张开锋 研究员 博士生导师
中国科学院沈阳自动化研究所
电子邮件：
kaifeng.zhang.xg@sia.cn
通信地址：
辽宁省沈阳市沈河区南塔街114号
研究领域
微纳光学量测及分析表征技术
微纳测量
1.多功能多环境扫描探针显微镜技术
2.光学精密量测
高分辨率光谱分析表征技术
1.微纳光学
2.拉曼光谱
3.红外光谱
4.有限元模拟（COMSOL）
招生信息
微纳光学测量表征技术课题组招聘硕博研究生2名，联合培养研究生，科研助理若干名。具有光学，精密仪器、微纳控制、图像处理、高分辨率拉曼光谱、纳米红外光谱、半导体芯片、新能源材料等相关背景者优先考虑。
课题组简介
微纳光学测量表征技术课题组隶属于中国科学院沈阳自动化研究所第一实验室（机器人与智能系统全国重点实验室）。课题组致力于针对半导体芯片等微电子制品以及锂电等新能源材料在生产研发中的表面形貌、局域组分分布、光电磁等在内的微观不均匀性的测量需求，发展基于高分辨率，高精度光学测量及光谱分析表征技术；在具有国际先进水平的中科院沈阳自动化所微纳自动化设备研发团队的支持下，大力发展超分辨光学显微镜、多功能原子力显微镜等相关精密科研仪器的研制和产业化。同时也积极展开同国内外知名高校（厦门大学，天津大学， 清华大学， 北京大学，京都大学，大阪大学，丰田工业大学，加州大学河滨分校，路易斯维尔大学医学院等）的合作，致力于在解决重要多学科，多领域交叉的科学问题。
导师简介
张开锋，中国科学院沈阳自动化研究所研究员，博士生导师。国家级领军人才，中国科学院****A类人才，兴辽人才领军类人才。日本京都大学电子工学专业博士。长期从事微纳显微技术的研究及相关工业级仪器设备的开发。曾在世界500强企业日本最大综合电气企业-日立集团直属研究开发中心长期从事微纳显微技术的研究及相关工业级仪器设备的研发工作。针对半导体芯片等微电子制品在生产研发中的表面形貌、局域组分分布、光电磁等在内的微观不均匀性的测量需求，负责开发了全球唯一应用扫描探针显微镜技术的在线全数检查设备和全球首台半导体产线用电子显微镜与扫描探针显微镜联用三维量测系统。开发设备在TDK、西部数据、英特尔等知名存储和芯片制造商被实际应用。开创了低背景针尖增强拉曼方法和三维解析高分辨光热红外光谱技术。以第一发明人申请发明专利50余件，发表SCI论文10余篇。于2024年10月全职回国加入中国科学院沈阳自动化研究所机器人与智能系统全国重点实验室，组建微纳光学量测与表征课题组。