基本信息
邹旭东  男  博导  中国科学院电子学研究所
电子邮件: zouxudong@126.com
通信地址: 北京市海淀区中关村北一条9号科电大厦11层
邮政编码:

研究领域

本人的主要研究领域为高精度微惯性传感器及其系统:单轴/多轴微机电加速度传感器、微机电陀螺、微惯性测量单元等。研究内容涉及:新型惯性传感原理、器件设计优化、微加工工艺兼容性、低噪声前端电路设计和传感器集成等方面。


同时,课题组面向协同任务下的机器人自主定位与导航技术,开展基于多源传感信息融合的微型PNT(定位-导航-授时)系统研究,主要包括基于广义视觉(Visual)与惯性测量(IMU)的VIO技术,基于无线信道的多节点高精度时频同步技术,适用于嵌入式平台的高能效融合SLAM技术等。

本人的研究兴趣还包括:耦合微机电谐振器、非线性微机电谐振器与振荡器、谐振式微机电传感器以及环境自供能微传感器集成等。

研究主要针对战略及工业生产领域对微型化高精度惯性测量技术的迫切需求,同时面向机器人、物联网以及智能城市,智能基础设施对新一代微传感器的应用需求。

招生信息

研究组每年招收3-4名硕士或直博研究生,欢迎具备微电子、微加工、模/数混合电路设计等相关背景以及自动化、测控、机械等专业并对微机电传感器,特别是惯性传感器研究以及微传感系统集成感兴趣的同学报考

招生专业
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
微机电惯性传感器,多传感融合PNT系统
微机电谐振器,滤波器
微能量采集器,自供能微传感器集成

教育背景

2009-10--2014-01   剑桥大学   哲学博士
2005-09--2009-07   北京大学   理学学士
学历
2009.10 至 2014.01 英国剑桥大学工程系 微系统专业 博士研究生 
2005.09 至 2009.07 中国北京大学元培计划试验班(元培学院)微电子学专业 本科

学位
2014年 获 剑桥大学 哲学博士 学位
2009年 获 北京大学 理学学士 学位

工作经历

于2006至2009年期间在北京大学”微米/纳米加工技术国家重点实验室“担任研究助理,从事了有关振动式微型发电机,射频微机电(RF MEMS)可调滤波器等项目研究工作,取得的研究成果在SCI期刊和知名国际学术会议上发表5篇论文并因此获得北京大学信息科学技术学院“十佳毕业论文”奖励。
2010至2016年期间,在英国剑桥大学纳米科学中心历任Research Assistant、Research Associate,从事微机电传感器的研究开发工作,作为项目负责人承担并圆满完成了3项由英国技术战略委员会(Technology Strategy Board),英国石油公司(BP p.l.c)支持的微机电传感器研发项目,作为发明人申请四项国际专利,其中一项已经授权并在世界主要国家获得专利保护。2014年,主导研发的高精度谐振式微机电加速度传感器作为产品核心技术,由剑桥大学联合英国石油公司、英国机械工程师协会共同出资成立了Silicon Microgravity Ltd.公司,以开发其在油气勘探与安全生产领域的应用。本人于同年当选为剑桥大学丘吉尔学院 Postdoc Fellow,为学院提供相关工程领域的咨询意见,并在学院为上海交通大学CEO全球研修班授课。
2016年3月,加入中国科学院电子学研究所“传感技术国家联合重点实验室”任研究员,继续从事微机电传感器,特别是高精度惯性传感器的研究工作。

工作简历
2016-03~现在, 中国科学院电子学研究所, 研究员
2014-10~2016-03,剑桥大学丘吉尔学院, Postdoc Fellow
2014-02~2016-02,剑桥大学纳米科学中心, Research Associate
社会兼职
2016-07-31-今,中国微米纳米技术学会, 国际合作委员会委员
2011-08-31-2013-08-30,全英中国学生学者联谊会执委会, 执行委员、创业与发展部部长
2010-10-31-2016-03-01,全英北京大学校友会理事会, 执行理事

教授课程

微机电系统基础

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 国家优秀自费留学生奖学金, 一等奖, 国家级, 2012
(2) 光华奖学金, 一等奖, 院级, 2009
专利成果
( 1 ) Dual and Triple Axis Inertial Sensors and Methods of Inertial Sensing, 发明, 2014, 第 3 作者, 专利号: PCT/GB2013/000375
( 2 ) 一种动态环境下结合语义的视觉定位系统和方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201711040037.7

出版信息

   
发表论文
(1) 基于卷积神经网络的视觉位置识别方法, 计算机工程与设计, 2019, 通讯作者
(2) 动态环境下结合语义的鲁棒视觉SLAM, 传感器与微系统, 2019, 通讯作者
(3) Dynamic-SLAM: Semantic Monocular Visual Localization and Mapping Based on Deep Learning in Dynamic Environment, Robotics and Autonomous Systems, 2019, 通讯作者
(4) Utilizing Energy Localization in Weakly Coupled Nonlinear Resonators for Sensing Applications, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2019, 第 4 作者
(5) A MODE-LOCALIZED MEMS ACCELEROMETER WITH 7ug BIAS STABILITY, IEEE MEMS 2018, 2018, 通讯作者
(6) On the noise optimization of resonant MEMS sensors utilizing vibration mode localization, APL, 2018, 第 6 作者
(7) Parametric Noise Reduction in a High-Order Nonlinear MEMS Resonator Utilizing Its Bifurcation Points, Journal of Microelectromechanical Systems, 2017, 第 6 作者
(8) Experimental Observation of Noise Reduction in Weakly Coupled Nonlinear MEMS Resonators, Journal of Microelectromechanical Systems, 2017, 第 5 作者
(9) ENHANCED FREQUENCY STABILITY IN A NON-LINEAR MEMS OSCILLATOR EMPLOYING PHASE FEEDBACK, IEEE MEMS 2017, 2017, 通讯作者
(10) A Closed-Loop Readout Configuration for Mode-Localized Resonant MEMS Sensors, Journal of Microelectromechanical System, 2017, 第 5 作者
(11) Non-linear frequency noise modulation in a resonant MEMS accelerometer, IEEE Sensors Journal, 2017, 第 1 作者
(12) EDGE-ANCHORED MODE-MATCHED MICROMACHINED GYROSCOPIC DISK RESONATOR, Transducers 2017, 2017, 第 1 作者
(13) A Hybrid Vibration Powered Microelectromechanical Strain Gauge, IEEE Sensors Journal, 2016, 第 3 作者
(14) The Impact of Damping on the Frequency Stability of Nonlinear MEMS Oscillator, Journal of Microelectromechanical Systems, 2015, 第 1 作者
(15) A High Resolution Resonant MEMS Accelerometer, Proceedings of Transducers 2015, 2015, 第 1 作者
(16) A Seismic-Grade Resonant MEMS Accelerometer, Journal of Microelectromechanical Systems, 2014, 第 1 作者
(17) A High Resolution Micro-Electro-Mechanical Resonant Tilt Sensor, Sensors and Actuators A: Physical, 2014, 第 1 作者
(18) Micro-Electro-Mechanical Resonant Tilt Sensor with 250 Nano-Radian Resolution, Proceedings of Joint EFTF-IFC 2013, 2013, 第 1 作者
(19) Micro-Electro-Mechanical Resonant Tilt Sensor, Proceedings of IFCS 2012, 2012, 第 1 作者
(20) Study on PECVD SiO2/Si3N4 double-layer electrets with different thicknesses, Science China-Technological Sciences, 2011, 第 1 作者
(21) Improvement of the Performance of the PECVD SiO2/Si3N4 Double-layer Electrets, IEEE Transactions ON Dielectrics and Electrical Insulation, 2011, 第 2 作者
(22) Voltage programmable dual-band bandpass/bandstop filter response in a single micro-electro-mechanical device, Proceedings of Transducers 2011, 2011, 第 1 作者
(23) A novel tuneable band-pass filter based on a single square-ring MEMS resonator, Proceedings of Eurosensors 2010, 2010, 第 1 作者
(24) Design and Simulation of 4-Bit 10-14GHz RF MEMS Tunable Filter, Proceedings of NEMS 2009, 2009, 第 1 作者
(25) A low-loss RF MEMS switch with dielectric layer on the lower surface of the bridge, Proceedings of NEMS 2009, 2009, 第 3 作者
(26) Effects of Different Si(3)N(4) Thicknesses on the Performance of PECVD SiO(2)/Si(3)N(4) Double Layers Electrets, Proceedings of ICSICT 2008, 2008, 第 2 作者
发表著作
(1) MEMS Silicon Oscillating Accelerometers and Readout CircuitsRiver Publishers, River Publisher, 2019-03, 第 3 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 中国科学院青年千人匹配支持项目, 主持, 部委级, 2017-01--2017-12
( 2 ) 高精度MEMS陀螺基础研究, 主持, 市地级, 2016-07--2019-06
( 3 ) 大带宽硅振梁加速度计, 主持, 国家级, 2017-07--2018-07
( 4 ) 国家“千人计划”青年项目专项, 主持, 国家级, 2017-12--2020-12
( 5 ) 硅微谐振器非线性效应及调控方法, 主持, 国家级, 2019-07--2022-06
( 6 ) 系统硬件与定位导航架构方案研究, 主持, 国家级, 2018-11--2019-08
参与会议
(1)A High Resolution Resonant MEMS Accelerometer    Zou,Xudong   2015-06-21
(2)Micro-Electro-Mechanical Resonant Tilt Sensor with 250 Nano-Radian Resolution    Zou, Xudong; Thiruvenkatanathan, Pradyumna; Seshia, Ashwin A.   2013-07-21
(3)Micro-Electro-Mechanical Resonant Tilt Sensor    Zou, Xudong; Thiruvenkatanathan, Pradyumna; Seshia, Ashwin A.   2013-05-21
(4)Voltage programmable dual-band bandpass/bandstop filter response in a single micro-electro-mechanical device   Zou, Xu Dong; Yan, Ji Ze; Seshia, A. Ashwin   2011-06-05
(5)A novel tuneable band-pass filter based on a single square-ring MEMS resonator    Zou, Xu Dong; Yan, Ji Ze; Seshia, A. Ashwin   2010-09-05
(6)Design and Simulation of 4-Bit 10-14GHz RF MEMS Tunable Filter    Zou, Xudong; Chen, Kenle; Zhang, Hualiang; *Zhang, Jinwen   2009-01-05
(7)Effects of Different Si(3)N(4) Thicknesses on the Performance of PECVD SiO(2)/Si(3)N(4) Double Layers Electrets    Chen, Zhiyu; Zou, Xudong; *Zhang, Jinwen   2008-10-20

合作情况

   
项目协作单位
   

指导学生

已指导学生

仇晓松  硕士研究生  081002-信号与信息处理  

王金戈  硕士研究生  081002-信号与信息处理  

肖麟慧  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

汪政  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张易凡  硕士研究生  0809Z1-生物电子学  

现指导学生

蔡朋成  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王坤锋  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

孙杰  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘云飞  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘振溪  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

尤昌华  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

周莉玲  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

薛博  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王佳伟  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

雷鹏宇  硕士研究生  085209-集成电路工程