1. 极紫外薄膜制备技术

面向短波长光学成像、空间天文观测等领域对高反射率极紫外薄膜元件的需求，开展高精度磁控溅射沉积设备研发与工艺攻关。围绕极紫外薄膜表面、界面缺陷问题，系统研究表界面平滑化与界面扩散阻隔关键技术；针对曲面光学元件梯度膜厚调控需求，构建磁控溅射沉积膜厚分布仿真及调控模型，实现纵向、横向皮米级精密膜厚控制，完成大尺寸曲面薄膜元件研制，为相关技术迭代与专用装备研制提供支撑。

2. 激光薄膜制备技术

面向惯性约束聚变激光、超强超短激光、高端激光装备等大型强激光装置对高性能激光薄膜的迫切需求，围绕缺陷诱发薄膜元件激光损伤开展机理研究与技术攻关。秉持“从消除缺陷到与缺陷共生” 的创新思路，系统开展复合薄膜材料体系、新型薄膜构型设计与低缺陷沉积工艺研发，持续提升薄膜光学元件的激光损伤阈值，助力强激光前沿技术发展与大型装置工程建设。

   

080300-光学工程

强激光薄膜制备技术
激光薄膜与激光相互作用
短波长薄膜技术

2009-09--2012-06   中国科学院上海光学精密机械研究所   博士
2003-09--2006-06   中国科学院上海光学精密机械研究所   硕士
1999-09--2003-06   浙江大学   学士

研究生

博士

2023-12~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 三级研究员/高功率激光元件技术与工程部首席科学家
2022-10~2023-11,中国科学院上海光学精密机械研究所, 三级研究员/研究生部主任
2020-06~2022-09,中国科学院上海光学精密机械研究所, 四级研究员/研究生部主任
2018-03~2020-05,中国科学院上海光学精密机械研究所, 四级研究员/薄膜光学实验室主任
2017-10~2018-02,中国科学院上海光学精密机械研究所, 四级研究员
2012-10~2017-09,中国科学院上海光学精密机械研究所, 副研究员
2007-10~2012-09,中国科学院上海光学精密机械研究所, 助理研究员
2006-07~2007-09,中国科学院上海光学精密机械研究所, 研究实习员

2024-11-11-今,中国光学学会光学薄膜专业委员会, 主任委员
2022-01-01-今,光学精密工程, 编委
2020-01-15-今,SPIE Laser Damage, 国际组委会委员
2019-03-22-今,光学薄膜标准化技术委员会, 副主任委员

   

（1） 全国三八红旗手, , 国家级, 2026
（2） 中国光学学会王大珩光学奖, , 省级, 2025
（3） 上海市青年科技杰出贡献奖, , 省级, 2024
（4） 上海领军人才, , 省级, 2023
（5） 上海市优秀学术带头人, 省级, 2023
（6） 中国科学院青年科学家奖, 部委级, 2023
（7） 上海青年科技英才, 省级, 2022
（8） 中国青年科技奖特别奖, , 国家级, 2022
（9） 全国巾帼建功标兵, , 国家级, 2021
（10） 上海市巾帼创新奖, , 省级, 2020
（11） 上海市三八红旗手标兵, , 省级, 2020
（12） 中国科学院上海分院杰出青年科技创新人才, , 部委级, 2020
（13） 上海市青年五四奖章标兵, , 省级, 2019
（14） 国家技术发明二等奖, 二等奖, 国家级, 2018
（15） 中国专利优秀奖, , 部委级, 2018
（16） 上海市技术发明一等奖, 一等奖, 省级, 2017
（17） 安徽省科学技术一等奖, 一等奖, 省级, 2017

（ 1 ） 一种基于靶－基偏心沉积的光学元件面形调控方法, 发明专利, 2026, 第 1 作者, 专利号: CN202610746550.0

（ 2 ） 一种高精度磁控溅射沉积设备布局设计方法, 专利授权, 2026, 第 1 作者, 专利号: ZL202610477533.1

（ 3 ） 椭球反射镜表面薄膜厚度分布计算方法及系统, 专利授权, 2026, 第 1 作者, 专利号: ZL202610444748.3

（ 4 ） 基于TEM图像的薄膜厚度自动测量方法与测量系统及介质, 发明专利, 2025, 第 2 作者, 专利号: CN202511977047.8

（ 5 ） 一种分析漏率对高真空系统中水蒸气抽气行为影响的方法, 专利授权, 2025, 第 1 作者, 专利号: ZL202511945548.8

（ 6 ） 基于渐变光学带隙高折射率材料的高损伤阈值激光反射薄膜及其制备方法, 专利授权, 2025, 第 1 作者, 专利号: ZL202511180403.3

（ 7 ） 基于特征增强的神经网络薄膜逆向设计方法及其光学薄膜, 专利授权, 2025, 第 1 作者, 专利号: ZL202510491227.9

（ 8 ） 一种用于磁控溅射系统的选择性基底偏压调控装置及多层膜制备方法, 专利授权, 2025, 第 1 作者, 专利号: ZL202510319918.0

（ 9 ） 一种基于去润湿-应力的多层膜表面Sn污染物的去除方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN202410394909.3

（ 10 ） 一种提高计算重构光谱仪光谱重构能力的宽谱编码滤光片的设计方法, 专利授权, 2024, 第 1 作者, 专利号: ZL202410241780.2

（ 11 ） 一种基于去噪网络的紧凑型高光谱成像方法, 专利授权, 2024, 第 1 作者, 专利号: ZL202410241778.5

（ 12 ） 一种大口径光学薄膜元件镀膜夹具, 发明专利, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN202311500829.3

（ 13 ） 粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均反射率的评估方法, 发明专利, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN202310991032.1

（ 14 ） 磁控溅射元件镀膜膜厚分布修正的挡板设计方法, 专利授权, 2023, 第 3 作者, 专利号: ZL202310258859.1

（ 15 ） 一种低熔点材料薄膜的透射电子显微镜表征方法, 发明专利, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN202310008113.5

（ 16 ） 元件激光损伤阈值的测试方法, 专利授权, 2022, 第 6 作者, 专利号: ZL202011457387.5

（ 17 ） 一种基于神经网络的窄波段光谱成像方法, 专利授权, 2022, 第 3 作者, 专利号: ZL202211467375.X

（ 18 ） 一种超薄薄膜光学常数的表征方法, 专利授权, 2022, 第 1 作者, 专利号: ZL202211162719.6

（ 19 ） 一种低应力自支撑金属薄膜滤片及其制备方法, 专利授权, 2022, 第 8 作者, 专利号: ZL202210837040.6

（ 20 ） 皮秒激光光学元件的全角度真空激光损伤阈值测试装置及方法, 专利授权, 2022, 第 9 作者, 专利号: ZL202210730152.1

（ 21 ） 一种去除光学薄膜节瘤缺陷表面球冠状凸起的抛光方法, 专利授权, 2022, 第 1 作者, 专利号: ZL202210329698.6

（ 22 ） 基于低表面能材料共溅射降低短波长多层膜界面宽度的方法, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN202210209576.3

（ 23 ） 用于宽带超短激光的能量衰减装置, 专利授权, 2021, 第 10 作者, 专利号: ZL202110138461.5

（ 24 ） 一种提高薄膜态材料非线性光学系数测量精度的方法, 专利授权, 2021, 第 4 作者, 专利号: ZL202110089386.8

（ 25 ） 宽带低色散啁啾镜的设计方法, 专利授权, 2021, 第 6 作者, 专利号: ZL202110062472.X

（ 26 ） 一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法, 专利授权, 2021, 第 6 作者, 专利号: ZL202110021643.4

（ 27 ） 基于复合材料的平板型激光分束膜及其设计方法, 专利授权, 2020, 第 1 作者, 专利号: ZL202011266263.9

（ 28 ） 激光光学元器件长寿命预测方法, 专利授权, 2020, 第 6 作者, 专利号: ZL202011146155.8

（ 29 ） 一种用于溶液环境中竖直摆放光学元件的夹具, 实用新型, 2020, 第 1 作者, 专利号: ZL202021875436.2

（ 30 ） 基于类三明治结构界面和复合材料的二向色镜及其制备方法, 专利授权, 2020, 第 1 作者, 专利号: ZL202010876602.9

（ 31 ） 复合功能色散镜结构, 专利授权, 2020, 第 5 作者, 专利号: ZL202010729510.8

（ 32 ） 基于离子束辅助纳米叠层解决电子束沉积薄膜龟裂的方法, 专利授权, 2020, 第 1 作者, 专利号: ZL202010327812.2

（ 33 ） 提升电子束蒸镀薄膜元件的光谱和应力时效稳定性的镀膜方法, 专利授权, 2020, 第 3 作者, 专利号: ZL202010239590.9

（ 34 ） 基于混合物单层膜的光学镀膜元件面形补偿方法, 专利授权, 2020, 第 1 作者, 专利号: ZL202010190180.X

（ 35 ） 一种大尺寸光学元件镀膜夹具和装夹方法, 专利授权, 2020, 第 1 作者, 专利号: ZL202010170308.6

（ 36 ） 连续激光加载下液晶波片相位特性测测量装置和方法, 专利授权, 2020, 第 6 作者, 专利号: ZL202010119030.X

（ 37 ） 一种中红外宽带高反射超快激光薄膜, 专利授权, 2020, 第 6 作者, 专利号: ZL202010063287.8

（ 38 ） 宽带高阈值组合介质低色散镜结构及其设计方法, 专利授权, 2020, 第 6 作者, 专利号: ZL202010031855.6

（ 39 ） 一种宽带高反射高阈值低色散镜及其设计方法, 专利授权, 2019, 第 6 作者, 专利号: ZL201911268711.6

（ 40 ） 渐变界面纳米薄层提升反射膜激光损伤阈值的方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: ZL201910655317.1

（ 41 ） 用于光学薄膜光谱测量的使用环境模拟装置及测量方法, 专利授权, 2019, 第 3 作者, 专利号: ZL201910072640.6

（ 42 ） 液晶器件相位调控特性测量装置和测量方法, 专利授权, 2018, 第 6 作者, 专利号: ZL201810798007.0

（ 43 ） 红外宽带减反射微结构及其制备方法, 专利授权, 2018, 第 4 作者, 专利号: ZL201810516821.9

（ 44 ） 提升多层激光薄膜元件环境稳定性的镀膜方法, 专利授权, 2018, 第 1 作者, 专利号: ZL201810140020.7

（ 45 ） 综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法, 专利授权, 2018, 第 1 作者, 专利号: ZL201810140027.9

（ 46 ） 解决电子束沉积多层膜龟裂的临界层应力的调控方法, 专利授权, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201710380376.3

（ 47 ） 一种低振荡色散镜结构及其设计方法, 专利授权, 2017, 第 7 作者, 专利号: ZL201710105523.6

（ 48 ） 降低氧化铪‑氧化硅多层膜表面粗糙度的方法, 专利授权, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201710000723.5

（ 49 ） 大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具, 专利授权, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201610965152.4

（ 50 ） 缝合基板凹陷结构缺陷获得高损伤阈值高反膜的方法, 专利授权, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL201610243008.X

（ 51 ） 一种超薄光学薄膜衬底硅片的清洗方法, 专利授权, 2016, 第 4 作者, 专利号: ZL201610204422.X

（ 52 ） 光控-晶控综合膜厚监控方法, 专利授权, 2013, 第 1 作者, 专利号: ZL201310451684.2

（ 53 ） 钕玻璃激活反射镜的制备方法, 专利授权, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL201310148760.2

（ 54 ） 各向异性和各向同性混合薄膜反射式位相延迟片, 专利授权, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL201310125985.6

（ 55 ） 提高薄膜光谱性能的膜厚监控方法, 专利授权, 2011, 第 1 作者, 专利号: ZL201110094660.7

（ 56 ） 光学元件透射光谱自动面扫描测量装置, 实用新型, 2008, 第 1 作者, 专利号: ZL200820155743.6

（ 57 ） 高精度薄膜应力实时测量装置, 实用新型, 2006, 第 2 作者, 专利号: ZL200620047909.3

（ 58 ） 膜层光谱的实时测量装置, 实用新型, 2006, 第 2 作者, 专利号: ZL200620043654.3

（ 59 ） 快速测量光谱的分光光度计, 专利授权, 2005, 第 3 作者, 专利号: ZL200510031026.3

（ 60 ） 电子束蒸发镀膜膜厚均匀性的修正方法, 专利授权, 2005, 第 7 作者, 专利号: ZL200510027684.5

（ 61 ） 偏振分光薄膜消光比的精确测量装置, 实用新型, 2005, 第 3 作者, 专利号: ZL200520042762.4

（ 62 ） 计算机控制镀膜装置, 专利授权, 2005, 第 1 作者, 专利号: ZL200510026448.1

（ 63 ） 光学膜厚监控系统, 专利授权, 2005, 第 1 作者, 专利号: ZL200510024987.1

（1） Time-of-flight secondary ion mass spectrometry and X-ray photoelectron spectroscopy investigation of B4C barrier thickness effects at the Mo-on-Si interface in Mo/Si multilayers, Applied Surface Science, 2026, 第 7 作者  通讯作者
（2） Advanced nanoporous SiO2 coatings for ultraviolet laser-resistant high-reflection and anti-reflection optics, Light: Advanced Manufacturing, 2026, 第 5 作者  通讯作者
（3） Feature-driven three-stage hybrid model for thin film parameter estimation from XRR curves, Optical Materials Express, 2026, 第 7 作者  通讯作者
（4） Enhancing laser-induced damage threshold of picosecond laser mirrors using graded-refractive-index multilayer structures, Journal of Applied Physics, 2026, 第 8 作者  通讯作者
（5） Experimental and simulation research on the dynamic characteristics of water vapor in high-vacuum systems,  Journal of Physics D: Applied Physics, 2026, 第 3 作者  通讯作者
（6） Improving the performance of Mo/Si/C multilayers through selective substrate bias-assistance, Applied Surface Science, 2026, 第 7 作者  通讯作者
（7） 极紫外多层膜表面污染与清洗技术研究进展, 激光与光电子学进展, 2025, 第 4 作者  通讯作者
（8） Enhancing reflectivity of Mo/Si/C multilayers deposited on inclined substrates by substrate bias voltage, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2025, 第 9 作者  通讯作者
（9） Reduction of interface defects in Al2O3/HfO2 nanolaminates using ultrathin SiO2 interlayers grown via plasma-enhanced atomic layer deposition, Optics Express, 2025, 第 5 作者  通讯作者
（10） Hybrid-material-based mirror coatings for picosecond laser applications, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2024, 第 8 作者  通讯作者
（11） Effect of ternary compound on HfO2-Al2O3 mixture coatings revealed by solid-state NMR and TOF-SIMS, Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 第 5 作者  通讯作者
（12） Neural network modeling and prediction of HfO 2 thin film properties tuned by thermal annealing, HIGH POWER LASER SCIENCE AND ENGINEERING, 2024, 第 4 作者  通讯作者
（13） Controlling lateral thickness distributions of magnetron sputtering deposited coatings using shadow masks, OPTICAL MATERIALS EXPRESS, 2024, 第 7 作者  通讯作者
（14） ICF激光驱动装置用大尺寸激光薄膜元件, 中国激光, 2024, 第 1 作者  通讯作者
（15） Comparative Study of Plasma-Enhanced-Atomic-Layer-Deposited Al 2 O 3 /HfO 2 /SiO 2 and HfO 2 /Al 2 O 3 /SiO 2 Trilayers for Ultraviolet Laser Applications, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2024, 第 5 作者  通讯作者
（16） Plasma-enhanced atomic-layer-deposited HfO2-SiO2 nanolaminates for broadband antireflection coatings, OPTICAL MATERIALS, 2024, 第 5 作者  通讯作者
（17） Study of short-wavelength pass dichroic laser mirror coatings with hafnia-silica mixture layers, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2024, 第 3 作者  通讯作者
（18） Neural network modeling and prediction of HfO2 thin film properties tuned by thermal annealing, High Power Laser Science and Engineering, 2024, 
（19） 不同设计入射角度的反射薄膜激光损伤特性, 光学学报, 2024, 第 7 作者  通讯作者
（20） Plasma-enhanced atomic-layer-deposited HfO2–SiO2 nanolaminates for broadband antireflection coatings, Optical Materials, 2024, 
（21） Comparative Study of Plasma-Enhanced-Atomic-Layer-Deposited Al2O3/HfO2/SiO2 and HfO2/Al2O3/SiO2 Trilayers for Ultraviolet Laser Applications, ACS Applied Materials & Interfaces, 2024, 第 5 作者  通讯作者
（22） Optical and femtosecond laser-induced damage-related properties of Ta2O5-based oxide mixtures, Journal of Alloys and Compounds, 2023, 第 2 作者  通讯作者
（23） Picosecond laser-induced damage of HfO2-Al2O3 mixture-based mirror coatings in atmosphere and vacuum environments, Optical Materials Express, 2023, 第 2 作者  通讯作者
（24） Effect of subsurface impurity defects on laser damage resistance of beam splitter coatings, High Power Lase Science And Engineering, 2023, 第 2 作者  通讯作者
（25） Effect of annealing on the properties of plasma-enhanced atomic layer deposition grown HfO2 coatings for ultraviolet laser applications, Journal of Alloys and Compounds, 2023, 第 2 作者  通讯作者
（26） 激光薄膜吸收损耗控制研究进展, Research Progress on Absorption Loss Control of Laser Coating, 光学学报, 2022, 第 2 作者  通讯作者
（27） Effect of annealing on the properties of HfO2-Al2O3 mixture coatings for picosecond laser applications, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2022, 第 2 作者  通讯作者
（28） Effects of film thickness and annealing temperature on the properties of molybdenum carbide films prepared using pulsed direct-current magnetron sputtering, MATERIALS RESEARCH EXPRESS, 2022, 第 3 作者  通讯作者
（29） A nodule dome removal strategy to improve the laser-induced damage threshold of coatings, HIGH POWER LASER SCIENCE AND ENGINEERING, 2022, 第 2 作者  通讯作者
（30） Plate laser beam splitter with mixture-based quarter-wave coating design, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2022, 第 2 作者  通讯作者
（31） Dichroic laser mirrors with mixture layers and sandwich-like-structure interfaces, Dichroic laser mirrors with mixture layers and sandwich-like-structure interfaces, PHOTONICS RESEARCH, 2021, 第 2 作者  通讯作者
（32） Al2O3 anti-reflection coatings with graded-refractive index profile for laser applications, OPTICAL MATERIALS EXPRESS, 2021, 第 2 作者  通讯作者
（33） HfO2/SiO2 anti-reflection films for UV lasers via plasma-enhanced atomic layer deposition, JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2021, 第 2 作者  通讯作者
（34） Research to improve the optical performance and laser-induced damage threshold of hafnium oxide/silica dichroic coatings, OPTICAL MATERIALS, 2021, 第 3 作者  通讯作者
（35） Nanolaminate-based design for UV laser mirror coatings, LIGHT-SCIENCE & APPLICATIONS, 2020, 第 1 作者  通讯作者
（36） Optical properties of thickness-controlled PtSe2 thin films studied via spectroscopic ellipsometry, PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS, 2020, 第 6 作者
（37） Highly-Dispersive Mirrors With Advanced Group Delay Dispersion, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2020, 第 8 作者
（38） Strategy to improve the long-term stability of low-stress e-beam coatings, OPTICAL MATERIALS EXPRESS, 2020, 第 2 作者  通讯作者
（39） Effects of water adsorption on properties of electron-beam HfO2/SiO2 high-reflection coatings, THIN SOLID FILMS, 2020, 第 2 作者  通讯作者
（40） Probing quantum confinement effects on the excitonic property and electronic band structures of MoS 2, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2020, 第 6 作者
（41） Design, Fabrication and Laser Damage Comparisons of Low-Dispersive Mirrors, PACIFIC-RIM LASER DAMAGE 2019: OPTICAL MATERIALS FOR HIGH-POWER LASERS, 2019, 第 4 作者
（42） Angle-adjustment-based tunable chirped mirrors with continuous dispersion compensation, OPTICS LETTERS, 2019, 第 6 作者
（43） 惯性约束聚变激光驱动装置用大尺寸偏振薄膜研究综述, Research Progress on Large Size Polarizer Coating for Inertial Confinement Fusion Laser Application, 光学学报, 2019, 第 2 作者  通讯作者
（44） High-repetition-rate laser-induced damage of indium tin oxide films and polyimide films at a 1064 nm wavelength, OPTICAL MATERIALS EXPRESS, 2019, 第 6 作者
（45） Laser damage characteristics of indium-tin-oxide film and polyimide film, Infrared Physics & Technology, 2019, 第 7 作者
（46） Measuring ultrathin metal coatings using SPR spectroscopic ellipsometry with a prism-dielectric-metal-liquid configuration, OPTICS EXPRESS, 2019, 第 5 作者
（47） Effects of structural defects on laser-induced damage of 355-nm high-reflective coatings sputtered on etched substrates, OPTICAL MATERIALS, 2019, 第 4 作者
（48） Influence of deposition temperature and precursor pulse time on properties of SiO2, HfO2 monolayers deposited by PEALD, TENTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS (TFPA 2019), 2019, 第 2 作者  通讯作者
（49） Laser resistance dependence of interface for high-reflective coatings studied by capacitance-voltage and absorption measurement, OPTICS LETTERS, 2018, 第 2 作者  通讯作者
（50） Environmental stability investigation on electron-beam deposited coatings with dense capping layer, OPTICAL ENGINEERING, 2018, 第 2 作者  通讯作者
（51） Comparison of 355-nm nanosecond and 1064-nm picosecond laser-induced damage in high-reflective coatings, OPTICAL ENGINEERING, 2018, 第 6 作者
（52） Design and fabrication of composite structures in ZnSe providing broadband mid-infrared anti-reflection, OPTICAL MATERIALS, 2018, 第 5 作者
（53） Study on Brewster angle thin film polarizer using hafnia-silica mixture as high-refractive-index material, OPTICAL ENGINEERING, 2018, 第 2 作者  通讯作者
（54） Investigation on picosecond laser-induced damage in HfO2/SiO2 high-reflective coatings, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2018, 第 7 作者
（55） Influence of deposition temperature and SiO2 overcoat layer on laser resistance of 532-nm high-reflection coating, OPTICAL ENGINEERING, 2018, 第 1 作者  通讯作者
（56） Laser-damage characteristics of Nd: glass active mirrors, Applied Optics, 2017, 第 5 作者
（57） Improving the laser-induced damage threshold of 532-nm antireflection coating using plasma ion cleaning, OPTICALENGINEERING, 2017, 第 1 作者  通讯作者
（58） Laser-damage characteristics of Nd: glass active mirrors, APPL. OPTICS, 2017, 第 5 作者
（59） 原子层沉积技术在纳米光子波导中的应用, Application of Atomic Layer Deposition in Fabrication of Nanophotonic Silicon Slot Waveguides, 真空科学与技术学报, 2017, 第 3 作者
（60） Wide angle and broadband perfect absorber with compact multilayer structures, MODERN PHYSICS LETTERS B, 2017, 第 3 作者
（61） Laser-resistance sensitivity to substrate pit size of multilayer coatings, SCIENTIFIC REPORTS, 2016, 第 2 作者  通讯作者
（62） A broadband polarization-independent perfect absorber with tapered cylinder structures, OPTICAL MATERIALS, 2016, 第 2 作者
（63） High dispersive mirrors for erbium-doped fiber chirped pulse amplification system, OPTICS EXPRESS, 2016, 第 4 作者
（64） Development of high performance polarizer coatings, 光学精密工程, 2016, 第 1 作者  通讯作者
（65） Thin-film polarizer for high power laser system in China, PACIFIC RIM LASER DAMAGE 2016 - OPTICAL MATERIALS FOR HIGH-POWER LASERS, 2016, 第 3 作者
（66） Multilayer deformation planarization by substrate pit suturing, OPTICS LETTERS, 2016, 第 2 作者  通讯作者
（67） Laser advances drive development of specialized optical coatings, LASER FOCUS WORLD, 2016, 第 5 作者
（68） Improving laser damage resistance of 355 nm high-reflective coatings by co-evaporated interfaces, OPTICS LETTERS, 2016, 第 2 作者  通讯作者
（69） Laser-resistance sensitivity to substrate pit size of multilayer coatings, SCIENTIFIC REPORTS, 2016, 第 2 作者  通讯作者
（70） Suppression of nano-absorbing precursors and damage mechanism in optical coatings for 3 omega mirrors, OPTICS LETTERS, 2016, 第 10 作者
（71） A broadband polarization-independent perfect absorber with tapered cylinder structures, OPTICAL MATERIALS, 2016, 第 5 作者
（72） Progress on large aperture transport mirrors, 光学精密工程, 2016, 第 7 作者
（73） 高性能偏振膜的研制, Development of high performance polarizer coatings, 光学精密工程, 2016, 第 1 作者  通讯作者
（74） Laser conditioning technology and its applications, 光学精密工程, 2016, 第 5 作者
（75） Multilayer deformation planarization by substrate pit suturing, OPTICS LETTERS, 2016, 第 2 作者  通讯作者
（76） Improving laser damage resistance of 355 nm high-reflective coatings by co-evaporated interfaces, OPTICS LETTERS, 2016, 第 2 作者  通讯作者
（77） Temperature dependent optical properties of the titanium nitride broadband perfect absorber, PROC. - INT. CONF. LASER OPTICS, LO, 2016, 第 2 作者
（78） High dispersive mirrors for erbium-doped fiber chirped pulse amplification system, OPT. EXPRESS, 2016, 第 4 作者
（79） 大口径传输反射镜的研究进展, Progress on large aperture transport mirrors, 光学精密工程, 2016, 第 7 作者
（80） Suppression of nano-absorbing precursors and damage mechanism in optical coatings for 3 omega mirrors, OPTICS LETTERS, 2016, 第 10 作者
（81） 激光预处理技术及其应用, Laser conditioning technology and its applications, 光学精密工程, 2016, 第 5 作者
（82） Theoretical and experimental research on laser-induced damage of cylindrical subwavelength grating, OPTICS EXPRESS, 2015, 第 3 作者
（83） Experimental demonstration of laser damage caused by interface coupling effects of substrate surface and coating layers, OPTICS LETTERS, 2015, 第 2 作者  通讯作者
（84） Impact of substrate pits on laser-induced damage performance of 1064-nm high-reflective coatings, OPTICS LETTERS, 2015, 第 2 作者  通讯作者
（85） Modulations of the plasma scald on the downstream beam, Optics Communications, 2015, 第 6 作者
（86） 532nm HfO2/SiO2高反膜的激光预处理效应, Laser conditioning effect of HfO2/SiO2 high reflectors at 532nm, 强激光与粒子束, 2015, 第 3 作者
（87） Broadband Perfect Absorber with Titanium Nitride Nano-disk Array, PLASMONICS, 2015, 第 3 作者
（88） Influence of SiO2 overcoat layer and electric field distribution on laser damage threshold and damage morphology of transport mirror coatings, OPTICS COMMUNICATIONS, 2014, 第 1 作者  通讯作者
（89） Laser-induced damage properties of subwavelength antireflective grating on fused silica, THIN SOLID FILMS, 2014, 第 2 作者
（90） Study on high-reflective coatings of different designs at 532 nm, CHINESE OPTICS LETTERS, 2014, 第 7 作者  通讯作者
（91） Antireflective sub-wavelength structures on fused silica via self-assembly of silica, THIN SOLID FILMS, 2013, 第 2 作者
（92） Reduction in thickness error of optical coatings by dividing thick layers and monitoring with multiple witness glasses, VACUUM, 2013, 第 1 作者  通讯作者
（93） Investigations on the catastrophic damage in multilayer dielectric films, Applied Optics, 2013, 第 6 作者
（94） Broadband antireflective structures with hole for highly transparent glasses, OPTIK, 2013, 第 2 作者
（95） Effect of Advanced Plasma Source bias voltage on properties of HfO2 films prepared by plasma ion assisted electron evaporation from metal hafnium, THIN SOLID FILMS, 2013, 第 1 作者  通讯作者
（96） Porous antireflective coatings with controlled thickness and refractive index on glass, JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2013, 第 2 作者
（97） Damage threshold influenced by the high absorption defect at the film–substrate interface under ultraviolet laser irradiation, OPTICS LETTERS, 2013, 第 7 作者
（98） Dependence of wavDependence of wavefront errors on nonuniformity of thin films, CHINESE OPTICS LETTERS, 2012, 第 2 作者
（99） Dependence of wavefront errors on nonuniformity of thin films, CHINESE OPTICS LETTERS, 2012, 第 2 作者
（100） Influence of APS bias voltage on properties of HfO2 and SiO2 single layer deposited by plasma ion-assisted deposition, CHINESE OPTICS LETTERS, 2011, 第 1 作者
（101） Theoretical and experimental research on spectral performance and laser induced damage of Brewster's thin film polarizers, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2011, 第 1 作者  通讯作者
（102） Preparation of high performance thin-film polarizers, CHINESE OPTICS LETTERS, 2010, 第 1 作者  通讯作者
（103） Preparation of high performance thin-film polarizers, Preparation of high performance thin-film polarizers, 中国光学快报：英文版, 2010, 第 1 作者  通讯作者
（104） 双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置, An Instrument for In-Situ Stress Measurement in Thin Optical Films by Using two Light Beams, 中国激光, 2009, 第 4 作者
（105） 光学薄膜膜厚自动控制系统的研究, Research of an automatic system monitoring thickness of optical thin-film, 光子学报, 2007, 第 1 作者  通讯作者
（106） 膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响, 光学学报, 2006, 第 1 作者  通讯作者

   

（ 1 ） 上海领军人才, 负责人, 地方任务, 2023-12--2026-11
（ 2 ） XXX多层膜高精度沉积技术, 负责人, 中国科学院计划, 2023-10--2027-07
（ 3 ） 微结构表面原子精度光学薄膜制备研究, 负责人, 中国科学院计划, 2023-08--2026-06
（ 4 ） 上海市优秀学术带头人（青年）, 负责人, 地方任务, 2023-05--2026-04
（ 5 ） 皮秒介质膜反射镜制造关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2022-01--2023-12
（ 6 ） LPP光刻光源收集镜多层膜沉积平台建设与关键技术研究, 负责人, 地方任务, 2021-07--2026-06
（ 7 ） 面向强激光应用的激光薄膜元件关键技术研究及批量供货能力研究, 负责人, 中国科学院计划, 2020-01--2024-12
（ 8 ） 中国科学院青年创新促进会优秀会员, 负责人, 中国科学院计划, 2020-01--2022-12
（ 9 ） 基于原子层沉积的高性能紫外激光减反射膜技术研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12
（ 10 ） 上海市青年拔尖人才, 负责人, 地方任务, 2019-01--2021-12
（ 11 ） 国家“WR计划”青年拔尖人才, 负责人, 国家任务, 2019-01--2021-12
（ 12 ） 特种光学元件关键技术与工艺攻关, 负责人, 国家任务, 2017-01--2017-12
（ 13 ） 特种光学元件关键技术与工艺攻关, 负责人, 国家任务, 2016-01--2016-12
（ 14 ） 基于电子束双源共蒸的“无界面”多层膜技术研究, 负责人, 国家任务, 2016-01--2018-12
（ 15 ） 上海基地条件建设项目（一期）, 负责人, 国家任务, 2016-01--2019-12
（ 16 ） 中红外高负载镀膜技术及器件研制, 负责人, 国家任务, 2016-01--2020-12
（ 17 ） 青年创新促进会, 负责人, 中国科学院计划, 2015-01--2018-12
（ 18 ） 特种光学元件关键技术与工艺攻关, 负责人, 国家任务, 2014-07--2015-12
（ 19 ） 特种光学元件关键技术与工艺攻关, 负责人, 国家任务, 2013-07--2014-06
（ 20 ） 光学元件批量制造中试验证, 参与, 国家任务, 2013-06--2016-08
（ 21 ） ××膜的研制, 负责人, 国家任务, 2012-01--2014-12
（ 22 ） 高负载能力表面织构减反射石英元件, 负责人, 国家任务, 2011-10--2013-06
（ 23 ） 高强度、优质介质膜生产工艺研究与验证, 负责人, 国家任务, 2010-01--2012-06

（1）Enhance the Laser-Induced Damage Threshold of UV Coatings via Defect Mitigation   2026-04-12
（2）Improving the laser-induced damage threshold of coatings from the perspective of materials and defects   2023-10-16
（3）结构性缺陷对激光薄膜元件损伤阈值的影响研究   第三届全国光子技术论坛   2023-03-31
（4）Mixtures and nanolaminate materials for high-power laser coatings   2021-07-23
（5）Environmental Stability of Electron-Beam Evaporated Coatings    2021-07-06
（6）Effect of water vapor on the properties of coatings deposited by electron-beam evaporation   2018-09-28
（7）Investigation on the multilayer coating with co-evaporated interface   2018-04-24
（8）Enhanced LIDT of high-reflective coatings by substrate pit suturing   2017-10-25
（9）Enhanced LIDT of high-reflective coatings by substrate pit suturing and co-evaporation technique   2017-07-17
（10）Stress Compensation by an Undercoat SiO2 Layer Prepared using Plasma Ion Assisted Deposition   2016-10-03
（11）Thin-film polarizer for high power laser system   2016-03-07
（12）Influence of Different-sized Substrate Pits on Nanosecond-Laser-Induced-Damage in High-Reflective Coatings   2015-09-21
（13）Research on the laser damage performance of high reflection coatings at 355 nm   2013-05-20
（14）Multiple wavelength laser induced damage of multilayer beam splitters   2012-09-24
（15）Photo-thermal tomography of optical coatings based on surface thermal lensing technology   2011-10-24

已指导学生

邢焕彬  硕士研究生  080300-光学工程  

赵泽成  硕士研究生  080502-材料学  

武振清  硕士研究生  085202-光学工程  

杜文云  博士研究生  080300-光学工程  

陈上林  硕士研究生  085400-电子信息  

张雪晨  硕士研究生  085400-电子信息  

林泽晟  博士研究生  080300-光学工程  

刘天宝  博士研究生  080300-光学工程  

赵洋  硕士研究生  085400-电子信息  

郝凌云  硕士研究生  085400-电子信息  

高程  硕士研究生  085400-电子信息  

温家慧  博士研究生  085408-光电信息工程  

宋洪萱  博士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

夏鑫涛  硕士研究生  085400-电子信息  

曹隆荀  博士研究生  080300-光学工程  

黄凯  博士研究生  080300-光学工程  

刘娜  硕士研究生  085408-光电信息工程  

孙天瑜  博士研究生  080300-光学工程  

中国青年科技奖特别奖

国家技术发明二等奖（第二完成人）

全国三八红旗手

全国巾帼建功标兵

中国光学学会王大珩光学奖

上海市青年科技杰出贡献奖

中国科学院青年科学家奖

上海市技术发明一等奖（第二完成人）

安徽省科学技术一等奖（第四完成人）

中国专利优秀奖（第一发明人）

上海领军人才

上海市优秀学术带头人

上海青年科技英才

上海市巾帼创新奖

上海市三八红旗手标兵

上海市青年五四奖章标兵