J]. 2021, 29(12): 19049-19057, [8] 李东浩, 李彬, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男, 谢玲, 李志华. Characteristics of Crack-Free Silicon Nitride Films Deposited by LPCVD for Photonic Applications. JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS[J]. 2021, 50(12): 6862-6869, http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000701383500003.
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[41] 李志华. An Edge-View-Photodetector for simplification of optical packagings. 2007 International Conference on Electronics Packaging Technology. 2007, [42] 李志华. As保护下的生长中断时间对AlSb/InAs超晶格界面粗糙度的影响. 物理学报. 2007, 

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 硅基光互连后道工艺及耦合封装技术研究, 主持, 国家级, 2017-01--2020-12
( 2 ) 无人驾驶汽车用光子集成激光雷达, 主持, 部委级, 2017-09--2020-12

指导学生

已指导学生

杨坤  硕士研究生  430109-电子与通信工程  

杨彬彬  硕士研究生  430109-电子与通信工程  

现指导学生

刘道群  硕士研究生  085209-集成电路工程  

李东浩  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学