基本信息
宁瑾 女 博导 半导体研究所
电子邮件：ningjin@semi.ac.cn
通信地址：北京市清华东路甲35号集成技术中心
邮政编码：100083
研究领域
MEMS器件与系统
招生信息
招生专业
140100-集成电路科学与工程
招生方向
MEMS器件与系统
教育背景
2000-09--2003-07 中国科学院半导体研究所 博士
1997-09--2000-07 航天部兰州物理研究所 硕士
1991-09--1995-07 郑州大学 学士
1997-09--2000-07 航天部兰州物理研究所 硕士
1991-09--1995-07 郑州大学 学士
学历
半导体所 --20030630 博士
学位
-- 工学博士学位
工作经历
工作简历
2003-07~现在, 中国科学院半导体研究所, 任职
1995-07~1997-09,河南省民权县电信局, 工作
1995-07~1997-09,河南省民权县电信局, 工作
教授课程
惯性MEMS器件与系统概述
微机电系统基础
微电子机械系统（MEMS）
微机电系统基础
微电子机械系统（MEMS）
专利与奖励
专利成果
（ 1 ） 电容式微纳超声换能器及其制备方法, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN110773408A
（ 2 ） 谐振结构及其制作方法, 发明专利, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111865249A
（ 3 ） 盖板结构及其制作方法、电容式传感器, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109626318A
（ 4 ） 压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪, 专利授权, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109682364A
（ 5 ） 一种具有温度控制功能的硅基生化检测芯片, 发明专利, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109234154A
（ 6 ） 温度控制芯片、其制备方法及包含其的温度控制芯片系统, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109189124A
（ 7 ） 一种实现指向控制功能的无线人机交互设备和方法, 专利授权, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN107688348A
（ 8 ） 双自由度MEMS压电梁结构, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105823904A
（ 9 ） 压电执行梁结构, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105810813A
（ 10 ） MEMS电容式超声波传感器及其制备方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105540528A
（ 11 ） 驻极体电容式超声传感器及其制备方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105578368A
（ 12 ） 环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105306003A
（ 13 ） 一种驻极体电容式超声传感器及其制作方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN105025423A
（ 14 ） 一种超声波触觉反馈系统及其制造方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104866098A
（ 15 ） 一种电容式超声传感器及其制作方法, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104655261A
（ 16 ） 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104482930A
（ 17 ） 采用晶圆级封装的MEMS器件, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104401930A
（ 18 ） 在衬底上制备多级台阶的方法, 发明专利, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104445051A
（ 19 ） 利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法, 发明专利, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104377117A
（ 20 ） 一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法, 发明专利, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103644999A
（ 21 ） 一种制备图形化多孔硅结构的方法, 发明专利, 2014, 第 6 作者, 专利号: CN103641063A
（ 22 ） 谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103115719A
（ 23 ） 采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103023454A
（ 24 ） 采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102594290A
（ 25 ） 基于寄生电容调节的高精度温度补偿MEMS振荡器, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102594260A
（ 26 ） 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102062826A
（ 27 ） 基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块, 发明专利, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN101984557A
（ 28 ） 电学测试的汞探针装置, 发明专利, 2010, 第 3 作者, 专利号: CN101644691A
（ 29 ） 碳化硅射频微电子机械系统滤波器的制作方法, 发明专利, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101471637A
（ 30 ） 多晶立方相碳化硅微机电系统谐振器件及其制作方法, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN101447775B
（ 31 ） 氧化硅上制备低阻碳化硅的方法, 发明专利, 2009, 第 3 作者, 专利号: CN101440481A
（ 2 ） 谐振结构及其制作方法, 发明专利, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111865249A
（ 3 ） 盖板结构及其制作方法、电容式传感器, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109626318A
（ 4 ） 压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪, 专利授权, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109682364A
（ 5 ） 一种具有温度控制功能的硅基生化检测芯片, 发明专利, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109234154A
（ 6 ） 温度控制芯片、其制备方法及包含其的温度控制芯片系统, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109189124A
（ 7 ） 一种实现指向控制功能的无线人机交互设备和方法, 专利授权, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN107688348A
（ 8 ） 双自由度MEMS压电梁结构, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105823904A
（ 9 ） 压电执行梁结构, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105810813A
（ 10 ） MEMS电容式超声波传感器及其制备方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105540528A
（ 11 ） 驻极体电容式超声传感器及其制备方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105578368A
（ 12 ） 环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105306003A
（ 13 ） 一种驻极体电容式超声传感器及其制作方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN105025423A
（ 14 ） 一种超声波触觉反馈系统及其制造方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104866098A
（ 15 ） 一种电容式超声传感器及其制作方法, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104655261A
（ 16 ） 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104482930A
（ 17 ） 采用晶圆级封装的MEMS器件, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104401930A
（ 18 ） 在衬底上制备多级台阶的方法, 发明专利, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104445051A
（ 19 ） 利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法, 发明专利, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104377117A
（ 20 ） 一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法, 发明专利, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103644999A
（ 21 ） 一种制备图形化多孔硅结构的方法, 发明专利, 2014, 第 6 作者, 专利号: CN103641063A
（ 22 ） 谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103115719A
（ 23 ） 采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103023454A
（ 24 ） 采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102594290A
（ 25 ） 基于寄生电容调节的高精度温度补偿MEMS振荡器, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102594260A
（ 26 ） 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102062826A
（ 27 ） 基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块, 发明专利, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN101984557A
（ 28 ） 电学测试的汞探针装置, 发明专利, 2010, 第 3 作者, 专利号: CN101644691A
（ 29 ） 碳化硅射频微电子机械系统滤波器的制作方法, 发明专利, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101471637A
（ 30 ） 多晶立方相碳化硅微机电系统谐振器件及其制作方法, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN101447775B
（ 31 ） 氧化硅上制备低阻碳化硅的方法, 发明专利, 2009, 第 3 作者, 专利号: CN101440481A
出版信息
发表论文
[1] Jiao, Yu, Zhao, Yingkai, Kuang, Li, Lin, Ranxi, Ning, Jin, Liu, Jianguo. Design and Optimization of an Ultraviolet Scattering Communication System Based on Duty Cycle Regulation. PHOTONICS[J]. 2024, 第 5 作者 通讯作者 11(7): http://dx.doi.org/10.3390/photonics11070662.
[2] Zhongxuan Hou, Yongkang Zhang, Chaowei Si, Guowei Han, Yongmei Zhao, Xiaorui Lu, Jiahui Liu, Jin Ning, Tongbo Wei. A High-Reliability RF MEMS Metal-Contact Switch Based on Al-Sc Alloy. MICROMACHINES[J]. 2023, 第 8 作者 通讯作者 14(6): http://dx.doi.org/10.3390/mi14061098.
[3] Zhang, Yongkang, Hou, Zhongxuan, Si, Chaowei, Han, Guowei, Zhao, Yongmei, Lu, Xiaorui, Liu, Jiahui, Ning, Jin, Yang, Fuhua. Effects of Mask Material on Lateral Undercut of Silicon Dry Etching. MICROMACHINES[J]. 2023, 第 8 作者 通讯作者 14(2): http://dx.doi.org/10.3390/mi14020306.
[4] Chaowei Si, Yingchun Fu, Guowei Han, Yongmei Zhao, Jin Ning, Zhenyu Wei, Fuhua Yang. A new DRIE cut-off material in SOG MEMS process. 半导体学报:英文版[J]. 2023, 第 5 作者44(4): 98-102, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7109308542.
[5] 刘佳慧, 宁瑾. Mo2C/MoO3@rGO Ternary Nanocomposites as High-Performance Gas Sensor for Trace NH3 Detection at Room Temperature. ACS Appl. Electron. Mater[J]. 2023, 第 2 作者 通讯作者 5(9): 5061-5073,
[6] Wei, Zhenyu, Si, Chaowei, Han, Guowei, Zhao, Yongmei, Ning, Jin, Jia, Lu, Zeng, Yanping, Yang, Fuhua. A novel multi-axis pendulum sandwich structure accelerometer. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING[J]. 2023, 第 5 作者33(10): http://dx.doi.org/10.1088/1361-6439/acec7e.
[7] Fu, Yingchun, Han, Guowei, Gu, Jiebin, Zhao, Yongmei, Ning, Jin, Wei, Zhenyu, Yang, Fuhua, Si, Chaowei. A High-Performance MEMS Accelerometer with an Improved TGV Process of Low Cost. MICROMACHINES[J]. 2022, 第 5 作者13(7):
[8] lu xiaorui, Jiahui Liu, Guowei Han, Chaowei Si, Yongmei Zhao, Zhongxuan Hou, Yongkang Zhang, 宁瑾, Fuhua Yang. Design and Fabrication of a Novel Poly-Si Microhotplate with Heat Compensation Structure. Micromachines[J]. 2022, 第 8 作者 通讯作者 13(11):
[9] Xu, Pengfei, Wei, Zhenyu, Guo, Zhiyu, Jia, Lu, Han, Guowei, Si, Chaowei, Ning, Jin, Yang, Fuhua. A Real-Time Circuit Phase Delay Correction System for MEMS Vibratory Gyroscopes. MICROMACHINES[J]. 2021, 第 7 作者12(5): http://dx.doi.org/10.3390/mi12050506.
[10] He, Yurong, Si, Chaowei, Han, Guowei, Zhao, Yongmei, Ning, Jin, Yang, Fuhua. A Novel Fabrication Method for a Capacitive MEMS Accelerometer Based on Glass-Silicon Composite Wafers. MICROMACHINES[J]. 2021, 第 5 作者 通讯作者 12(2): https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7911678/.
[11] Dongfeng Ma, Shengcheng Mao, Jiao Teng, Xinliang Wang, Xiaochen Li, Jin Ning, Zhipeng Li, Qing Zhang, Zhiyong Tian, Menglong Wang, Ze Zhang, Xiaodong Han. In-situ revealing the degradation mechanisms of Pt film over 1000°C. Journal of Materials Sciences and Technology[J]. 2021, 第 6 作者95: 10-19, https://www.jmst.org/EN/10.1016/j.jmst.2021.03.064.
[12] Tong, Xin, Su, Yan, Li, Zhaofeng, Si, Chaowei, Han, Guowei, Ning, Jin, Yang, Fuhua. A Double-Step Unscented Kalman Filter and HMM-Based Zero-Velocity Update for Pedestrian Dead Reckoning Using MEMS Sensors. IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS[J]. 2020, 第 6 作者67(1): 581-591, http://dx.doi.org/10.1109/TIE.2019.2897550.
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[14] 蔡萌, 司朝伟, 韩国威, 宁瑾, 杨富华. 基于ITO掩膜的键合片深硅刻蚀. 微纳电子技术[J]. 2020, 第 4 作者57(11): 905-910, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7103234546.
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[17] Yang, Jian, Si, Chaowei, Han, Guowei, Zhang, Meng, Ning, Jin, Zhao, Yongmei, Yang, Fuhua, Wang, Xiaodong. A Decoupling Design with T-Shape Structure for the Aluminum Nitride Gyroscope. MICROMACHINES[J]. 2019, 第 5 作者10(4): https://doaj.org/article/dd019418f58043d6ab2c981f59ae68ae.
[18] Zhang, Meng, Yang, Jian, He, Yurong, Yang, Fan, Zhao, Yongmei, Xue, Fen, Han, Guowei, Si, Chaowei, Ning, Jin. Research on the Protrusions Near Silicon-Glass Interface during Cavity Fabrication. MICROMACHINES[J]. 2019, 第 9 作者 通讯作者 10(6): https://doaj.org/article/2e29fd17e7e54fac99a7fc415ef50e18.
[19] Yang, Jian, Zhang, Meng, He, Yurong, Su, Yan, Han, Guowei, Si, Chaowei, Ning, Jin, Yang, Fuhua, Wang, Xiaodong. A Resonant Z-Axis Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Accelerometer. MICROMACHINES[J]. 2019, 第 7 作者10(9): https://doaj.org/article/e410aaefa6f5426aa4bd87b33d9bc3f8.
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[21] Nan Liu, Yan Su, Xin Tong, Guowei Han, Chaowei Si, Zhaofeng Li, Jin Ning. The effect of parasitic charge on the output stability of MEMS gyroscopes. JOURNAL OF SEMICONDUCTORS[J]. 2018, 第 7 作者39(8): 47-52, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=675938423.
[22] Tong, Xin, Li, Zhaofeng, Han, Guowei, Liu, Nan, Su, Yan, Ning, Jin, Yang, Fuhua. Adaptive EKF Based on HMM Recognizer for Attitude Estimation Using MEMS MARG Sensors. IEEE SENSORS JOURNAL[J]. 2018, 第 6 作者18(8): 3299-3310, http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2017.2787578.
[23] 宋培帅, 马静, 马哲, 张淑媛, 司朝伟, 韩国威, 宁瑾, 杨富华, 王晓东. 量子定位导航技术研究与发展现状. 激光与光电子学进展[J]. 2018, 第 7 作者55(9): 090003-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=676432093.
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[25] Yan Su, Xin Tong, Nan Liu, Guowei Han, Chaowei Si, Jin Ning, Zhaofeng Li, Fuhua Yang. PSPICE Hybrid Modeling and Simulation of Capacitive Micro-Gyroscopes. SENSORS (BASEL, SWITZERLAND). 2018, 第 6 作者18(4): https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC5948506/.
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[31] Hou Yunhong, Zhang Meng, Han Guowei, Si Chaowei, Zhao Yongmei, Ning Jin. A review: aluminum nitride MEMS contour-mode resonator. JOURNAL OF SEMICONDUCTORS[J]. 2016, 第 6 作者 通讯作者 37(10):
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[70] 宁瑾, 刘焕章, 葛永才, 刘忠立. 用多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器. 半导体学报[J]. 2003, 第 1 作者24(B05): 187-191, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=9068847.
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发表著作
（1） 绝缘体上硅（SOI）技术-制造及应用, 国防工业出版社, 2018-09, 第 2 作者
科研活动
科研项目
（ 1 ） 氮化硅薄膜生长技术研究, 负责人, 研究所自主部署, 2023-12--2024-12
（ 2 ） 基于驻极体技术的新型MEMS超低压电容式超声换能器的研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12
（ 3 ） ***结构设计与工艺制备, 负责人, 中国科学院计划, 2017-12--2019-10
（ 4 ） ***MEMS陀螺的研制, 负责人, 中国科学院计划, 2014-06--2016-06
（ 5 ） 新型级联阵列结构的AlN MEMS谐振器及关键机理研究, 负责人, 国家任务, 2013-01--2016-12
（ 2 ） 基于驻极体技术的新型MEMS超低压电容式超声换能器的研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12
（ 3 ） ***结构设计与工艺制备, 负责人, 中国科学院计划, 2017-12--2019-10
（ 4 ） ***MEMS陀螺的研制, 负责人, 中国科学院计划, 2014-06--2016-06
（ 5 ） 新型级联阵列结构的AlN MEMS谐振器及关键机理研究, 负责人, 国家任务, 2013-01--2016-12
指导学生
已指导学生
康中波 硕士研究生 080903-微电子学与固体电子学
钟卫威 硕士研究生 080903-微电子学与固体电子学
杨健 硕士研究生 085208-电子与通信工程
李小明 硕士研究生 430110-集成电路工程
张萌 硕士研究生 080903-微电子学与固体电子学
侯云虹 硕士研究生 080903-微电子学与固体电子学
刘楠 硕士研究生 080903-微电子学与固体电子学
张萌 博士研究生 080903-微电子学与固体电子学
何昱蓉 博士研究生 080903-微电子学与固体电子学
现指导学生
刘佳慧 硕士研究生 080903-微电子学与固体电子学
钟恺韬 硕士研究生 080903-微电子学与固体电子学
赵英凯 博士研究生 080903-微电子学与固体电子学