EUV掩模缺陷成像分析；软X射线相干衍射成像；软X射线原位吸收谱技术平台研制；自由电子激光光束丢束诊断装置研制；

1、EUV掩模缺陷成像分析；

2、软X射线相干衍射成像；

3、软X射线吸收谱技术分析

4、自由电子激光丢束诊断；

070207-光学
080300-光学工程

软X射线相干衍射成像
EUV掩模缺陷检测和分析
自由电子激光丢束诊断

2009-09--2013-06   中国科学院上海应用物理研究所   博士研究生
2006-09--2009-07   四川大学   硕士研究生
2002-09--2006-07   洛阳师范学院   学士学位

博士研究生

博士

   

2018-10~现在, 中国科学院上海高等研究院, 助理研究员、副研究员
2013-06~2018-09,中国科学院上海应用物理研究所, 助理研究员

   

[1] 刘海岗, 张祥志, 郭智, 许子健, 王勇, 邰仁忠. 一种自动采集吸收谱实验数据的控制方法. CN: CN112763432A, 2021-05-07.
[2] 刘海岗, 许子健, 张祥志, 郭智, 邰仁忠. 一种紧凑式多功能真空实验系统. CN: CN111965110A, 2020-11-20.
[3] 一种光束线站的自动反馈调光系统及方法. 2023-08-22.
[4] 基于同步光源的EUV 掩模缺陷检测和分析一体化系统. 2024-04-16.
[5] 刘海岗, 张祥志, 郭智, 许子健, 王勇, 邰仁忠. 一种光束线站的自动反馈调光系统及方法. CN: CN116482867A, 2023-07-25.
[6] 刘海岗, 张祥志, 郭智, 许子健, 王勇, 邰仁忠. 一种光束线站的自动反馈调光系统及方法. CN: CN116482867B, 2023-08-22.

   

[1] 李海涛, 赵波, 张祥志, 郭智, 王勇, 朱大明, 姚泽颖, 崔晨辉, 焦禹晨, 刘海岗, 许子健, 马立梅, 邰仁忠. 便携式同步辐射原位激光加热装置研制. 核技术[J]. 2023, 46(2): 17-24, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7108960532.
[2] Appl. Sci.. 2023, 
[3] Bioresource Technology. 2021, 
[4] 潘兴臣, 刘诚, 陶华, 刘海岗, 朱健强. Ptychography相位成像及其关键技术进展. 光学学报[J]. 2020, 40(1): 157-174, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7101495112.
[5] ACS Appl. Mater. Interfaces. 2020, 
[6] 屈斯诗, 郭智, 邰仁忠, 张祥志, 刘海岗, 于怀娜. 基于软X射线的光子关联谱装置设计. 核技术[J]. 2019, 42(4): 040103-1, 
[7] 屈斯诗, 郭智, 邰仁忠, 张祥志, 刘海岗, 于怀娜. 软X射线光子关联谱装置设计. 核技术[J]. 2019, 42(4): 15-22, https://nxgp.cnki.net/kcms/detail?v=3uoqIhG8C44YLTlOAiTRKibYlV5Vjs7iLik5jEcCI09uHa3oBxtWoJH_HqylRnmX2v6eu-Fh15WUlBI0I1MiW4__m3oD1Jem&uniplatform=NZKPT.
[8] Rev. Sci. Instrum. 90. 2019, 
[9] Microsc. Microanal.. 2018, 
[10] PLOS ONE. 2017, 

   

（ 1 ） 纳米分辨的多功能软X射线扫描相干衍射成像技术研究, 负责人, 国家任务, 2022-01--2025-12
（ 2 ） 新型极性金属薄膜的共振X射线谱学研究, 负责人, 国家任务, 2021-01--2023-12
（ 3 ） 高通量 X 射线自由电子激光活细胞单脉冲成像技术体系, 负责人, 国家任务, 2022-12--2027-11
（ 4 ） 基于同步辐射光源的扫描菲涅耳相干衍射成像方法学研究, 负责人, 国家任务, 2016-01--2018-12
（ 5 ） 跨空间尺度原位同步辐射成像技术, 参与, 国家任务, 2022-01--2026-12
（ 6 ） 上海光源EUV掩模检测系统维修改造, 参与, 中国科学院计划, 2022-01--2024-12
（ 7 ） 新型磁敏感材料的制备与物性调控, 参与, 地方任务, 2018-08--2021-07
（ 8 ） 软X射线波带片性能测试, 负责人, 其他国际合作项目, 2019-07--2024-07

   

上海科技大学；

同济大学；

中国科学院宁波材料技术与工程研究所；

中国科学院微电子研究所；